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案例024(3.0) ^K.
d|z K%h9'}pq>1 该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 "%ou'\} <&^P1x<x 1. 建模任务1:金属光栅 +i HZ* R9@Dd 33IJbg 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 b&BkT%aA(G 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 t.Q}V5t{g #;~`+[y?\ 2. 建模任务2:介质光栅 HqC
1Dkw Aj#bhv 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ;n]GHqzY_ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 V{4=,Ax E}6q;"[ 3. 建模任务 HEh,Cf7`' tQ~vLPi$ 9j<qi\SSI VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 %EV\nwn6 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 #@%DY*w]v 场分布计算能够检测结构内部的热点 ^F\RM4|, 11Sflj 4. TE和TM照明线性光栅 J,q6 r'*x><m' 5. 铬狭缝的分析 E/+H~YzO 8G3CQ]G VS`
tj 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 }\
kLh( 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 0APh=Alq 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 ^V6cx2M 红线说明了结构的形状(手动添加) 5\!t!FL_ }OZut!_ 6. 三角光栅的分析 p}}pq~EH/ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 ={~?O&Jh }SD*@w >%6a$r~@ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 Odn`q= 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 U)v){g3w) 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Z2P DT 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 +>b m~6 &<dC3o! 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 t .\<Q#bN# 红线说明了结构的形状(手动添加)。 >;qAj!' Q+<{2oVz 7. 总结 &JUHm_wd&S :<}1as!eo VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 [KcF0%a 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 "%zb>`1s 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 bv:M
zYS 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。 QH>e_
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