示例.0082(1.0)
{?`al5Sz ) IJQeC 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
=V^.}WtO r0m*5rd1 1. 描述
z'`y,8Y 1l ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
4WB-Ec ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
[g2;N,V# ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
+\r+n~w ''|#cEc) 2. 系统
VAXT{s&4> ?@n/v
F 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
lq"f[-8a2q 3. 透镜系统组件编辑
nF5qw>t# 3 LdQ]S ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
x1z tfJd ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
HfLLlH<L`& ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
*x) 8fAr ■ 包括序列光学表面和光学介质。
u~)`&1{% sp* Vqd 4. 光线追迹系统分析器-选项
xB !6_VlB %N#%|2B V:G>G'Eh0 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
v|E"[P2e ■ 可以选择选取光线的方法：
YA&g$! — 在x-y-网格
aC< KN:TN6 — 六边形
*~/OOH$" — 自由选取
LjU'z # ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
y?SyInt .Udj@{ 5. 系统的3维视图
(mlzg=szW `f'K@ /W<>G7%.
6. 其他系统参数
0D8K=h&e ■ 系统由单色平面波
照明 Y-0?a?q2Fr ■ 照明波长266.08nm
"U \JV)N ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
,<:!NF9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
K6olYG> — 一个虚拟屏位于焦平面
0KD ]j8^ —
光束尺寸探测器置于焦平面
) yo
a ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
SIKOFs .]
`f,^v<c 7. 光线追迹系统分析器的结果
rS1fK1dy s *:O.97q@h 光线经过整个光学系统的三维视图
J6<rX[
yZe 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
t^ZV|s 1 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
s{w[b\rA `EtS!zD~b @z gdq ■ VirtualLab可用于计算点列图。
V
i&*&" q ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
iZZ (4 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
KzQ3.)/q ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
*|_"W+JC 9h0X &1u 9. 焦平面上的结果
.SWt3|Pi5 l$hJ E;n _GKB6e% ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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&7*!Q ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
,TRT Rb; ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
5E0eyW ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
z]3 `*/B ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Er k?}E #oJ5k8Wy 10. 总结
Od?qz1 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
oDcKtB+2 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
W>b(O m_% ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
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[%U ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
+
S4f GT x3rlJs`$; （来源：讯技光电）
