示例.0082(1.0)
N~0$x,bR U(8I+xZ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
ZS| Z98 5
u"nxT
1. 描述
),)Q{~&` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
"
gwm23Rpj ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
bsD'\ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
s}<)B RZi Q0_M-^~WT 2. 系统
c| 3h| 5auL<Pq 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(
/
G)" ] 3. 透镜系统组件编辑
H o:}Bn
g YD dLDE ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
h^Arb=I ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
18J.vcP ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
4bFv"b ■ 包括序列光学表面和光学介质。
R ^F 7a0" P=}H1 # 4. 光线追迹系统分析器-选项
0 %C!`7 ~4}*Dhsh `W
D*Q-&n ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
deHY8x5uI ■ 可以选择选取光线的方法：
o&*1U"6D — 在x-y-网格
IZzhJK M1V — 六边形
(4E.Li<O — 自由选取
|~Htj4K/ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
X *43!\ R4[. n@ 5. 系统的3维视图
q^Q|.&_k / 4Q &Xb < 
cob9hj#&7 6. 其他系统参数
Z 5{ *? 2 ■ 系统由单色平面波
照明 eimA *0Cq ■ 照明波长266.08nm
?Aj\1y4L1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
O1l4gduN|i — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
,dGFX]P — 一个虚拟屏位于焦平面
l;"ub^AH —
光束尺寸探测器置于焦平面
W ??;4 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
}A)^XZ/ }7f 1(#{7 7. 光线追迹系统分析器的结果
v3iDh8.__ ,APGPE}I[ 光线经过整个光学系统的三维视图
e2,<,~_K6 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
9}? 5p]% 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
ft*G*.0kO :*^ (OnIe c"oQ/x ■ VirtualLab可用于计算点列图。
nvm1.}=Cnd ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
~2;&pZ$ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ROlzs} ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
h$:&1jVY{ 0KNH=;d} 9. 焦平面上的结果
hO:)=}+H ?];~N5<' ;[;S_|vZ=) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
m
bB\~n ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
: 7 s# 5b ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
~7eUt^SD; ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
uv_P {%TK ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
W! 5Blo K!$\REs 10. 总结
k;AV;KWI' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
c@"i? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
3XYIb Xnk ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Nys'4kx7 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
z}Mb4{d1 V2<k0@y （来源：讯技光电）
