[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 J;NIa[a  
"AZ|u#0P  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 (c)=Do=  
!(7m/R  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? ^8EW/$k  
g5y`XFY  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 pbEWnx_  
:o'|%JE  
P.S. &ocuZ-5`  
}A+ncabm  
AR與MGF2皆為EB製程 %VFoK
-a  
YHO}z}f[!  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M }2@Z{5sh)  
y%ij)vQY  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

MgF2 放最外層的  在相同AR總層數下  可以得到更低的模擬結果    ；     你可以試試看做鍍率實驗 應該可以得到正解  或是試著從新優化 降低mgf2厚度  

贾松山:氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下， (2016-05-27 12:51)  &`I(QY  

#gQn3.PX+y  
还可以这样玩

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  6YM X7G]  

W"Ip]LJ  
原来是这样的

rexchou:我用的材料為石英
您說的沒錯
....... (2016-05-09 17:51)  O=o}uB-*6  

9<Pg2#*N0  
谢谢专家门的意见

jakzhou:好东西 (2016-05-24 17:40)  H1-DK+Q:  

=Z+^n ?"  
学的很好

学习了，不过最外层MgF2对后续加工可能影响较大，会出现膜层渗水等现象。

好东西，学习了