示例.0082(1.0)
HA3d 9` ^) 5*?8# 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
#>O+!IH nO q`Cwh9 1. 描述
KWH:tFL. ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
n*A"}i`ix ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
2 t:CK ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
AQgm]ex< %VwkYAgA 2. 系统
^%}PRl9 aa/_:V@$~ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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W 3. 透镜系统组件编辑
vec4R )S .t$1B 5 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Z^% aXaf8 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
k ;!}nQ& ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
?Y_!Fr3V ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Sj@VOW R)'[Tt`# R 4. 光线追迹系统分析器-选项
WU{9lL= eRB
K= X K# BZ Jcb ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
jDCf]NvOPM ■ 可以选择选取光线的方法：
zC>zkFT>H — 在x-y-网格
E\*M4n\! — 六边形
A9ZK :i 7 — 自由选取
/ e]R0NI ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
i} ?\K>BWq 1 |oE3 5. 系统的3维视图
->5[C0: ] D@`"99z t^8|t(Lq
6. 其他系统参数
~otV'= /my ■ 系统由单色平面波
照明 RwDXOdgu ■ 照明波长266.08nm
cb% ML1c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
o3a%u( — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
M`QK{$1p — 一个虚拟屏位于焦平面
jYnP)xX; —
光束尺寸探测器置于焦平面
7nk3^$| ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
x(y=.4Y f+ ( ?kCo 7. 光线追迹系统分析器的结果
5~=wia #s|,o Im 光线经过整个光学系统的三维视图
N 3@gvS 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
!s47A"O&B 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
ad`=A V ] YbP}d&L Pv Vn}i ■ VirtualLab可用于计算点列图。
%DuSco" ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
qHC/)M#L ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
t[X,m]SX ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
r,cK#!<% ]vq=~x 9. 焦平面上的结果
BaOPtBYA: hXQo>t-$ [<IJ {yfx ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
s^ K:c z ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
89a`WV@} ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
< M M(Z ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
1L<X+,]@ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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4B'-tV 10. 总结
}Fb966 $ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
0m'tPFQ| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
7` IO mTk ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
3Qu Ft~@@ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
LGPg\g` ~0Xx] （来源：讯技光电）
