示例.0082(1.0)
P\<:.8@$S 1JfZstT 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Y&8,f|{R X-kOp9/. 1. 描述
SY[3O ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
u:2Ll[ eo ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
&KAe+~aPm ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
+kQ=2dva (.V),NKG 2. 系统
w4Df? )Z H~nZ=`P9& 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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62W 3. 透镜系统组件编辑
3^~J;U!3 Z%:>nDZV ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
F]?] |nZZ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
ktx| c19 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
_W _< bI34 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
OQB7C0+ & 4d4+%5GE 4. 光线追迹系统分析器-选项
BR@m*JGajz J:glJ '4E ]kTx Ve ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
l[ $bn!_ e ■ 可以选择选取光线的方法：
|oXd4 — 在x-y-网格
*Z_4bR4Q — 六边形
-Ls zaMR} — 自由选取
~r5S{& ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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Ns -"dt3$ju 5. 系统的3维视图
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6. 其他系统参数
:1>?:3,` ■ 系统由单色平面波
照明 ?e<2'\5v ■ 照明波长266.08nm
V+ O,y9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
7}UG&t{ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
^x: l B> — 一个虚拟屏位于焦平面
YiDO V) —
光束尺寸探测器置于焦平面
96(Mu% l ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
L!If~6oD( sjg`4^!wDD 7. 光线追迹系统分析器的结果
"a8E0b zTw"5N 光线经过整个光学系统的三维视图
5o d T\>Sn 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
7PX`kI 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
6p)AQTh> 5dj@N3ZX7; 9_?x AJ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
^F co'nlM ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Gs,:$Im ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
;mG*Rad ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
67II9\/ 2M-[x"\1/ 9. 焦平面上的结果
6 4zOEjra AAevN3a#nI %M@K(Qu ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
l}))vf=i ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
YB5"i9T2 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
$Iwvecn?I ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
>%j%Mj@8q| ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
' rcqy1-& \!-BR0+y; 10. 总结
" <!U ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
FmL]| ~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
o8bd L< ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
7MKX`S ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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L`B （来源：讯技光电）
