示例.0082(1.0)
pwtB{6)VH{ rU= qr&f"B 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
NGc d _dky+ E 1. 描述
-~ \R.<+ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
wmAZ { ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
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O.! ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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Y D1rXTI$$ 2. 系统
?{[ IS k) {VtmQU? cJ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<ZcJC+k 3. 透镜系统组件编辑
8yij=T* -c|dTZ8D)8 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
X |zQZ<CO ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
W/DSj : ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
: >4pH ■ 包括序列光学表面和光学介质。
+ z}O*,M"q s.7\?(Lg 4. 光线追迹系统分析器-选项
@SeInew;`l "Zm**h. t ;,2i1m0" ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
ntR@[)K ■ 可以选择选取光线的方法：
H3 \4&q — 在x-y-网格
sdN@ZP — 六边形
HY-7{irR~ — 自由选取
8T< LNC ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
WzG]9$v & j3>0oe! 5. 系统的3维视图
e.-+zkQ8EI eaj ctkzj 
&CBW>*B 6. 其他系统参数
]nPfIBoS ■ 系统由单色平面波
照明 &U*MLf83` ■ 照明波长266.08nm
#J=^CE ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
ASGV3 r ( — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
^u2unZ9BK! — 一个虚拟屏位于焦平面
dpAj9CX( —
光束尺寸探测器置于焦平面
X 4L"M%i ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
%G6Q+LMwm s/Ne,v 7. 光线追迹系统分析器的结果
V /i~IG`h/ oKyl2jg+, 光线经过整个光学系统的三维视图
5SV w71 * 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
HGycF|]2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
, e^&,5b oF'_x,0 xXb7/.*qE ■ VirtualLab可用于计算点列图。
WO;2=[#O; ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
*<HA])D, ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
JG ^fu*K ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
h k*@<ff iA.:{^_)09 9. 焦平面上的结果
OVq(ulwi+ pW4O[ v` vciO={M ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(:Y0 ^ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
n[[2<s*YJ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
UP<B>Y1a ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
( JMk0H3u ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
r4MPs-}oF DP@F- Q4 10. 总结
ZNfQM&<d ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
kB#;s ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
i tYTV?bd ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
cQzUR^oq, ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
G^1 5V'* DXF>#2E^+ （来源：讯技光电）
