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案例024(3.0) X;2LK!x;y CJ7S5 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 e /1x/v' }/h&`0z` 1. 建模任务1:金属光栅 4Gh\T`= %K.r rn M 7S^G]g!x 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 MJrPI a[pN 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 HTz`$9 0
x' d^ 2. 建模任务2:介质光栅 &%GAPs% +GL$[ 5G 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 I8`$a 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 %4Qs|CM)m v;U5[ 3. 建模任务 k`A39ln7wu zx,9x*g 'TuaP`]< VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 A0U9,M 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 Pr(@&:v: 场分布计算能够检测结构内部的热点 R&&&RI3{ =6O*AJ 4. TE和TM照明线性光栅 GBWL0'COV <<E9MIn_ 5. 铬狭缝的分析 QxGcRlpLK __FEdO NdSuOkwwt 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 PgGUs4[ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 a@<-L 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ;gSRpTS: 红线说明了结构的形状(手动添加) >C!^%e;m ,W|-?b? 6. 三角光栅的分析 a h_>:x 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 <Z<meB[g )wCNLi>4 EwU)(UK 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 +xU( {/ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 vJ=Q{_D=\ 红线说明了结构的形状(手动添加)。 t89Tt @cf 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 lw[c+F7 <F(2D<d{;) 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 YURMXbj 红线说明了结构的形状(手动添加)。 GGr82)E e0(aRN{W 7. 总结 uOJqj{k_." SY[3O VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 O!{YwE8x9 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 XD|g G 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 |:JT+a1 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 s</qT6@
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