[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 z`m-Ca>6  
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若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 F(}d|z@@  
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p+  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? RhXX/HFk  
y! 7;Z~"  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 Z'PL?;&+R  
hH`yQGZ  
P.S. 5|
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nD!C9G#oS  
AR與MGF2皆為EB製程 C`7HC2Is  
,HYz-sK.  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M JKGUg3\~  
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N  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  /8Ca8Ju  

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我用的材料為石英 6 @'v6 1'  
Cf@WjgR  
您說的沒錯 oT_k"]~Q~2  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 57%:0loW  
OI::0KOv  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  5)AMl)  

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我用的材料為石英 DrC4oxS 1  
nulVQOj|  
您說的沒錯 =NQDxt}  
S)>L 0^M1  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 ?|w>."F  
qa.nm4"6+  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了