切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 376阅读
    • 6回复

    [分享]大偏离度非球面检测畸变校正方法 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    在线ttb2016
     
    发帖
    356
    光币
    2539
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 06-09
    关键词: 非球面畸变
    大偏离度非球面检测畸变校正方法 QO;Dyef7b  
    tdRvg7v,N%  
    在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500 μm的偶次高次非球面进行了计算全息图(Computer-Generated Hologram,CGH)设计,设计出了满足高精度面形检测和刻蚀加工要求的CGH。然后,针对此设计方案,定量分析了CGH的成像畸变及畸变对像差分析的影响。分析结果表明,不同径向位置的成像倍率偏差(畸变)最大达到了2.7∶1,并且由于畸变的存在,低阶像差衍生出了明显的高阶像差。最后,针对用CGH检测大偏离度非球面时出现的成像畸变,提出了采用光线追迹与最小二乘法相结合的成像畸变的校正方法,并通过实验验证了此方法的准确性。实验结果表明,畸变校正之后相对剩余残差小于0.2%,可以满足高精度非球面检测加工的要求。
    附件设置隐藏,需要回复后才能看到!
    1条评分光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 06-09
     
    分享到
    离线hit2011
    发帖
    252
    光币
    195
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 06-09
    好货啊
    离线文刂大田
    发帖
    653
    光币
    4589
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 06-10
    谢谢分享 *y?6m,38V  
    离线bairuizheng
    发帖
    3606
    光币
    17096
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 06-11
    谢谢分享
    离线心梦缘
    发帖
    122
    光币
    1944
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 06-19
    谢谢分享
    离线lxqfish
    发帖
    467
    光币
    1077
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 06-28
    了解一下
    离线丫米兔123
    发帖
    12
    光币
    39
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 10-10
    谢谢,了解下下
    快速回复
    限100 字节
    1.发帖,回帖请文明用语;2.切勿灌水,切忌多版面重复发贴;3.打击非法内容,病毒,虚假广告.
     
    上一个 下一个