[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 E|K~WO]>o  
ym~  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 FT/STI  
w%L::Z4  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? 7_*k<W7|  
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希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 ub,GF?9  
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P.S. 9p{7x[C  
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AR與MGF2皆為EB製程 mOQN$d[  
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膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M 48 n5Y~YS  
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起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  %SKJ#b  

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我用的材料為石英 d:{#Dk#  
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您說的沒錯 $_orxu0W  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 G
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已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  7(plHW|  

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我用的材料為石英 Cd'`rs}3  
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您說的沒錯
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 c$b~?Mx  
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已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了