示例.0082(1.0)
nK" XyZ& ^\z.E?v% 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
JToc("V 8Q%rBl . 1. 描述
IU8/B+hM~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
i8\&J. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
*hP9d;- Ar ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
'<A:`V9M}v fg mIx 2. 系统
pt rQ~m- 19u'{/Y" 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{q[l4_ 3. 透镜系统组件编辑
B~ o;,} =-r[ s%t & ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
'n9<z)/,! ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
V?a+u7*U& ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
@C]Q;>^| ■ 包括序列光学表面和光学介质。
~qG`~/7 L@"1d.k_ 4. 光线追迹系统分析器-选项
Yy$GfjJtL] {g:I5
A# bF#* cH ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
iG \ ] ■ 可以选择选取光线的方法：
"QWF&-kAI — 在x-y-网格
dc .o K4G} — 六边形
SxHj3,`#C — 自由选取
GvL)SVv? ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
1 h.=c dU7+rc2,CU 5. 系统的3维视图
oA^aT:o + ?Mb 'l4 
u*I=. 6. 其他系统参数
:
"| M ■ 系统由单色平面波
照明 rNgFsFQ>. ■ 照明波长266.08nm
D5wy7`c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
e;y\v/A — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
VOk EDH — 一个虚拟屏位于焦平面
jm_b3!J —
光束尺寸探测器置于焦平面
1k e H 1[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Oie0cz:>: ,X[l C\1a 7. 光线追迹系统分析器的结果
QJL%J nhfHY-l} 7 光线经过整个光学系统的三维视图
:N \j@yJK 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
6;02_C]\o 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
l ( EDe "k)}qI{ ?R7>xrp5 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
}r}$8M+ 1 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
{bxTODt@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
)575JY `6K ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
e/pZLj]M He#5d!cf:M 9. 焦平面上的结果
_vQtV] `D0>L ' j-e gsKR ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
xWw Qm'I2} ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
(]JZ1s| ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
BO#XQ, ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
.?L&k|wX- ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
1:7 uS . 3ErW3Ac Ou 10. 总结
h]wahExYP ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
:ET05MFs\# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
V Ae@P ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
3?x4+ b ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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Q/DJ ~ （来源：讯技光电）
