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Core BaHgc 4zI 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 ]O(HZD% 96V, [-arf /:L&uqA 9 0(oV& 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 r- "`Abev jw%FZ Yw1q2jT Z
7ZMu 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 {Ll8@'5 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” ]~<T` )Hi C5z 1Y0oo jD -a^sX%|Bl 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 OZ]3OL, 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 e5\1k#@
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l:C0:m% J0) WRn"h 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 ~#x!N=q &aht K}u \Nn%*?f rTiuQdvo 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 0<Y&2<v 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 tZ2iSc O9IjU10: x};g!FYfkB wDTV /"Y
QO^X7A"?X .Zz7LG{ Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。
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T:n^$RiT Z#V\[ Runsheet PbH]K$mj{" “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 4Lq]yUj PvCE}bY{} 1pr_d"#4 6Z}))*3 9 Function l;FgX+) jJnBwHp 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 i-W2!;G QI{Y@xQ JEkVj']? lLf01sa4 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 [uV/ Ra*g b,A1(_pzi 讯技光电科技(上海)有限公司 kpUU'7Q 电话:86-21-64860708 cO+`8`kv 传真:86-21-64860709 z,P7b]KVe 课程:course@infotek.com.cn PiQs><FK8 业务:sales@infotek.com.cn _$lQK{@rY 技术:support@infotek.com.cn 3c6)
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