示例.0082(1.0)
UC
LjR<} D` `NQ`>A 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
w)y9!li "6o}qeB l 1. 描述
r/$)c_x` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
[#*?uu+
jK ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
pN f9 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
,5+X%~' x_iy;\s1 2. 系统
JLV}Fw s2v#evI`+ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@7Rt[2"e 3. 透镜系统组件编辑
9xS`@ "` eYX_V6c ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
6UAxl3- \ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
j6 d"8oH
_ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
:Ac N b ■ 包括序列光学表面和光学介质。
!m:PBl5
2WECQl=r 4. 光线追迹系统分析器-选项
f]6` GsE 1*, ~ 1!> <GmrKdM ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
~JRu M P ■ 可以选择选取光线的方法：
96E7hp !: — 在x-y-网格
iF_r'+j — 六边形
D.Cs nfJ — 自由选取
c:_i )" : ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
"91At b;hJ h/bYtE 5. 系统的3维视图
?9okjLp1n <[f2ZS6 
\ui~n:aWJ 6. 其他系统参数
T2PFE4+Dp ■ 系统由单色平面波
照明 IS*"_o<AR ■ 照明波长266.08nm
e^Wv*OD' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
6{r[ Dq — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
1~u\]Zi=D — 一个虚拟屏位于焦平面
w58 Q X/XG —
光束尺寸探测器置于焦平面
whZ],R*u ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Ri6 br } fMFQA) 7. 光线追迹系统分析器的结果
>s?;2T2"yx jqsktJw#i 光线经过整个光学系统的三维视图
[)6E) E`_e 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
+/lj~5 :y 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
5@rqU(]< kQ'xs%Fw G6F['g); ■ VirtualLab可用于计算点列图。
4 ^}PnU7z ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Nv]/L +i ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Uk ;.Hrt. ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
G:ngio]G0 ea}KxLC` , 9. 焦平面上的结果
ZUI9[A? s sbyvzQ 'n.9qxY; ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
'wq:F?viF ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
959j p85 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
P2RL\`<" ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
l hp:. ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
R:m=HS_ \ iSBLU 10. 总结
: >ST)Y@]w ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
&L`p4AZ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
x&b-Na 3Xi ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
!)3Su=*R ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
:%]R x&08 %--5bwZi （来源：讯技光电）
