[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 ^bG!k]U!2  
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若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 OOCeZ3yF(
 

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不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? A M2M87{t  
4=Ey\Px  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 n3N"Ax  
dc)Gk  
P.S. 0FOf *Lz  
^XM;D/Gp~  
AR與MGF2皆為EB製程 TRZ^$<AG  
IoA;q)  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M I,eyL$x  
U6Ak"  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  ApYud?0b  

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我用的材料為石英 %@n8 ?l4  
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您說的沒錯 |qcFmy  
^z}lGu  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 +'KE T,  
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已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  6UW:l|}4#2  

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我用的材料為石英 7AO3-; l]  
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您說的沒錯 )nNCB=YF!  
wY3|#P CDV  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 2:iYYRrg  
_+\:OB[Y  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了