[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 )# v}8aL  
y[ZVi5) ,  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 e(I;[G +%,  
&r+!rL Kp  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? 'w0?-  
uuQsK. S  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 ):\+%v^  
t>P[Yld"  
P.S. woa|h"T  
d*x&Uh[K  
AR與MGF2皆為EB製程 [e>2HIS,  
@1~cPt   
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M @^%Y
Oorr  
/[5\T2GI  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  ulk/I-y  

TH55@1W,[  
我用的材料為石英 m8eoD{  
xZ* B}O{{H  
您說的沒錯 Rl_1g`84  
0g Hd{H=  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 ^W`RBrJay  
fhha-J  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  ]<9o>#3  

H2+V1J=  
我用的材料為石英 q6o}2<T@  
'*`1uomeo  
您說的沒錯 2ppJ;P{k  
[vnxp/v/<  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 yb\!4ml  
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9T,sX:  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了