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案例024(3.0) u)V*o F;ZLoG*U 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 fg9sZ%67]\ OYzJE@r^ 1. 建模任务1:金属光栅 T-@pTJ !K9 mA."*)8VNg CJC|%i3 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 G'epsD,.bX 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 jn7}jWA }Q%>Fv 2. 建模任务2:介质光栅 Cse0!7_T ufJFS+? 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 xvkof
'Q) 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 }iC~B} wiVQMgi` 3. 建模任务 V.4j?\#% XX F9oy8 zZxP=
c VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 Za} |Ee 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 ke%zp-2c 场分布计算能够检测结构内部的热点 )_=&)a1U 70NHU;&N 4. TE和TM照明线性光栅 qYh,No5\;t lfA
BF 5. 铬狭缝的分析 8iCIs=06 D;L :a`Y B -KOf 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 =j{jylC 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 e\dT~)c 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 <Hp"ZCN 红线说明了结构的形状(手动添加) *"5a5.`%, WY,t> 1c 6. 三角光栅的分析 1^;h:,e6 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 epL[PL} 98]t"ny [ <Z;7=k 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 G225Nz;Y* 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 KH7]`CU 红线说明了结构的形状(手动添加)。 w(U/(C7R 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 +wSm6*j7= q!TbM" 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。
'2tEKVb 红线说明了结构的形状(手动添加)。 oD7H6\_ Id*^H:]C# 7. 总结 ;!}SgzSH} h=tu+pn VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 Psa8OJan 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 :6/OU9f/R 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 >(rB[ZJ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 5{a(
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