示例.0082(1.0)
Gk/cP` \v5;t9uBZ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
3-, W?
"aC +4 Pes 1. 描述
FpU8$o~r{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
EpyMc+.Ze' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
%''L7o.#a ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
deVn Au = Z<^!N) 2. 系统
;^0 rY )& AO]cnh C 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-W<1BJE 3. 透镜系统组件编辑
u%+k\/Scp. g}W|q"l?i ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
j7Ts&;`[* ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
CswKT 9 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
"y&`,s5} ■ 包括序列光学表面和光学介质。
7gZ}Qy YURMXbj 4. 光线追迹系统分析器-选项
GGr82)E e0(aRN{W `]XI Q\ * ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
]d@>vzCO ■ 可以选择选取光线的方法：
gGU KB2) — 在x-y-网格
`>`b;A4 — 六边形
{7@*cB qN — 自由选取
u4w!SD ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
: v;U 7 ^]D1': 5. 系统的3维视图
QDV+( jVQ89 vf
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6. 其他系统参数
h_S>Q ■ 系统由单色平面波
照明 D\9-/ p ■ 照明波长266.08nm
{&mH fN ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
z'& fEsjy — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
w: QO@ — 一个虚拟屏位于焦平面
matna —
光束尺寸探测器置于焦平面
-X~ |jF ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
|g)>6+?]W I 4?oBq 7. 光线追迹系统分析器的结果
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Wu'qpJ 光线经过整个光学系统的三维视图
j]<K%lwp 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
SeDk/}/~e 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
7#%Pry ^Pe z V5( E'DHO2
Y ■ VirtualLab可用于计算点列图。
!e~[U- ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
!Kg ']4 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
B6k<#-HAT ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
lYJS g70P &k%>u[Bo 9. 焦平面上的结果
b NVeL$' CCe>*tdf fM4B.45j ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
@|c]) ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
)j>U4a ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
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8. ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
xi(\=LbhY ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
#xw*;hW< iI";m0Ny 10. 总结
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Ns ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
I"vkfi#= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
diY 7<u# ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
GgG #]a!_f ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
ucx02^uA ={zTQ+7S` （来源：讯技光电）
