[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 =$m|M m[a  
1}(g=S  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 o5)U3U1|  
e0D;]  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? {PfE7KH  
?.T=(-  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 =$HzEzrw  
&t4j px  
P.S. xTe?*  
p5*i d5
 
AR與MGF2皆為EB製程 P6X 4m(t  
9gFC]UVWh  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M a9"Gg}h\  
`0sa94H1[  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  V6Z2!Ht  

A)&OR]0[  
我用的材料為石英 cl30"WK!  
[@_}BZk  
您說的沒錯 W
TZP}p1  
80LKxA;5N  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 RT4ns+J1  
Zm^4p{I%o*  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  AL74q[>  

FIG3P))  
我用的材料為石英 rLw3\>y  
9=p^E#d  
您說的沒錯 B`3RyM"J@  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 ^AS*X2y  
Z[[ou?c  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了