[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 y1/o^d+@  
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若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 q
L94SW;  
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不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? _FwK-?4E-  
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希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 4npqJ1  
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P.S. U#1bp}y  
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AR與MGF2皆為EB製程 ./$cMaDJ  

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膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M q5L51KP2  
m5Tr-w$QY  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

MgF2 放最外層的  在相同AR總層數下  可以得到更低的模擬結果    ；     你可以試試看做鍍率實驗 應該可以得到正解  或是試著從新優化 降低mgf2厚度  

贾松山:氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下， (2016-05-27 12:51)  Ys8SDlMo  

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还可以这样玩

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  7-_vY[)/  

YxJD_R  
原来是这样的

rexchou:我用的材料為石英
您說的沒錯
....... (2016-05-09 17:51)  MmU%%2QG  

N b3$4(F  
谢谢专家门的意见

jakzhou:好东西 (2016-05-24 17:40)  s'2Rs^,hN  

lpEDPvD_Vm  
学的很好

学习了，不过最外层MgF2对后续加工可能影响较大，会出现膜层渗水等现象。

好东西，学习了