示例.0082(1.0)
3~e8bcb g*w<* 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Mg#j3W}] yqSs,vz 1. 描述
GE|+fYVM-$ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
qS&%! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
B3Jgd,[ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
PA6= wfc _Lw OOZj 2. 系统
(Qgd e6 T5Dw0Y6u, 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
iCP/P% 3. 透镜系统组件编辑
=h(W4scgqX 4 @.|_zY ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
: S$l"wrh\ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Yxv9 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
K nhp*V? ■ 包括序列光学表面和光学介质。
iR$<$P5 VL[)[~^ 4. 光线追迹系统分析器-选项
Y^%T}yTtq y/V%&.$o= g+-;J+X8 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
7 FN<iI&7\ ■ 可以选择选取光线的方法：
,Ma.V\T[ — 在x-y-网格
1Y_w5dU — 六边形
X0{/ydG F8 — 自由选取
WWT",gio ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
c` x7u}C Ax o D8| 5. 系统的3维视图
H"2uxhdLK3 %LXM+<N8 HE<1v@jW
6. 其他系统参数
S' dV>m` ■ 系统由单色平面波
照明 {b]aC ■ 照明波长266.08nm
PL{Q!QJK' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
sBv>E}*R — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
[<`SfE — 一个虚拟屏位于焦平面
'gQi df —
光束尺寸探测器置于焦平面
39 {{7(hh ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
M.h`&8 @?C#r.vgp 7. 光线追迹系统分析器的结果
s08u @ gBu1QviU 光线经过整个光学系统的三维视图
c62 =* ] , 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
4E44Hzs 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
dk8wIa"K` D+lzFn$3 !?
^h;)a ■ VirtualLab可用于计算点列图。
i?Ss: v^ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
4YZS"K'E ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
0=w K:Ex ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
RkF D*E$ P7 B:%HiAx 9. 焦平面上的结果
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4 LI5T 8\ <jyJ GFSt<k)
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
9iN.3/T8 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
%tA57Pn> ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
uGdp@]z&8Q ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
F#xa`*AP ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
ry};m_BY -ZW0k@5g 10. 总结
T5wjU*=IL ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
D j\e@?Y ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
W{XkV Ke1a ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Z,N$A7SBE ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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; Qlu O!D/|.Q#% （来源：讯技光电）
