[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 S;t`C~l
\  
rF}Q(<Y86  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 h$sOJs~6h  
2oc18#iG(  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? ;`xCfOY(  
=!DX,S7  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流  mVS^HQ:  
I%:?f{\  
P.S. zC:Pg4=w]  
X'\h^\yOo  
AR與MGF2皆為EB製程 sk07|9nU  
&=S:I!9;;  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M OpazWcMoo  
kWa5=BW2f  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  [|c%<|d2  

y2jw3R  
我用的材料為石英 :8oJG8WH  
1d FuoX  
您說的沒錯 _h#I}uJ~  
4P1}XYD-2  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 *@PM,tS;  
AnX<\7bc}  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  6j<!W+~G  

PT6]qS'1  
我用的材料為石英 BtC*]WB"_'  
qt~=47<d  
您說的沒錯 HTOr  
qy3@> 1G  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 *$<W"@%^J  
V|_ h[hXE  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了