示例.0082(1.0)
D?8(n=#[ ~kj96w4eAR 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
p~C z6n j Ko9y 1. 描述
R'6 (eA[K ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Z_edNf }| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
)MLbE-@ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
4mKH
|\g *D XX*9 0 2. 系统
BTYYp1 B/qN1D]U. 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
$tI<MZ&Z 3. 透镜系统组件编辑
A.@wGy 4 xIW]e1pu=( ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Nd_A8H,&B ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
AWP grv / ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
SIK aDIZ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Z!Z{Gm3 aMxj{*v7 4. 光线追迹系统分析器-选项
m/jyc#
L:u m #G,m G<k. d"< ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Mk=*2=d ■ 可以选择选取光线的方法：
[s\8@5?E
— 在x-y-网格
C[hNngb7R — 六边形
8 a]g>g — 自由选取
MK @rx6<9 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
6uKth mr \IYv9ScAx 5. 系统的3维视图
:SW
vH- ] )V+/@ 4 #Ef! X
6. 其他系统参数
PC+Soh* ■ 系统由单色平面波
照明 KKb7dZbt< ■ 照明波长266.08nm
NS""][# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
3Nwix_&S — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
#8
^b] — 一个虚拟屏位于焦平面
tS5J{j>T —
光束尺寸探测器置于焦平面
/ueOc<[8" ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
v Jct)i Z__fwv.X[ 7. 光线追迹系统分析器的结果
|uz\XK =./PY1 0' 光线经过整个光学系统的三维视图
w8j pOvj 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
,)!%^ ~v 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
yi Xb<g+B R]Z#VnL@qz S!x;w 7j ■ VirtualLab可用于计算点列图。
1JdMw$H ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
ZREy I(_ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
_
W#Km ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
UWhHzLcXh 4M|C>My 9. 焦平面上的结果
:?= 1aiS ahZ@4v ]N0B.e~D ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
0bJT0_ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
tJQZRZViu ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
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H>3 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
d8R|0 R Z ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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