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案例024(3.0) \D z? h us|Hb 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 Q}B]b-c+E r4iNX+h?V 1. 建模任务1:金属光栅 J Y8Rk= Y2l;NSWU }1 qQ7}v 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 T=-UcF 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 +jB; Xv!Gg6v6 2. 建模任务2:介质光栅 u=qK_$d4 FNLS=4 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 G9okl9;od 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 }gXhN" hE=xS:6 3. 建模任务 L)U*dY MCibYvc[ =6ru%.8U, VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 jcj8w 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 v+{{j|x= 场分布计算能够检测结构内部的热点 /Lr`Aka5 Gu$J;bXVj 4. TE和TM照明线性光栅 4s:M}=]N 7:LEf"vRZ 5. 铬狭缝的分析 9kWI2cLzQt {~9HJDcM Z_bVCe{ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 rAHP5dx: 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 dO2?&f 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 cA4?[F
红线说明了结构的形状(手动添加) r3' DXP en{p<]H 6. 三角光栅的分析 *V:U\G 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 Pf4zjc c3l(,5DtH -E6av|c,F 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 tx[;& ; 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 NvIg,@} 红线说明了结构的形状(手动添加)。 V*s\ ~h) 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 jEQ_#KKYJ E<-W & a } 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 #y#TEw, 红线说明了结构的形状(手动添加)。 v7@"9Uw} *jc
>?)k 7. 总结 ZMMx)}hS 0B9FPpx? : VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 'q;MhnU+ 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 'qiAmaX 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 rU9")4sQ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 9+m>|"F0
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