示例.0082(1.0)
NeNKOW#X 3?fya8W< 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
.&* Tj}p 1-q\C<Q) 1. 描述
gs9f2t ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
J :, ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
[J:vSt ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
1P6~IZV N \f._I+gJ 2. 系统
RPLr7Lb FmnA+f A 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
4,)=r3;&! 3. 透镜系统组件编辑
N\H(AzMw O" T 1=4 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
I</Nmgf ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
w $2-t ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
ib&
|271gG ■ 包括序列光学表面和光学介质。
&\1Dy}: A~h8 >zz* 4. 光线追迹系统分析器-选项
HLk/C[`u, ~-.q<8
{x-g?HB ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
_)^(-}(_D ■ 可以选择选取光线的方法：
4
9#I — 在x-y-网格
.p0;y3so4 — 六边形
/>]/ At — 自由选取
mD|<qsY) ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
lJq
%me;4m js2?t~E] 5. 系统的3维视图
W/J3sAYv $|A vT;4 
Ih"f98l V 6. 其他系统参数
>o (*jZ ■ 系统由单色平面波
照明 vR:t4EJ ` ■ 照明波长266.08nm
;m;wSp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
t6LTGWs/_o — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
FUMAvVQ — 一个虚拟屏位于焦平面
>2N` l —
光束尺寸探测器置于焦平面
{%~Sbcq4F ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
*mBn''a"* mz/KGZ5t 7. 光线追迹系统分析器的结果
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6.GP 光线经过整个光学系统的三维视图
h j9 b Mj 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
"%0R R? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
b/<4\f 8f#YUK
sW= S0kH/ A ■ VirtualLab可用于计算点列图。
g,x$z~zU{ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
1eK J46W ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
y:pypuwt; ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
M}us^t* #Etz}:%W 9. 焦平面上的结果
drF"kTD"7 6eQrupa QULrE+ @ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
/&vUi7' ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
mo <g'|0 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
!'n+0 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
MQp1j:CK ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
}p ."7( #16)7 10. 总结
{ "s9A& ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
u;y1leG ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
TS@EE&W q ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
D*_ F@}= ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
5tQffo8t -cJ(iz9! （来源：讯技光电）
