示例.0082(1.0)
[5wU0~>' Z1 sRLkR^ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
'=1@,Skj- =0mXTY1 1. 描述
R/ 3#(5 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
'tMS5d) 4: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
2,e>gP\] ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
c'uDK> ?X3uPj9if 2. 系统
gbu@& 4{#0ci { 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M(#]NTr ~4 3. 透镜系统组件编辑
E#/vgm=W; 9B2`FJ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
~vstuRRST ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
O+PRP"$g" ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
jGFDj"Y ■ 包括序列光学表面和光学介质。
V
u1|5 C0-,<X 4. 光线追迹系统分析器-选项
"xp>Vj b_GAK 'OvyQ/T
■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
v0,&wdi ■ 可以选择选取光线的方法：
Q vm[2mb — 在x-y-网格
({9P,
D~2 — 六边形
Yy4l -} " — 自由选取
S@6 :H" ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
^s6C']q *O v lx\hJ<I 5. 系统的3维视图
N7}y U~j^ g <5G# g0 Jy:`M
6. 其他系统参数
H RW }Yl ■ 系统由单色平面波
照明
!AFii:# ■ 照明波长266.08nm
3?-2~s3gp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
* Fz#x{zt — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
a 8.Xy])! — 一个虚拟屏位于焦平面
L0>w|LpRc —
光束尺寸探测器置于焦平面
S<nbNSu6+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
~)%D iGW& ZY-m Ug 7. 光线追迹系统分析器的结果
Ops""#Zi : ?z E@Ct 光线经过整个光学系统的三维视图
THHA~;00YN 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
HFTD ea +# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
x(bM
X2to](\% X < 7yn : ■ VirtualLab可用于计算点列图。
* kKd L ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Zm#qW2a]P ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
.Af H>)E ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
73tWeZ8rvx =*Y=u6 ? 9. 焦平面上的结果
XaR(~2 ]_ &pIBp VO+3@d: ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
KSy. ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
GN
?1dwI ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
kH>^3( Q\ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
iWMgU:T ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
u}B N)%` B [Se 0+\,& 10. 总结
2-.%WhE / ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
~7"6Y ] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
BRG TCR ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
>? ( { ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Oky9G C.a :R9 DJh\ （来源：讯技光电）
