|
案例024(3.0) =Bcwd7+ bX6eNk-L 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 a6wPkf7-H }b)7gd= 1. 建模任务1:金属光栅 Qh<_/X? >B<jR$`6@ .t*MGUg 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 Azvj(j 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 bCHJLtDQ {U?/u93~
2. 建模任务2:介质光栅 lQj3#!1} Hphvsre< 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 |=fa`8mG 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 v^1_'PAXu LG0+A}E=C 3. 建模任务 X:+lD58 FpN >T N9QHX VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 o *)>aw 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 141@$mMzE 场分布计算能够检测结构内部的热点 P&@ 2DI3m 1vk&; 4. TE和TM照明线性光栅 c}v>Mx LI1OocY.] 5. 铬狭缝的分析 d#xi_L! P>n}\"z4 aqJ>l}{ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 Mhp6,JL 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 d+[GMIxg 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 OZ##x 红线说明了结构的形状(手动添加) '0|0rwx x8
: 6. 三角光栅的分析 }TE4)vXs 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 zV {_dO uv,&/,;S kEiWE| 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 _]zm02| 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 6/e+=W2 红线说明了结构的形状(手动添加)。 a^/j&9 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 6?\X)qBI s\&qvL1D 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 C]H'z 红线说明了结构的形状(手动添加)。 0*$? =E is`O,Met 7. 总结 P5,X,-eG Zw6UH;5 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 T7+_/
Qh 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 bDK%vx!_ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 /WqiGkHV* 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 bz$)@gLc
|