[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 `+n0a@BVB  
T!,5dt8L  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 ?TpjU*Cxy  
j;.P  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? ]6M<c[H>  
+\Vw:
~e  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 e$s&B!qJ  
nx%As  
P.S. ?+EAp"{j  
1*p6UR&  
AR與MGF2皆為EB製程 _h<rVcl!wX  
(W h)Ov"  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M 
]<<,{IQ  
DyqqY$ vH(  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  tvf.K+  

1o/(fy  
我用的材料為石英 o|d:rp!^  
/-!Fr:Ox>  
您說的沒錯 [)}P{y [&  
m{ani/bt  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 l"[.Q>d  
@su<_m6'  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  ":T"Y;  

"Ltp]nCR  
我用的材料為石英 H/[(T%]o  
OAo03KW  
您說的沒錯 %#4;'\'5  
PDc4ok`)  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 X`v6gv5qj  
&q4~WRnzJk  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了