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案例024(3.0) SAdT#0J +51heuu[o 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 >$'z4TC\T 41<~_+-@ 1. 建模任务1:金属光栅 &Pb:P?I &B&8$X #DgHF*GG+> 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 5hmfdj6 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 XHU$&t`7>g 8GP17j 2. 建模任务2:介质光栅 V~/G,3:0y% l(NQk> w 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 }O*`I( 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 3tZIL R`<^/h 3. 建模任务 [XY%<P3D At\(/Zy #B5,k|"/,M VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
] :;x,$k 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 gl+d0<Rzw 场分布计算能够检测结构内部的热点 J[<Zy^"Y; ]P3m=/w 4. TE和TM照明线性光栅 44}5o _nqnO8^IG4 5. 铬狭缝的分析 Ip'tB4Mq 'O(=Pz O=3/qs6m 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 bvtpqI QZ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 tle`O)&uo 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ^;_~mq. 红线说明了结构的形状(手动添加) ."+lij=56 ^+76^*0 6. 三角光栅的分析 _P.I+!w:x 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 yus3GqPI %(6IaqJ[ BI:Cm/ > 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 To*+Z3Wd 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 $!_
X9)e 红线说明了结构的形状(手动添加)。 w5 . ^meU 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 6=;:[ W,@F!8 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 [1vm~w' 红线说明了结构的形状(手动添加)。 [8Pt$5]^ ==[(Mn,%d 7. 总结 itzUq,T 7z$Z=cs VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 R@K\ 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 _BP%@o 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 SxYz)aF~ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 %NQ%6B
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