[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 yTWP1  
fOEw]B#@  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 smQ<lwA  
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不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? s/+@o:  
!Mp.jE  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 O,"4HZG  
nZe2bai  
P.S. E7-il;`cKn  
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AR與MGF2皆為EB製程 BtS#I[-p_  
m.ev~Vv~  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M I!?-lI@(  
s(W]>Ib  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

MgF2 放最外層的  在相同AR總層數下  可以得到更低的模擬結果    ；     你可以試試看做鍍率實驗 應該可以得到正解  或是試著從新優化 降低mgf2厚度  

贾松山:氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下， (2016-05-27 12:51)  @J~hi\&`  

MKiP3kt
8  
还可以这样玩

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)   I?R?rW
 

E7`Q=4@e  
原来是这样的

rexchou:我用的材料為石英
您說的沒錯
....... (2016-05-09 17:51)  "?Yf3G:\0  

QdK PzjA  
谢谢专家门的意见

jakzhou:好东西 (2016-05-24 17:40)  &H:2TL!  

:$^cY>o  
学的很好

学习了，不过最外层MgF2对后续加工可能影响较大，会出现膜层渗水等现象。

好东西，学习了