示例.0082(1.0)
%<K`d = eYrz@, 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
MLaH("aen M,:GMO:?a 1. 描述
O7:JG[tR* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
~^ G k7 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
7LKNEll ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Q;SMwCB0M |odl~juU 2. 系统
]M>mwnt+ k _$w +Q 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
vxK} f*d 3. 透镜系统组件编辑
YG<?|AS/ Q+gQ"l,95 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
'Aai.PE: ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
|no '^ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
W~Fc U+a ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Bxak[>/ T+RfMEdr 4. 光线追迹系统分析器-选项
'ym/@h7h r6QNs1f~. ho;Km ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
|h@'~ c ■ 可以选择选取光线的方法：
o|(-0mWBQA — 在x-y-网格
ma vc$!y — 六边形
,J~kwJ$L — 自由选取
O$LvHv! ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
UV A |(: Who d_Uk 5. 系统的3维视图
/c8F]fkZ= :J5xO%WA( O8r9& Nv
6. 其他系统参数
Zm^4p{I%o* ■ 系统由单色平面波
照明 c{7!:hi`x ■ 照明波长266.08nm
2/x+7F}w5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
s=#3f 3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
>y
&9!G — 一个虚拟屏位于焦平面
m n)kd —
光束尺寸探测器置于焦平面
C1Slx !} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
vn9_tL& }L3k pw 7. 光线追迹系统分析器的结果
|#Z:v1]" 7lqj" o( 光线经过整个光学系统的三维视图
z;x $tO 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
1zl6Rw k^o 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
KAT4C 4=, JF IUD{>fp A bC / ■ VirtualLab可用于计算点列图。
^?VYE26 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
{Ug?k<h7| ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Kzfa4C ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
!
jm> Uo#% f+t 9. 焦平面上的结果
BC =U6>`/ ri<E[8\ 4N|^Joi ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
%+y nrg- ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
s+8
v7ZJ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
prV:Kq ;O ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
D BI[OG9 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
" qY Pi VPx"l5\ 10. 总结
_=Ed>2M)no ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
: " 9F.U ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
: n 4? ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
&9g4/c-?$ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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&HUQ?^ （来源：讯技光电）
