示例.0082(1.0)
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c ;_*F [
}w 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Ccmbdw,Z 5 p { 3|W< 1. 描述
H\vO0 <X ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
XwMC/]lK< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
eyV904< F ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
^;bkU|(`6 24fWj?A| ^ 2. 系统
+a;j>hh , ; y^| X 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
U>XGJQ<NS 3. 透镜系统组件编辑
H DOa N !5-[k G& ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
I'wAgf6W ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
\Qn8"I83AV ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
tB.9Ov* ■ 包括序列光学表面和光学介质。
duCm+4,. %iv'/B8 4. 光线追迹系统分析器-选项
wDk[)9#A RZjR d q[lqEc ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
K(^x)w r-: ■ 可以选择选取光线的方法：
@@ QU"8q — 在x-y-网格
/^"TMm — 六边形
bMYRQ,K`C — 自由选取
{JJ`|*H$_ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
CgWj9 [ $n W>]S\| 5. 系统的3维视图
4=Z lsp g@L4G?hLn 57r)&8
6. 其他系统参数
]jYM;e ■ 系统由单色平面波
照明 %o o& M; ■ 照明波长266.08nm
=Ao;[j) *! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
P?F:x=@'| — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
RfD $ @q9 — 一个虚拟屏位于焦平面
s0u$DM 2 —
光束尺寸探测器置于焦平面
}`(k X] ][ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
7blZAA?- ~oI49Q&{ 7. 光线追迹系统分析器的结果
@tA.^k0` Z I1RB fR 光线经过整个光学系统的三维视图
zV]0S o 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
,\M'jV"S K 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
T-\,r q% "nk <}=D ?bXw ■ VirtualLab可用于计算点列图。
*VU Xw@ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
DCm;dh ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
(bw;z NW ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
4}CRM# W2 e0TnA
N 9. 焦平面上的结果
=cQw R:): ra3WLK B.|vmq,u ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
aj\'qRrU$ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
#% 5>}$ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
d7&PbITN ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
i0P+,U ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
|lv 4X }H C9z{ 8 ; 10. 总结
V6L_aee}CK ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
P+/L, u ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
5FMKJ7sC9 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
PIA&s6U ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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Rfl v+ （来源：讯技光电）
