[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 ]Ry9{:  
'.A!IGsj  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 ]J7qs
Mw  
+f3Rzx]  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? _4S^'FDo   
o E+'@  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 g4?2'G5m?  
X~{6$J|]#i  
P.S. -U|c~Cqc  
-cgO]q+Oq  
AR與MGF2皆為EB製程 i<QDV W9  
RXgb/VR  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M LlTD =tJ0  
i ;FKnK  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  @IG's-  

HLyAzB~r  
我用的材料為石英 ~WA@YjQ]  
0cm34\*  
您說的沒錯 * + T(i  
+wi=IrRr  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 rWht},-|1  
9#DXA}  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  w)dnmrKDZg  

FL{Uz+Q  
我用的材料為石英 ?V6,>e_+  
iil<zEic  
您說的沒錯 hYoUZ'4  
.UPh  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 c~<;}ve^z  
i{^T;uAE  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了