示例.0082(1.0)
jzV#%O{` Vs"Z9p$U 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
+]{X-R |joGrW v4 1. 描述
2AluH8X/ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
,lUo@+ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
' ZJ6p0 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
N >z8\y .UDZW* 2. 系统
nO/5X>A,Zw C+iP
@~ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
A#i-C+"} 3. 透镜系统组件编辑
r B)WHx< oM VJ+#[x ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
J@5 OZFMZ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
0uvL,hF ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
upJishy&I ■ 包括序列光学表面和光学介质。
A~6 Cs LY>JE6zTt 4. 光线追迹系统分析器-选项
UWnH2 a T0 y ^?A+`1- ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
{/ Cd ^CK ■ 可以选择选取光线的方法：
{L0w& ~$Fy — 在x-y-网格
,t[D1KZ t — 六边形
[ M'1aBx^ — 自由选取
U".-C`4v ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
#=tWC xf= r
{8 5. 系统的3维视图
Xnh1pwDhe< v:>P;\]r9M 
?{2-,M0 6. 其他系统参数
l ghzd6 ■ 系统由单色平面波
照明 k (R4-"@ ■ 照明波长266.08nm
jQDxbkIuzE ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
5(W9 J j] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
5YCbFk^ — 一个虚拟屏位于焦平面
0jmlsC> —
光束尺寸探测器置于焦平面
zM '-2, ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
>"[u.1J_'I +~@Y#>+./l 7. 光线追迹系统分析器的结果
7[)(;- 9~_6mR< 光线经过整个光学系统的三维视图
pGFocw 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
{)y4Qp 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
5Zov< +kE Wama>dy % `zL9d lZ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
%F~
dmA#: ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
,?qS#B+> ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
K+\hv~+@ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
w&{J9' ~ D8ly8]H 9. 焦平面上的结果
:-Pj )Y{I nAzr!$qbNv cG?266{g ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
E;sltl ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
8n)Q^z+
K ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
NO$Nl/XM ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
!=we7vK} ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
-O5m@rwt< OK 6}9Eu9 10. 总结
DXt^Ym5Cv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
(0+m&,
z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
F\I^d] #,[ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
z -D pLV ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
riL!]'akV 9E^p i LA （来源：讯技光电）
