[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 ^#mWV  
9I2&Vx=DSt  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 qg1\ABH  
 S.B?l_d^  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? TBQ68o  
FN<>L0  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 XP0;Q;WF}  
`OgT"FdL!  
P.S. q :~/2<o  
 s!
  
AR與MGF2皆為EB製程 q
~5zv4NX  
W)J5
[p?  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M reArXmU<u  
X>Q44FV!  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  uI?Z_  

/t7f5mA  
我用的材料為石英 aZ_3@I{d`  
~@l4T_,k  
您說的沒錯 5XHejHn>  
+jwk4BU  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 82EvlmD  
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h&DL8`  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  Km= Y^x0  

}F.k,2  
我用的材料為石英 b?iPQ$NyQ  
LFi* O&  
您說的沒錯 U7n#TPet  
q\i&ERr  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 7"aN7Q+EbI  
g7hI9(8+  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了