先做厚一点的单层(越厚越好),测分光曲线。 D.e4S6\&
然后用麦克劳德或者TFC算折射率。 kR
C0iTV'I
算出来的折射率再用来做设计。 c0lVt)pr/
然后自己再根据实际曲线慢慢修。 gk%8iT
Bld%d:i
我以前做的380~800 反射率不超过0.3%。 R~jV
设计是8层TiO2/SiO2,是一个W型的曲线。 Q?Au.q],
我的经验是TIO2折射率越高开口越宽,越好做。 x]({Po4
但是折射率高的话,就需要用到好的离子源。 ?[[K6v}q{
光驰机或者新柯隆机应该能做出来。 @J[l^o9