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Core 2Nm{.Y 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 `T%nGV l>\ u@Ni *)p` "tmu23xQ r4 5}o 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 B\=T_'E& S:g6z'e1 $mq+/|bn O]="ggq& 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 e&(Wn2)o 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” ,5~C($-t P?8$VAkj WqCER^~'> f@Ve,i 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 y{P~!Yn| 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 U
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mMu+MXTk< 4/SltWU 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 X,8Zn06M _S &6XNV :<
]sJfN 4w 7vgB 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 :IsJE6r 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 `i~J0#P BT -Y9j ]P^3uXi "6%qi qt
^s=F<_{ ^6CPC@B1 Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 eq2LV=d{m c~\^C_
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SwB “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 sG|,#XQ & )-fC 0o.h{BN p .~5k Function -)ri,v{:c 8l?@ o 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 >;xkiO>Y \w$e|[~ Kt"4<' 85FzIX-F% 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 PDh!B_+ W3MH8z
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J)Yg 传真:86-21-64860709 qV$0 ";d 课程:course@infotek.com.cn .+ic6 业务:sales@infotek.com.cn 4J[csU 技术:support@infotek.com.cn ZmaW]3$
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