示例.0082(1.0)
CDT3&N1'R Mb'Tx 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
TSUT3'&~p Z?) =4| 1. 描述
:NXM.@jJ=" ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
f~{4hVA ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
R_B`dP<"~Y ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
T*qSk! -P-&]F5 2. 系统
c. 06S w* \pVWYx 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
,L$, d 3. 透镜系统组件编辑
CQ:38l\`gd b>f{o_ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
V2IurDE ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
O^sOv!!RH/ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
ObSRd$M ■ 包括序列光学表面和光学介质。
3oMhsQz~z $kd9^lj#[ 4. 光线追迹系统分析器-选项
|yVveJ { !NX u @<C<rB8R ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
#?fKi$fS;L ■ 可以选择选取光线的方法：
WbGN
5?9Q — 在x-y-网格
&z?:s — 六边形
-p[!C I — 自由选取
;CLOZ{ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
# GOL%2X evGUl~</~ 5. 系统的3维视图
,O`~ D~$ v 6KRE3:V agj_l}=gO
6. 其他系统参数
#T$yQ;eQ ■ 系统由单色平面波
照明 v&Oc,W ■ 照明波长266.08nm
< m/@_" ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
ZHimS7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
z65Q"A — 一个虚拟屏位于焦平面
Ih^ziDcW —
光束尺寸探测器置于焦平面
; P9cjfSn ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
BMYvxSsm H,0Io 7. 光线追迹系统分析器的结果
GDY =^r MP$9W) 光线经过整个光学系统的三维视图
uO5y{O2W 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
u_jhmKr~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
9}jezLI/3 $HP<C>^Z8 # b94S?dq ■ VirtualLab可用于计算点列图。
J4#rOS ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
fzjA P7 y ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
_ls i,kg? ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Sd+bnq% XB ; C~: 9. 焦平面上的结果
5aJd:36I _:~I(c6 E~`l/ W ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
[( *? ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
PgdHH:v) ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
1fqJtP6 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
)6*)u/x: ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
1h#e-Oyff U o[\1) 10. 总结
wf2v9.;X:< ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
>,a$) z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
'g:.&4x_w ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
'f-8P ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
8 t`lRWJ \k.W
F|~ （来源：讯技光电）
