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[分享]基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究 [复制链接]

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只看楼主正序阅读楼主发表于: 2017-06-08

关键词：干涉光栅

基于白光干涉法测量微光栅形貌及相关几何参量的研究

基于显微白光干涉术，利用扫描干涉显微镜对四台阶面阵微光栅记录了128幅白光干涉图，并分别运用重心法、空间频域算法、移相算法及包络曲线拟合法对扫描干涉图进行了分析处理。被测微光栅的形貌及周期在各算法下均完全吻合，台阶总高最大相差0.8%。同时，用美国Veeco白光轮廓仪对同一样品的形貌及光栅周期进行了测试，数据显示两者结果非常吻合，仅台阶总高相差0.7%。研究结果表明，所采用的四种算法均适用于微观三维形貌的测量。