示例.0082(1.0)
0 Z8 /R Y;g% e3nu 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
N%*9&FjrL H `5Ct 1. 描述
;j!UY. i ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
ofK='G . ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
.l=p[BI ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
C=yD3mVz J'Gm7h{
2. 系统
Y$ +QNi eo ?Oir) 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
^9=4 iXd 3. 透镜系统组件编辑
%l;*I?0H 1lsLG+Rpxi ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
3C#RjA-2[ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
r@Nl 2 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
& +] x;K ■ 包括序列光学表面和光学介质。
3(o7co-f 1OP" 5f 4. 光线追迹系统分析器-选项
- f 4>MG 1 w 17L]4 .jaZ|nN8` ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
m/{Y]D{2 ■ 可以选择选取光线的方法：
SBz/VQ — 在x-y-网格
&rP~`4Mkp — 六边形
p {?}g' — 自由选取
zh jJ>d%w ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
9cz )f\ 0Nt%YP 5. 系统的3维视图
ee^4KKsh\ _jo$)x+'x 
*W%'Di 6. 其他系统参数
b*`fLrqV. ■ 系统由单色平面波
照明 #w;;D7{@m ■ 照明波长266.08nm
*0\k
Z,#BJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
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eO& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
s&0*'^'O[S — 一个虚拟屏位于焦平面
PF`:1;P U —
光束尺寸探测器置于焦平面
[NjajA~z>F ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
"h$D7 mL y}Cj #I+a 7. 光线追迹系统分析器的结果
<\p&jk? 5c) w Z 光线经过整个光学系统的三维视图
8 TI#7 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
pj+tjF6Np 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
]a=l^Pc(xN v|>BDN@,6 OoSa95#x ■ VirtualLab可用于计算点列图。
L PMb0F}"5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
`!_? uT ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
1&} G+y ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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9. 焦平面上的结果
NXi ,5 ypxC1E ^,>}%1\ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
HaS[.&\S0 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
7;~ 2e ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
uz8nRS s ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
[&fWF~D-p< ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
rtoSCj: :3:)E 10. 总结
W%w82@' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
N#mK7|\c?: ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
WI%zr2T ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
oA[2)BU ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
N%: D8\ qx < x ^IwS （来源：讯技光电）
