切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 654阅读
    • 9回复

    [分享]大偏离度非球面检测畸变校正方法 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线ttb2016
     
    发帖
    471
    光币
    4093
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-06-09
    关键词: 非球面畸变
    大偏离度非球面检测畸变校正方法 {CI4AT!?W  
    I:iMRvp  
    在高数值孔径(NA)投影光刻物镜中,随着数值孔径的增加,非球面的偏离度越来越大。对这种大偏离度非球面进行亚纳米量级的检测,一直是光学检测的一大难题。本文首先对一偏离度超过500 μm的偶次高次非球面进行了计算全息图(Computer-Generated Hologram,CGH)设计,设计出了满足高精度面形检测和刻蚀加工要求的CGH。然后,针对此设计方案,定量分析了CGH的成像畸变及畸变对像差分析的影响。分析结果表明,不同径向位置的成像倍率偏差(畸变)最大达到了2.7∶1,并且由于畸变的存在,低阶像差衍生出了明显的高阶像差。最后,针对用CGH检测大偏离度非球面时出现的成像畸变,提出了采用光线追迹与最小二乘法相结合的成像畸变的校正方法,并通过实验验证了此方法的准确性。实验结果表明,畸变校正之后相对剩余残差小于0.2%,可以满足高精度非球面检测加工的要求。
    附件设置隐藏,需要回复后才能看到
    1条评分光币+5
    cyqdesign 光币 +5 - 2017-06-09
     
    分享到
    离线hit2011
    发帖
    263
    光币
    194
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2017-06-09
    好货啊
    离线文刂大田
    发帖
    804
    光币
    5800
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2017-06-10
    谢谢分享 aP  
    在线bairuizheng
    发帖
    3768
    光币
    18180
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2017-06-11
    谢谢分享
    离线心梦缘
    发帖
    138
    光币
    2567
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2017-06-19
    谢谢分享
    离线lxqfish
    发帖
    467
    光币
    1079
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2017-06-28
    了解一下
    离线丫米兔123
    发帖
    69
    光币
    183
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2017-10-10
    谢谢,了解下下
    离线fireyw
    发帖
    4
    光币
    4
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 01-30
    谢谢楼主分享 QK-aH1r  
    离线mavericks
    发帖
    538
    光币
    299
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 02-25
    谢谢楼主分享
    发帖
    16
    光币
    3
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 03-05
    1111111111111111111111111111111
    快速回复
    限100 字节
    1.发帖,回帖请文明用语;2.切勿灌水,切忌多版面重复发贴;3.打击非法内容,病毒,虚假广告.
     
    上一个 下一个