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案例024(3.0) 6$0<&')Yb CiGXyhh 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 r
\[|'hA p/88mMr 1. 建模任务1:金属光栅 9]{va"pe7 hs5>Gx vaJl}^T 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 l p(D@FT 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 rB{w4 ,"KfZf;? 2. 建模任务2:介质光栅 GXIzAB( }n
"5r(*^@ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 h@Jg9AM 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 :b*7TJ\grN 6)p8BUft 3. 建模任务 Hq+QsplG t|V<K^ )iM(
\=1ff VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 [& Z-
*a 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 iE}] E 场分布计算能够检测结构内部的热点 Z#B}#*<C z9g ++]rkJ 4. TE和TM照明线性光栅 MPDRMGR@i d:w/{m%# 5. 铬狭缝的分析 Yku6\/^ x.Egl4b3 nGe4IY\-w 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 R<Mc+{*> 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 N$=9R 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 e[?,'Mp9 红线说明了结构的形状(手动添加) /Jc{aw $,J}w%A 6. 三角光栅的分析 <F(S_w62 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 7K
"1^ {lH'T1^m >Oj$Dn= 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 9 " t;6 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 -seLa(8F 红线说明了结构的形状(手动添加)。 }<X* :%#b 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 [5p 3:D d,N6~?B 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 \Cu=Le^ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ~?Vo d|> u6F>o+Td) 7. 总结 bL`\l!qQx; Wh..QVv VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 `,xO~_
e> 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 M9A1
8d| 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 _S7?c^:~ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 7Y[ q)lv
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