示例.0082(1.0)
anz7ae&P'K /oe0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
JYjc^m !^L}LtqHI 1. 描述
QP<P,Bi~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
*]q`:~u2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
p({|=+bl ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
nq7)0F%e Th,]nVsGs~ 2. 系统
P
>0S ZP i)@vHh82 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(1{OQ0N+x 3. 透镜系统组件编辑
\K9Y@jnr |OF3J,q ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
.O~rAu*K ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
-, = )O ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
-=rGN"(M
_ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
@AG=Eq9<o ) tV]h#4 4. 光线追迹系统分析器-选项
O{]}{Ss
2 (ux h*P0; V`UX ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
h;K9}w ■ 可以选择选取光线的方法：
IMSm — 在x-y-网格
V /OW=WCzN — 六边形
W#b++}S — 自由选取
_;(Q MeR ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
~|KMxY(: QBoX3w= 5. 系统的3维视图
8v;T_VN f}FJR6V O 
U_B`SS 6. 其他系统参数
NVC$8imip ■ 系统由单色平面波
照明 jT QN(a9Y ■ 照明波长266.08nm
dj0D u^ v4 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
C $c.(5/O — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
S Ld9-N}T — 一个虚拟屏位于焦平面
)>=|oY3 —
光束尺寸探测器置于焦平面
xi\uLu?i ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
HZ2 zL17 kS7T ' [d 7. 光线追迹系统分析器的结果
/_bM~g |4Q><6 "G 光线经过整个光学系统的三维视图
]}0+7Q 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
v:j4#pEWD 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
\}qv}hU n_] OYG>U ]Ot l(\v(h ■ VirtualLab可用于计算点列图。
p/ s5 [>N ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
}S&SL) ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
q%^gG0 3. ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2,%ne ( lu.2ZQ E 9. 焦平面上的结果
xhMdn3~U &9g#Vq% t,P +~ A ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
gzdgnF2 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
C{S 6Ri ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Z=sAR(n}~ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
1Kebl ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
DFjkp;`1 K<_H`k*x 10. 总结
L,X6L @ Q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
)'<zC ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
n#]G! 7 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
|s`q+ U - ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
L_Ai/' sQH. }W$C （来源：讯技光电）
