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Core Y$r78h=4 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 {q?&h'#y
pFd8p@m_2 hJ'H@L7 JF.Lo; 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 _6ZjF>f my.EvN %T{]l;5 }9'`3vsJ 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 *Y m?gCig 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” =^nb+}Nz( $RPW/Lyiq F1t( P 8 BPba3G9H 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 ~f1g" 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 do}LaUz iEr,ly |@Tga_0p
$"^K~5Q 'x!\pE- 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 %fqR ^/2I)y]W0 1sQIfX#2f !+T1kMP+l 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 BX@Iq 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 NI >%v RdTM5ANT a:h<M^n049 *gbK
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T(M>LP83 }{o! Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 [. 5m}V 6[> lzEZ
uepyH ff"wg\O4 Runsheet n+~Dc[ “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 g`7XE XIeLu"TSL n|SV)92o1 #%0V`BS7n Function <uH8Fivb }]?Si6_ZZ 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 E9HMhUe kSQ8kU_w+ <B"sp r&1 a|aVc'j 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 ~4S$+*'8 ^PksXfk 讯技光电科技(上海)有限公司 RU )35oEV| 电话:86-21-64860708 {f!/:bM 传真:86-21-64860709 *sho/[~_ 课程:course@infotek.com.cn _"DS?`z6 业务:sales@infotek.com.cn K"}fD;3 技术:support@infotek.com.cn OZ,kz2SF#
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