示例.0082(1.0)
sI<PYi={-6 AFdBf6/" i 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
S; Fj9\2)I 9.>he+ 1. 描述
PblO?@~O ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
i87+9X
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
+ 'V ,z ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
FR^(1+lx& H^fErl 2. 系统
d$5\{YLy :{=2ih-} 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8~|t l, 3. 透镜系统组件编辑
Z Tzh[ 2u* |2!cPf^8 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
|R3A$r#- ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
7N8a4 8$8 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
~y" ^t@!E ■ 包括序列光学表面和光学介质。
"w&G1kw5I jrN"en 4. 光线追迹系统分析器-选项
P$i d? dOF K; <G60R^o ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
OM (D @up ■ 可以选择选取光线的方法：
J_7&nI H7 — 在x-y-网格
94'0X — 六边形
_ lE
d8Cb — 自由选取
i1 ^#TC$x ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
_i pY; RxUz J 5. 系统的3维视图
{w52]5l #xNXCBl ]O 
:<PwG]LO 6. 其他系统参数
rvE Tt ■ 系统由单色平面波
照明 ^"{txd?6 ■ 照明波长266.08nm
ZU K'z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
E -i <^&E — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
|m>{< : — 一个虚拟屏位于焦平面
E3d# T —
光束尺寸探测器置于焦平面
j6#RV@ p` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
vN$j @h . v~ KgCLo 7. 光线追迹系统分析器的结果
Ja%(kq[v ]#P>wW 光线经过整个光学系统的三维视图
{Ax{N 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
$[M5V v 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
+&qj`hA-b tish%Qnpd Wer.VL ■ VirtualLab可用于计算点列图。
"2>_eZ#b ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
W8Aii'Q8C/ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
{N`<TH PP ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
uS&NRf9A *c' hmA s 9. 焦平面上的结果
We:b1sZR _ su$]s <j&LC
/]o ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
rF)[ Sed:T ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
a6 epew!2 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
6+
C7vG` ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
(C60HbL ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Hi Pd|D lbnH|;`$]m 10. 总结
pHv~^L%= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
rh$q] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
5/C#*%EH' ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
`uLH3s r ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
B<6Ye9zuG :}3;z'2]l （来源：讯技光电）
