示例.0082(1.0)
Q!V:=d -mG`* 0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
yxp,)os: v
x/Y WZ 1. 描述
_avf%OS ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
>L2_k'uE+; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
~nf OV* ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
~h; -kMw[Y 2. 系统
"IT7.!=@9 6Jb0MX"AVr 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ka\{?:r,8 3. 透镜系统组件编辑
N\g=9o|Q r D SYR\cg ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
T[k$ [ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
\?T9 v ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Z6i~Dy3 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
J *$%d1 iKJqMES 4. 光线追迹系统分析器-选项
~at@3j}W gI ;"P kN g}D)MlXRq ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8 lYA6A ■ 可以选择选取光线的方法：
P{6$".kIY — 在x-y-网格
9>S)*lU&s — 六边形
K xX [8 — 自由选取
bAZoi0LR
■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
JpC=ACF X_o#! 5. 系统的3维视图
06f%{mAZS M
x#L|w`r (is' ,4^b
6. 其他系统参数
-|#{V.G3' ■ 系统由单色平面波
照明 1 ~L;S ■ 照明波长266.08nm
:&vX0
Ce: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
V RQ`-# — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/x ?@M n> — 一个虚拟屏位于焦平面
(6 ga*5< —
光束尺寸探测器置于焦平面
u NyN[U ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
9 ,INyEyAL iv~R4;;) 7. 光线追迹系统分析器的结果
Jq &Hz$L| \(i'i C 光线经过整个光学系统的三维视图
]i.N'O< p 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
A[+ )PkR 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
0>BxS 9?w .t1:;H b `C S\"|z ■ VirtualLab可用于计算点列图。
}S u j=oFp ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
eav n.I8J ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
H_RfIX)X ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
DlUKhbo$g #kM|!U= 9. 焦平面上的结果
{k3ItGQ_ mBErU6?X,A f-|?He4O] ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
UF!qp ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
@@o J@; ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
{O2=K#J ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
=Q(J! f ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
l|WF S _,L_H[FN 10. 总结
}( F:U# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
;Yee0O!d4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
#s~;ss , ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
I:TbZ*vi~ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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}oI! ruGJZAhIA^ （来源：讯技光电）
