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案例024(3.0) !lREaSM Yab%/z2: 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 fsmN)_T 9
3U_tQ&1? 1. 建模任务1:金属光栅 <vnHz?71c GSY( N@;?CKU 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 H ;7(}:. 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 0v6)t.]s u~r=)His 2. 建模任务2:介质光栅 b
IH; ~<P
0]ju 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 )}''L{k- 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 NO2XA\ *w$W2I>b7 3. 建模任务 (ScxLf=] 9TU88] 7WZrSC VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 g6W)4cC8a 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 fs|)l$Rd 场分布计算能够检测结构内部的热点 ,368d9,rDz 062,L~&E 4. TE和TM照明线性光栅 Nw:GCf-L anuL1fXO 5. 铬狭缝的分析 ^le<} ZkgV_<M| =31"fS@ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 sI43@[ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 :KH g&ZX7 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 [l:x'_y 红线说明了结构的形状(手动添加) H12Fw'2 lNNv|YiL 6. 三角光栅的分析 Dw|}9;5:A 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 4)E_0.C I\hh8abAp vrl;"Fm+ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 tWo{7) Eb 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 -)s qc
P 红线说明了结构的形状(手动添加)。 -T!f,g3vW 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 6~OoFm5 o-;E>N7t 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 6L:x^bM 红线说明了结构的形状(手动添加)。 m 2-Sx xE1 eT, 7. 总结 O[# 27_dH \%u3 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 mCRt8rY; 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 S(QpM.9* 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 Yi
.u"sh] 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 YgKZ#?*
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