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案例024(3.0) W;g+R- `::'UfHc 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 j nA_!;b 2gR_1*| 1. 建模任务1:金属光栅 I;.E}k
83,1d*` Q;,3W+( 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 +P)[|y +e 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 QZa#iL lLFBop 2. 建模任务2:介质光栅 RTA=|q Rf0\CEc 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 <RVtLTd/ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Ollv _o3 /F}\V
^ 3. 建模任务 8]MzOGB8 !vp!\Zj7o Y[]+C8"O VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 :#htOsP 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 u#,'ys 场分布计算能够检测结构内部的热点 +4nR&1z$ n)!_HNc9 4. TE和TM照明线性光栅 "t&k{\$\ J6Nw-qF 5. 铬狭缝的分析 B(Q.a&w45t ,(W98}nB =\7p0cq&* 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 hg=G// 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 SWd[iD 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 q&6=oss! 红线说明了结构的形状(手动添加) >d
V@9 Wc>)/y5$ 6. 三角光栅的分析 !:[n3.vm 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 #$C]0]| >:E-^t% 2]*~1d 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 AlaN; 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 U (7P X`1 红线说明了结构的形状(手动添加)。 Nb^:_0&H@ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 dk`!UtNNRa 8\
;G+ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 x%ag.g2I 红线说明了结构的形状(手动添加)。 !Y(qpC:$ 6WcbJ_"mq 7. 总结 #e2 69FwN ^O*hs%eO% VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 K"$ky,tU 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 OBQ!0NM_b 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 +%9Y7qol 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 K#< Wt5
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