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Core 5D
L,U(Y 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 %mu>-h ac tH,sql) hX3@f;[B2 ;?`@"YG) 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 ,Y-S( ntZ~m &r:=KT3 _@K YF) 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 {[tZ.1.w 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” !=y Q)l2 :X Lp %N1"*</q }/"4|U 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 =JxFp,
Xr 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 a%*_2# ~
aA;<# wPgDy
QtlT&|$ \XDmK 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 EZ{\D!_Y M $uf:+F 4DM*^=9E `S$sQ& 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 _#vGs:-x& 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 ^vaL8+ \Z'/+}^h O2lIlCL \4QH/e
#R<G,"N5 XWXr0>!,? Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 z7k$0& In+^V([u+_
yW`e |! O5OXw] Runsheet URQ@=W7 “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 3HKxYvc C `x2,;h!:)N /ao<A\KR AK;^9b-}q: Function 3.FR C y!hi"! 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 A Iv<f9*.: }DHUTP2;yz O4!9{ 7H#2WFQ7 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 BfVBywty BUDGyl/= 讯技光电科技(上海)有限公司 M}KZG'7 电话:86-21-64860708 5W{hH\E _5 传真:86-21-64860709 )mG0g@ qOK 课程:course@infotek.com.cn eo ?Oir) 业务:sales@infotek.com.cn ^9=4iXd 技术:support@infotek.com.cn %l;*I?0H
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