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Core [P }mDX 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 VKlC`k8L M*Q}^<E* BbL]0i oS Ybx:2wo 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 yVK l%GO 2r+nr U(OkTJxv+ bkpN`+c 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 zqQ[uO]m? 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” i]@k'2N DqmKDU V)u#=OS Oc.8d< 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 s%~Nx3, 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 XVo+ <& Rz&}e@stl ~Dw%
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bJ6H6D> WyM2h 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 _^ n>kLd$ tWaGCxaE \O,yWyU4 Z0XQ|gkH 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 F|oyrG 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 TT#V'r\ <*/Z>Z_c2 2FO<Z %Y p u?COA
3Q7PY46 k$DRX)e Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 Imclz4'8 . _Jypk8
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Q 5'w&M{{9 Runsheet yOP$~L#TWs “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 `JGW8 _ 1g$xKe~]4 u{D]Kc?n Zz'g&ew |