示例.0082(1.0)
jOs&E^">&B >"qnuv G 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
1`1U'ibhe :BLD &mb"Y 1. 描述
#T0uPK
; ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
3D3/\E#'o ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
69)- )en ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
-3
.Sr|t
'UG kL; 2. 系统
eR,ePyA; (UW V#AR 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Ew>E]Ys 3. 透镜系统组件编辑
Kj| l]' RY=B>398: ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
5VWyc9Q ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
3ifQKKcR{ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
;c1ar )G7 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
=b{wzx} e HyKvDJ
3_ 4. 光线追迹系统分析器-选项
|l)z^V! 0fhz7\a^_< d{?X:*F ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
sem:" ■ 可以选择选取光线的方法：
j2A
Z.s — 在x-y-网格
nH*JR — 六边形
_tJp@\rOz= — 自由选取
*c<=IcA ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
9ohaU cE3g7(a 5. 系统的3维视图
CAX) AN 4[=vt Y.9s-g
6. 其他系统参数
+AGI)uQQ ■ 系统由单色平面波
照明 !g=2U` j^ ■ 照明波长266.08nm
V/C":!; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
=+{SZh@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
F@</Ev — 一个虚拟屏位于焦平面
! zc?o?~z —
光束尺寸探测器置于焦平面
u >R2:i ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
1D3{\v ]3B8D< p 7. 光线追迹系统分析器的结果
)$[.XKoT y8j wfO3 光线经过整个光学系统的三维视图
T0=8 U;
= 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
~4e4G yx c 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Yy l(<,Yi MM_c{gFF 'Em5AA`> ■ VirtualLab可用于计算点列图。
%Z T@& ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
s];jroW@u ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
=K f]ZKj) ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
^! ?w h ]iP
+Y 9. 焦平面上的结果
o H o@rGU N@Fof(T& OsQB`
D ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
qX,T X
3 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
5,H,OZ} ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
6|h~pH ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
z=YHR S ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
$^[^ ]Q m-%.LDqM 10. 总结
x6- bAf ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
%d3KE|&u ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
s /' ]* n ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
>M~w Fs$~ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
&w4~0J>v! UBj" m< （来源：讯技光电）
