示例.0082(1.0)
H{fM %* w >a>fb|r 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
3071:W #a9_~\s 1. 描述
'Ud| Ex@A9 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
K5"sj|d& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
30F!kP*E ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
kv?| 'DN \2X$C#8E 2. 系统
H\G{3.T.9 83iCL; GS= 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
*l>0t]5YH 3. 透镜系统组件编辑
Z(Q2Ue;}& JW+ *d`8Z[ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
_ PWj(}); ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
]~c+'E` ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
XZph%j0o ■ 包括序列光学表面和光学介质。
3y`F<&sA Un@\kAY 4. 光线追迹系统分析器-选项
i|$z'HK;+ TI9 X.E? pGWA\}' ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
R p.W,)i ■ 可以选择选取光线的方法：
f_6`tq m % — 在x-y-网格
]]uHM}l — 六边形
[ygF0-3ND — 自由选取
w2"]Pl ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
1'KishHK= :Jxh2 5. 系统的3维视图
Z=$ T1| 2qj{n+ 45+ {nN[
6. 其他系统参数
;e s^R?z ■ 系统由单色平面波
照明 -l*g~7|j ■ 照明波长266.08nm
TT}] wZ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
\M+L3*W — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
1;r69 e — 一个虚拟屏位于焦平面
;# anZC; —
光束尺寸探测器置于焦平面
lF4u{B9DM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
zQ8!rCkg4 I4e+$bU3 7. 光线追迹系统分析器的结果
^PqF< d6 l?E|R Kp 光线经过整个光学系统的三维视图
8b&uU [ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Y& {|Sw7? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
4E3g ,%9u l\Ftr_Dk ]n
v( aM?d ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Fvl`2W94; ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
d/U."V} ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ST',4 Oph5 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
] |Z b\{
"^r Nr_ 9. 焦平面上的结果
H5xzD9K;/C b-<HXn_ Fd isK;mU?< ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Faac]5u:* ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
]H[8Z|i"" ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
*Xr$/N ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
E`D%PEps+ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
a39h P* ?p^2Z6J' $ 10. 总结
FjKq%.=# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
_m'ysCjA ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
,0? !ov| ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
ujzW|HW^v ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
1 /iE`Si bXdY\&fE （来源：讯技光电）
