[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 16[>af0<g  
/+ vl({vV  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 vAi kd#C)  
u<./ddC  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? HjV3PFg  
tB4- of3+  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 !dYkvoQNn  
<XX\4[wb  
P.S. iVzv/Lqm1  
H?8KTl=e  
AR與MGF2皆為EB製程 NA>h$N  
@!&\Z[",  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M l=[<gPE  
p mcy(<  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  je@F:5  

W~(@*
H  
我用的材料為石英 \B) a57  
6MQ+![fN  
您說的沒錯 A5cx!h  
A&X(\c M  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 PnkJWl<S  
["Mq  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  j7r!N^  

]j.=zQP?'  
我用的材料為石英 81?7u!=ic+  
vwy10PlqL  
您說的沒錯 w
1Ar[ P  
Arvxl(R\4  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 <3?T^/8  
0LI:R'P+P[  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了