[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 0~Iq9}{*P  
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若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 FPkig`(3  
:Tdl84  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? +:3p*x%1H  
SN5Z@kK  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 JpZ3T~Wrf  
g+QNIM>  
P.S. GiKmB-HO  
]htx9ds=  
AR與MGF2皆為EB製程 v%)=!T,  
97n,^t2F\  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M 9=9R"X>L  
fO}Y$y\q  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  5b-: e? |  

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我用的材料為石英 PK|"+I0  
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您說的沒錯 $r87]
y!  
H}B%OFI\+  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 "Rv],O"  
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已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  bYKe5y=  

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我用的材料為石英 ]F4.m  
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您說的沒錯 jJK`+J,i}X  
U$,W/G}m  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 Dxlpo! ?#  
JgmX=6N  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了