先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 +]0/:\(B
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 i=\`f& B
算出来的折射率再用来做设计。 $TFWum9wO
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 0E/16@6=
} /aqh ;W
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 !5K5;M_Ih"
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 @^,9O92l
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 sEcg;LFp
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 +H
"j-:E@t
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 zj7?2