示例.0082(1.0)
-Wm'@4bH 7,7-E&d 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
*VV#o/Q p ?(R !BB 1. 描述
= V>in H ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
] =*G[ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
(\M#Ay t) ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
64LAZE QX {baG2Fe1`b 2. 系统
v9"|VhZ Hn sPXF'8g 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
cyTBp58
3. 透镜系统组件编辑
.Q5zmaA] o* sss ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
u ?7^+z ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
=)YDjd_=z ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Ny` =]BA ■ 包括序列光学表面和光学介质。
>1 %|T 6;Sz^W 4. 光线追迹系统分析器-选项
AkAQ% )6qV TD.t) D5"Xjo* ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8T5W6Zs1 ■ 可以选择选取光线的方法：
z2~\
b3G — 在x-y-网格
9}A\Bh tiM — 六边形
K,5_{pj — 自由选取
8D G P A ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
(i;,D- X 4CiVV 5. 系统的3维视图
\OE,(9T2P. 3<O=,F L};P*{q2Z
6. 其他系统参数
aJLc&o 8Yg ■ 系统由单色平面波
照明 %;,4q B
■ 照明波长266.08nm
"@YtxYTW- ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
zK>}x= — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
>XPR)&t — 一个虚拟屏位于焦平面
$[0\ Th —
光束尺寸探测器置于焦平面
Jp"[` m ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
6 Z< |L ^ oer3DD( 7. 光线追迹系统分析器的结果
3FG'A[x3O C;0VR 光线经过整个光学系统的三维视图
!CUM* <iV 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
sL], @z8<k 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
nhy:5eSK -,q
qQf VQ;'SY:` ■ VirtualLab可用于计算点列图。
WI1DL&*B@< ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
wGgeK,*_ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
WDJ rN ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
q{l %k ^G14Z5 . 9. 焦平面上的结果
:Z.P0= MDCwgNPiQW K"cV7U rE ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
nT9Hw~f<j ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
89UR w9 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
; sAe#b ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Ze?n Q- ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Ac'pu,v > {[ 10. 总结
v >cPr( ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
!NMiWG4R ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
K0|:+s@ u ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
@$1jp4c
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
^t?vv;@} mhI （来源：讯技光电）
