[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 \n@V-b  
b~W)S/wF$P  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 feCqbWq:  
uu>lDvR*  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? VD#!ztcY'  
z{6YC~  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 >Me]m<$E;  
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P.S. Wg(bD,  
baIbf@t/  
AR與MGF2皆為EB製程 d~<QAh#rG  
@*_ZoO7{  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M _j 5N=I{U  
ih!~G5Xi9i  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

MgF2 放最外層的  在相同AR總層數下  可以得到更低的模擬結果    ；     你可以試試看做鍍率實驗 應該可以得到正解  或是試著從新優化 降低mgf2厚度  

贾松山:氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下， (2016-05-27 12:51)  j=FMYd8$y  

0n\^$WY  
还可以这样玩

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  S
Ad97A:  

67}]s@:l](  
原来是这样的

rexchou:我用的材料為石英
您說的沒錯
....... (2016-05-09 17:51)  e*Uz#w:  

DCEvr"(  
谢谢专家门的意见

jakzhou:好东西 (2016-05-24 17:40)  ;kyL>mV{  

9#Aipu\  
学的很好

学习了，不过最外层MgF2对后续加工可能影响较大，会出现膜层渗水等现象。

好东西，学习了