[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 ]^"*Fdn  
+oeO0  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 Qu!Lc:oM?  
>lRX+?  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? @2]_jW  
lQldW|S>  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 ?%F*{3IP  
-k=02?0p+  
P.S. 10{ZW@!7  
uEH&]M>d_  
AR與MGF2皆為EB製程 On#RYy^}  
2BEF8o]Np  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M 4$@)yZ  
]k5l]JB  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  zcnp?
%  

t=J WD2  
我用的材料為石英 q'{LTg0kk  
hY XH9:  
您說的沒錯 ~Q}JC3f>  
+dIDFSd  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 pVbgjJI  
B
/u0^!  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  fNjxdG{a  

yO}RkRA  
我用的材料為石英 zGKDH=Yy ;  
VK)1/b=yT  
您說的沒錯 5m2`$y-nb  
`-qRZh@E  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 \Y;LbB8D  
Th1/Bxb:  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了