示例.0082(1.0)
(wLzkV/6 L/9f"%kZ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
r#LoBfM;^A mwLp~z%OX 1. 描述
| W:JI ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
\Ku6 gEy ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
NMb`d0;( ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
\NwL #bQ~ v{9< ATi 2. 系统
^50#R< Ny NidG|Yg~Z 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
:{<( )gfk 3. 透镜系统组件编辑
4h wUH vy\;# X! ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Av[L,4A ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
$>zLa_cn| ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
J2H/z5YRJ4 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
UV8,SSDT V RbUBKMZ U 4. 光线追迹系统分析器-选项
/pzEL #UGm /4C 6(
TG/J ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
r
J'm>&Ps ■ 可以选择选取光线的方法：
5at\!17TY — 在x-y-网格
X?5M)MP+I — 六边形
%IG cn48J — 自由选取
@4dB$QF`& ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
_
h\wH; * Zb-YA 5. 系统的3维视图
Zn&S7a >7 zM?JLNs]<{ 
5]n5nqz 6. 其他系统参数
}I_/>58 ■ 系统由单色平面波
照明 D/pc)3Ofe ■ 照明波长266.08nm
:{NvBxc[ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
wlr/zquAE9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
@WVpDhG — 一个虚拟屏位于焦平面
Ht#5;c2/ —
光束尺寸探测器置于焦平面
qD:3;85 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
)HWf`;VQ "1P 8[ 7. 光线追迹系统分析器的结果
,&$=2<Dx v#i,pBj 光线经过整个光学系统的三维视图
afY~Y?PJ< 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
J5 PXmL 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
3 D>s y f F.ml]k&(m iW\cLp " ■ VirtualLab可用于计算点列图。
C8i6ESmU ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
bp Q/#\Z ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
;~Y0H9 ` ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
6FuZMasr* ],{ b&\ 9. 焦平面上的结果
- `^594 3>%oGb o Z^w11} ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
&t1?=F,] ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
_ S%3?Q ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
v :0. ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
?u`+?" 'H ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
F8{"Rk} b,U"N- 6 10. 总结
qzq_3^ 66 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
u2crL5^z2) ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
}nNZ p ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
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v ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
r (9#kLXg a~>. （来源：讯技光电）
