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案例024(3.0) -+z8bZ _W 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 ^0g!,L \qkb8H 1. 建模任务1:金属光栅 V|vXxWm/ +GL[uxe" 1'!%$D 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 hH~GH'dnaE 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 D zdKBJT + jL0=a.; 2. 建模任务2:介质光栅 ?#lHQT ,FK.8c 6g 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 *:Uq
;)* 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 I#:Dk?"O2 @y/!`Ziw 3. 建模任务 yqKSaPRA giHqc7-PaX UgTgva>? VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 f>[{1M]n\ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 eL1)_M;{ 场分布计算能够检测结构内部的热点 5"&=BD~D (g3DI*Z 4. TE和TM照明线性光栅 M~g{}_0Z jE2EoQi, 5. 铬狭缝的分析 er.;qV'Wz6 9dFo_a*?
tPChVnB 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 V?- ]ZkI 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 ltlnXjRUv 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 vu~7Z;y(<j 红线说明了结构的形状(手动添加) g4Nl"s*~ ss4YeZa 6. 三角光栅的分析 3/Dis)
v8 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 kZ'wXtBYe 9)$gD ^!Tq(t5V 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 q{XeRQ'/ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 dZ x 红线说明了结构的形状(手动添加)。 QB#_Wn 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 y3ST0=>j}
rw#?NI: 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 5P[urOvV 红线说明了结构的形状(手动添加)。 {yM@3v~ k1fX-2H 7. 总结 N~%~Q >/'/^h VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 bd&Nf2 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 VgO.in^q 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 ?:3rVfO 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 hR,5U=+M7
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