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    [分享]基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究 [复制链接]

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    离线ttb2016
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2017-06-08
    关键词: 干涉光栅
    基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究 ,5 ylrE  
    h=7eOK]  
    基于显微白光干涉术,利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图,并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合,台阶总高最大相差0.8%。同时,用美国Veeco白光轮廓仪对同一样品的形貌及光栅周期进行了测试,数据显示两者结果非常吻合,仅台阶总高相差0.7%。研究结果表明,所采用的四种算法均适用于微观三维形貌的测量。
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    离线bairuizheng
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    只看该作者 1楼 发表于: 2017-06-09
    看看,谢谢
    离线measure123
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    只看该作者 2楼 发表于: 2017-06-09
    看看,谢谢 "?Mf%u1R  
    离线shuotian99
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    只看该作者 3楼 发表于: 2017-08-24
    学习一下 X"z!52*3]  
    离线cameragirl
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    只看该作者 4楼 发表于: 2017-11-09
    谢谢分享啦啦啦啦啦
    离线jinzhide
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    只看该作者 5楼 发表于: 2017-12-20
    看看,谢谢
    离线叫我留白
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-03-31
    大佬,看一看,谢谢!
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-06-12
    貌似有价值 可以参考
    在线jabil
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    只看该作者 8楼 发表于: 2023-09-24
    LET ME SEE IT
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    只看该作者 9楼 发表于: 2023-11-17
    看一下,谢谢。