示例.0082(1.0)
jn|NrvrX L F!KP 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
/C Xg$%\ >~Zj 1. 描述
jyW={%& ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
U<0Wa>3zj ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
8xAI n>,_ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
W7WHDL^ / ^d9At614 2. 系统
A?#i{R 4AJT)I. 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
1a(\F 7 3. 透镜系统组件编辑
# ;a+)~3*O ~ /K&=xE ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
-c?x5/@3 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
f |B\Y/*X ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
^g6v#]&WA ■ 包括序列光学表面和光学介质。
b'+Wf#.]f0 KBtqtE'(L 4. 光线追迹系统分析器-选项
!9
kN L 51|s2+GG f\=
@jV ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
,H"}Rw ■ 可以选择选取光线的方法：
E*5aLT5!, — 在x-y-网格
8Pa*d/5Y( — 六边形
^2$b8]q — 自由选取
A"M;kzAfHM ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
U.SC,;N^ oCOv
6( 5. 系统的3维视图
0Sd>* nC 4z5qXI/<m4 >oJ ab R
6. 其他系统参数
ZrEou}z(* ■ 系统由单色平面波
照明 ]I,&Bme ■ 照明波长266.08nm
mv:@ D ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
8Gy]nD — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
P?>:YY53 — 一个虚拟屏位于焦平面
0qFO +nC —
光束尺寸探测器置于焦平面
liP rxuP` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
&2 Yo 5 ,MM`:{{ 7. 光线追迹系统分析器的结果
q[qX O5 3Y)z{ o>P 光线经过整个光学系统的三维视图
+1c r6a 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
{=
&&J@: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
>Vq07R |khFQ( :*
|WE29U ■ VirtualLab可用于计算点列图。
OCdX'HN5Y ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
U~yPQ8jD ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
igTs[q=Ak ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
-!~pa^j ZK t {3P 9. 焦平面上的结果
Ou4hAm91s J#wf`VR% \\ R<HuTY ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
/PaS <"<P@ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
YR\(*LJL ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
#B?lU"f8q^ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
/V+7 :WDj ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
[g"nu0sOK Dj=$Q44 10. 总结
r\fkx> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
~P}ng{x4z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
|4/rVj" ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
~5|R`% ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
VSUWX 1k4% ` *Wg&u （来源：讯技光电）
