[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 hnyZXk1|  
f>Ij:b`Z2  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 `i<U;?=0'  
n}YRE`>D  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? b2ZKhS8  
p-;*K(#X  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 g<tr |n  
['{mW4i  
P.S. ZX'/[wAN)  
eM{+R^8  
AR與MGF2皆為EB製程 38rC; 6  
%kyvtt  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M $_NVy>\&  
B1\}'g8%f  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  B>C+qj@  

>8M=REn4  
我用的材料為石英 &YpViC4K.  
VW&EdrR,S  
您說的沒錯 6Ft?9 B(F:  
08czP-)OZ  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 wr5ScsNS  
r ]s7a?O  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  ,xw1B-dx  

O=[Q>\p  
我用的材料為石英 %lk^(@+ T  
mv
,5Q6!  
您說的沒錯 ?6Wv["%  
v<@3&bot  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 ^sKdN-{  
2YDD`:R  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了