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Core 'wegipK~R 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 $/MY,:*e rK*hTjVn XlE$. gjO
*h3` 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 aYqqq| yo'q[YtP' v4X_v!CQ iM4mkCdOO 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 |>M-+@gj 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” aS3P(s L (Be$$W aA7S'[NjB BYTXAZLb 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 3AX?B~s 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 YmdsI+DbIu wEZqkV ~:R4))qpg
:Fw *r| -Mit$mFn 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 fp`U?S6 DX]z=d)tc 3 (Gygq# /<(R 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 }M;sz 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 pT|./ Fe 2
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i4 y(H e7)> U!9c9 Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 .H*? '* roK4RYJ7)
~:'gvR;x V}3~7( Runsheet SLbavP#G “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 (7
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/D5 D*<8e?F z{<q0.^EFh Function l,~ N~? C/grrw 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 xLGTnMYd Rqv+N] Mz%d_ }J4BxBuV8 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 3oNt]2w/' AH ?MJKY@Z 讯技光电科技(上海)有限公司 u8$~N$L 电话:86-21-64860708 f(zuRM^5 传真:86-21-64860709 6.(]}?g1f 课程:course@infotek.com.cn o 2$<>1^ 业务:sales@infotek.com.cn rkER` 技术:support@infotek.com.cn 'ra_Zg[j
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