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案例024(3.0)
P{>-MT2E !;&{Q^} 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 O['5/:- zWq&HBs 1. 建模任务1:金属光栅 )9V8&, `g,i`< EceD\}
在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 LhtA]z,m 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 K]Z];C#) NGuRyZp69& 2. 建模任务2:介质光栅 95BRZ!ts bBXUD;$ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 sj% \lq 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 w?A6S-z ,gn**E 3. 建模任务 uBxs`'C :3 By7BZgj [!>DQE VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 z%[^-l- 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 ;Qdw$NuW 场分布计算能够检测结构内部的热点 !wEz=
i `EzC'e 4. TE和TM照明线性光栅 [X'u={ s7na!A[ 5. 铬狭缝的分析 ]s^Pw>/` HT=-mwa_] 2vX!j!_ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 iig@$
i# 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 fk?(mxx" 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 `>skcvkm 红线说明了结构的形状(手动添加) _If:~mIs 35fsr= 6. 三角光栅的分析 h<IPV'1 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 5SwQ9# Nd61ns(N e:zuP.R 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 x_BnWFP 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 8z'_dfP=5 红线说明了结构的形状(手动添加)。 qgZN&7Nn: 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 fs%l j_t 9|1J pb 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 w2o5+G= 红线说明了结构的形状(手动添加)。 B/ACU Rkz[x 7. 总结 V75P@jv5J ) E(9
R( VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 -4nSiI 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 137:T: 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 G}p*oz~ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 Y@R9+7!
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