[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 @WiTh'w0  
$:&b5=i  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 WJMmt XO  
;
te( {u+  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? Q:Ma3El\  
tlB-s;  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 `26.+>Z7  
v#e*RI2}  
P.S. uPE Ab2u="  
|(CgX6 l3  
AR與MGF2皆為EB製程 V Ds0+RC  
{a15s6'd  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M x+b.9f4xJ  
#qv!1$}2  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  94|ZY}8|f  

HKJ^6|'  
我用的材料為石英 f8V )nM+v"  
QDVSFGwr  
您說的沒錯 adRIg:2  
uI&0/  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 SuNc&e#(  
:eT\XtxM~{  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  R/Sm  

TiZ MY:^  
我用的材料為石英 w)1SZ}  
hkV*UH{  
您說的沒錯 | z_av  

B#.xs>{N  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 -]Mk} z$  
nw_|W)JVQ  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了