先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 WdJeh:h
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 c~\^C_
算出来的折射率再用来做设计。 2of+KI:
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 9(a*0H
\D%n8O
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 {@"
F/G+
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 $S/WAw,/
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 0o.h{BN
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 p .~5k
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 ^zG!Z:E