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案例024(3.0) g8}/Ln*W' 0.|tKetHq 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 PX(Gx%s| 0B1*N_.L@ 1. 建模任务1:金属光栅 \asF~P jlzqa7 ':F{st>&H 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ){R_o5 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 .U9NQwd Qe]@`Vg 2. 建模任务2:介质光栅 0Q%'vBX\` o&gcFOM22 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 j:$2,?|5 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 ,GZ(>| 56&s' 3. 建模任务 D
OPOzh XQ,IEj| \L6U}ZQ2V VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 A
CJmy2 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 QBY7ZT05Gt 场分布计算能够检测结构内部的热点 18V*Cu )d0&iE`@ 4. TE和TM照明线性光栅 )^g}'V=vIr tkV:kh< L~ 5. 铬狭缝的分析 JL2IVENWc :
bT*cgD{ 0xIr:aFF 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 W"VN2 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 NZ9`8&93 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 2%1g% 红线说明了结构的形状(手动添加) :h*20iP 09%q/-$ 6. 三角光栅的分析 =<O{ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 9v0.] ~ $!eB/6ty |PDuvv!.f 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 :a#]"z0 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ^=E4~22q 红线说明了结构的形状(手动添加)。 Nr3td`; 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 0!_D M^3 U7tT 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 WO^smCk 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ldanM>5 bq<QUw=]q& 7. 总结 I?s)^' qPH]DabpI VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 H&3VPag 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 y%}Po)X]f 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 1Qhx$If~ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 'rp(k\pY
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