示例.0082(1.0)
GF
WA>5n' d\Zng!Z ' 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
&/b~k3{M_ ZN6Z~SL_i~ 1. 描述
>j`qh:^ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
XlJZhc ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
{e 5= &A ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
4fzZ;2sl} G\?YK.Y> 2. 系统
Fx+*S3==%e .~}1+ \~5 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"\=U)C J 3. 透镜系统组件编辑
d7i]FV 2"5v[,$1H ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
ty`DJO=Omj ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
tl].r| yl ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
g*"P:n71 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
'\GbmD ^F J$!iq| 4. 光线追迹系统分析器-选项
D0q ":WvE 4a Y|TN/| >*n0n! vF ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
@o6L6Y0Naa ■ 可以选择选取光线的方法：
EZj9wd"u — 在x-y-网格
9C \Fq- — 六边形
:lzrgsW — 自由选取
0L KRN|@ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
%#}Z y
_l]fkk[T 5. 系统的3维视图
qv* ^fiT mQ=#nk$~g 
[mHdG2X 6. 其他系统参数
n}V_,:Z ■ 系统由单色平面波
照明 'ah[(F<*@e ■ 照明波长266.08nm
eIo7F m ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
^KELKv, _ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Ow077v ? — 一个虚拟屏位于焦平面
p D74+/DD —
光束尺寸探测器置于焦平面
]cN 1c} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
N"1B/u B+0hzkPY 7. 光线追迹系统分析器的结果
3Hm/(C 6 _ow%Rx~F 光线经过整个光学系统的三维视图
I9Fr5p-%O 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
2>H24F 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
)tpL#J A = {UL O<e{ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
S[T8T |_ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
TW>WHCAm ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
yH}s<@y;7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
I b0ZjX6 ilva,WFa^ 9. 焦平面上的结果
`V3Fx {
k: ;WtBC6j e vJ.<{M ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Zsh9>]M L ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
I)W`sBL ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
TNr : pE< ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Uv~QUL3> ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
$D UZ!zaH! + +# 5 10. 总结
Cs i fKHI ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
A_#DJJMm ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
F.v{-8GV ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
P A OJ\U ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
50C UEVG0qF （来源：讯技光电）
