示例.0082(1.0)
E' `; i6n,N)%H 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
~!PWJ~U w5PscEc 1. 描述
M$@~|pQ< ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
SZ[?2z ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
nM .g8d K ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
?K:\WW 3fQ`}OcNr 2. 系统
vw3[(_MV3_ |T/OOIA=sI 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Bx5 xtJ|! 3. 透镜系统组件编辑
_^ (1Qb[ DMc h88W ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
z{w %pUn } ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
jR[c3EA
; ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
_,(s ■ 包括序列光学表面和光学介质。
=gJ{75tV3 v .C 4. 光线追迹系统分析器-选项
o jxK8_kl =Jw*T[ E P, )D0i ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
d@{1 2 hq ■ 可以选择选取光线的方法：
KyVzf(^ — 在x-y-网格
`Rt w'Uz — 六边形
%RtL4"M2j — 自由选取
."BXA8c;A ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
)b ]wpEFl +<p&V a# 5. 系统的3维视图
+VW8{=$ O-U A2?N@j 
GU/P%c/V 6. 其他系统参数
-A<@Pg ■ 系统由单色平面波
照明 (Ytr&gh;0 ■ 照明波长266.08nm
f m^` ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
_)= e`9% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
&XcPHZy' — 一个虚拟屏位于焦平面
Qu'#~#L` —
光束尺寸探测器置于焦平面
OwNM`xSa|\ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
l\AdL$$Mb 9R J#zU K 7. 光线追迹系统分析器的结果
C)yw b 6 j96}E/gF 光线经过整个光学系统的三维视图
NV/paoyx:* 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
H6K8. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
V 1d#7rP rWNe&gFM %2I>- 0]B ■ VirtualLab可用于计算点列图。
gS[B;+d ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
|H^v8^%>zm ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
#U%HG TE0 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
x5PM ]~"p sDg1nKw( 9. 焦平面上的结果
EMr|#}]#s RaSuzy^`*] 5p~5-_JX ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(:E@kpK ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
a)r["*bTx ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
9@"pR;X@ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
BH}Cx[n? ~ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
J^#g?RHN>m ,!^c`_Q\>@ 10. 总结
DS%]7,g] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
i qxMTH#! ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
; (}~m&p ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
F~rl24F ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
&gT@oS{ ^.@%n1I"5y （来源：讯技光电）
