示例.0082(1.0)
*kIJv?%_} w9oiu$7), 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
$M8'm1R9 3!
+5MsR+ 1. 描述
oT_,k}L IX ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
l5MxJ>?4%B ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
JDs<1@ \ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
W,<Vr2J[ }FK6o
6 2. 系统
Zf"AqGP 9UwDa`^ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
UO&S6M]v7 3. 透镜系统组件编辑
s)L7o)56/ b)V[d8IA ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
v|"{x&I. ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
1idEm*3&( ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
9-@w(kMu ■ 包括序列光学表面和光学介质。
(u*]&yk Soa.thP 4. 光线追迹系统分析器-选项
!!QMcx_C#/ f; b(W F3qi$ 3HM ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
7!% cKZCY ■ 可以选择选取光线的方法：
U/ZbE?it> — 在x-y-网格
&x;nP 6mV — 六边形
15zL,yo — 自由选取
P aZ FM ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
>WpPYUbH *=I#VN*_<. 5. 系统的3维视图
_
9k^Hd[L$ REt()$
7~ b2 ),J
6. 其他系统参数
}:BF3cH> 0 ■ 系统由单色平面波
照明 =DtM.oQ> ■ 照明波长266.08nm
)rXP2Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Q`oi=O YB — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/M#A[tZ3 — 一个虚拟屏位于焦平面
0V bZBLe —
光束尺寸探测器置于焦平面
YF;8il{p ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
prwyP W OwIJrP 7. 光线追迹系统分析器的结果
5~sJ$5<, XGUF9arN 光线经过整个光学系统的三维视图
b H= 5[ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
jeW0;Cz
J~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
$$8"i+,K +EpT)FJX A$
S9
` ■ VirtualLab可用于计算点列图。
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IDF9 B ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
rdC(+2+Ay ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
9 ROKueP ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
jem$R/4" "_(o% \"7 9. 焦平面上的结果
u54+oh|,M 5!5P\o k _^d7yH ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
C[pAa 8 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
pa+ y(!G ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
_2TI an } ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
BBp
Hp ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
eAl&[_o|S @z2RMEC~ 10. 总结
H,uO sh R ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
#v`G4d ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
8en85
pp8P ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
=}V`O> ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
?d_Cy\G EatpORq （来源：讯技光电）
