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Core TK1MmL 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 X,Q(W0-6$u Fd0FG A&L |'(IWU nW[aPQ[R 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 F<1'M#bl #Z5~a9rO aMD?^ RT9|E80 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 wIPDeC4 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” D^4V"rq 3c"{Wu-} DvKMb-*S e=C,`&sz 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 o
W [-? 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 N* QI>kzU ;0WlvKF J#^M
yw^,@' }?$Mh) 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 |MGw$ [:Y^0[2 Yi,um-% DenCD9 f 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 m{" zFD/ 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 06r cW ` @ZWKs
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HkCme_y" ZH*?~ # Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 6&cU*Io@ T!AQJ:;1
m[rJFSpef ul1Vsj Runsheet 2^:nlM{u “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 ('Pd
GV4V / ffWmb_4 1,,: 4*) pQJZE7S Function n~)%ou gfHlY Q] 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 :>u{BG;=79 eAEVpC2 a7R7Ks|q # jyAq$I0 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 g>{=R|uO5 Yy5F'RY 讯技光电科技(上海)有限公司 o@-cT`HP 电话:86-21-64860708 HvU)GJ u b 传真:86-21-64860709 !cZIoz 课程:course@infotek.com.cn U/;Vge8{ 业务:sales@infotek.com.cn mv_-|N~ 技术:support@infotek.com.cn nDfDpP&
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