[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 --9mTqx  
@2mP  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 5-OvPTY`M  

 W6~=?C  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? d}ZHY[  
B4}XK=)  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 9<#D0hh$  
C gx?K]>y  
P.S.  q0~_D8e,  
?@1'WD t  
AR與MGF2皆為EB製程 `T70FsSJ  
e0L;V@R  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M V
|AE~R^  
"" U_|JH-  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  liqR#<  

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我用的材料為石英 ,|X+/|gm  
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您說的沒錯 T_?nd T2  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 l(,;w
AH  
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已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  LgP>u?]n  

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我用的材料為石英 7k[pvd|L  
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您說的沒錯 A{z>D`d  
OG`|td
 
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 #9D/jYK1X  
"[*S?QO(L  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了