示例.0082(1.0)
r-,e;o>9 $%VuSrZ& 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
fib}b? vk AyMd:5; 1. 描述
QRLt9L ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
_G1gtu] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
ja=F 7Usb ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Zw
wqSyuGf | d6T/Uxo 2. 系统
&~CY]PN. qC'{ ;ko 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ah~Y eJp 3. 透镜系统组件编辑
ax
41N25 %e& 9. ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
v9T_& ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
'U'yC2BI n ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
}^B6yWUN ■ 包括序列光学表面和光学介质。
LkQX?2>] B:7mpSnEQ 4. 光线追迹系统分析器-选项
}B~If}7 {\[5}nV ZoArQ(YFy ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
A=Ss6 -Je ■ 可以选择选取光线的方法：
)&
u5IA( — 在x-y-网格
vzmc}y G — 六边形
5E notp[ — 自由选取
9(":,M(/o ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
}<'5 z
qS [V:\\$ 5. 系统的3维视图
LY-2sa#B$- }%D^8>S 
"--t e 6. 其他系统参数
/> 4"~q) ■ 系统由单色平面波
照明 c&L"N!4 z ■ 照明波长266.08nm
3MRc 4UlB ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
0T46sm r — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
kY'T{Sm1^ — 一个虚拟屏位于焦平面
I[n ^{8gz —
光束尺寸探测器置于焦平面
.H,xle ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
;t+ub8 Afk$?wk L 7. 光线追迹系统分析器的结果
m>SEr xU(z |.wEm;Bz 光线经过整个光学系统的三维视图
6S~sVUL9` 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
]n -:Yv5 W 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
@}kv-* V <bd;m a5w:u5 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
)Y)pmjZaG ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
tr7<] Hm: ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
zhf.NCSt( ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
@/ k@WhFZ 1T[et- 9. 焦平面上的结果
QD%L0;j XQS9,Hl /B}lO0]: ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
*E{2J:` ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
ciMzf$+G$ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
E4hLtc^
+ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
{GJ@psG* ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
l<N}!lG| nMJ#<'v^!2 10. 总结
DY^ ;EZ!hb ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
w}=5ElB ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
\<g*8?yFs ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
a1@Y3M Q;i ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
x*/S*!vx\ xt*u4% （来源：讯技光电）
