[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 Bu1z$#AC  
mw[4<vfB0a  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 HhvG
#Sam!  
2An`{')  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? Nj0)/)<r+  
MxRU6+a  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 #E9['JnZ
 
^mi4q[PM  
P.S. T Rw6$CR  
"|%9
xGX|D  
AR與MGF2皆為EB製程 mB{{o
}'<u  
vgj^-  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M sh ;uKzQ  
6mdnEmFM]  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  E8-fW\!F  

(+UmUx=  
我用的材料為石英 =r@gJw:B  
n<?SZ^X{,/  
您說的沒錯 }B"|z'u  
tyuk{*Me:  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 3G%wZ,)C  
qA/#IUi)1  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  |',M_ e]  

fy&#M3UA\U  
我用的材料為石英 wgY6D!Y   
[34zh="o  
您說的沒錯 gjW\ XY  
.#*D!;f  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 [6AHaOhR'  
NW z9C=y  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了