示例.0082(1.0)
06pY10 <>X j{t r''yN 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
U
CFw+ ':\bn:; 1. 描述
??hKsjNAm0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
r_rdd}=b' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
HmsXV_B8[Y ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
N /2WUp .[:WMCc\ 2. 系统
Qe9}%k6@E WwKpZ67$R 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
a9 S&n5 3. 透镜系统组件编辑
.",BLuce Mg^A,8lrm ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
p NQ@aJ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
U~zy;M T ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
PCBV 6Y7r ■ 包括序列光学表面和光学介质。
"x:- #2+h @@!]Raj= 4. 光线追迹系统分析器-选项
h^{ aG ]) o/RGz PR iP^[xB~v ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
54s90 ■ 可以选择选取光线的方法：
Mp J3*$Dr — 在x-y-网格
#aP;a-Q|k — 六边形
O15~\8# ' — 自由选取
b!EqYT ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
3 )^ 2X $iH 5. 系统的3维视图
m[N&UM# 4!M0)Nix K_X( j$2Xc
6. 其他系统参数
]h= y ■ 系统由单色平面波
照明 B SEP*#s ■ 照明波长266.08nm
bGj<Dojl ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
JJ_KfnH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
u<+RA — 一个虚拟屏位于焦平面
`V[ hE
r| —
光束尺寸探测器置于焦平面
[Fd [( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
LXc;`] ,;=is.h 9 7. 光线追迹系统分析器的结果
6k1_dRu 2m&?t_W 光线经过整个光学系统的三维视图
[s-!t E3- 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
LA,G>#?H 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
o107. s HhTD/ sR$/z9w ■ VirtualLab可用于计算点列图。
o-AAx#@ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
'sjks sy.3 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
X u{S4#1 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
4Rl~7| OZl0I#@A 9. 焦平面上的结果
W%#LHluP 0 n)UvJ =vKSvQP@) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
s:sk`~2<gd ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
W TC/mcS ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
0t 00X/ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
z- kB! ~r ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
pH?"@ /.1h _[K] 10. 总结
O~F8lQ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
{/qq *0wa ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
N..@}} ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
1ZfhDtK( ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Zu^J X/um ].
^e[v6 （来源：讯技光电）
