示例.0082(1.0)
TW{.qed8^ v'`C16&^] 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
c,!Ijn\;( zy 1. 描述
s34{\/'D+ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
ht!o_0{~ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Wf-i)oc4I ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
i`FevAx;[m t}c ymX~ 2. 系统
pzg|?U (6^v`SZ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(Z,v)TOXjV 3. 透镜系统组件编辑
:+bQPzL q$(aMO&J ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
DJS0;!#
|O ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
$!G7u<`na ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
l"f.eo0@7 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
^Q pP' 1 }Tbp_ 4. 光线追迹系统分析器-选项
UP58Cln* =;l .<{<VH E2Q;1Re@ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
K#%L6=t$< ■ 可以选择选取光线的方法：
I
^?TabL — 在x-y-网格
}cn46 L%/ — 六边形
eY-W5TgU — 自由选取
(Dlh;Ic
r9 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
WJ<nc+/v: blpX _N 5. 系统的3维视图
FDbb/6ku IGV @tI hxP%m4xF +
6. 其他系统参数
3%bCv_6B ■ 系统由单色平面波
照明 0BMKwZg ■ 照明波长266.08nm
Pv17wU B ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
-y5^xR — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
F=7X ,hK — 一个虚拟屏位于焦平面
A5S9F8Q/] —
光束尺寸探测器置于焦平面
O:I U|INq8 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
<1YINkRz ]>tYU 7. 光线追迹系统分析器的结果
uUB,OmLN 3k.{gAZKh 光线经过整个光学系统的三维视图
4/;hA
z 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:.e`w#$7 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
x_pS(O(C !8 lG"l|,l #k&"R v;, ■ VirtualLab可用于计算点列图。
{F6>XuS=u ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
n+Q UT ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
##+|zka!U ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
X; I:i%- b#`XmB 9. 焦平面上的结果
]VtVw^ ir 0{^@kxV DDxbIk t ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#?\$*@O ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
-^LUa]"E ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
/j/,@,lw7z ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Veo*-sl ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
B >Tfyo #5)0~4%l 10. 总结
7r;7'X5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
7#d>a=$h ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
TUHm.!+a ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
rH*1bDL ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
BmR++ ?L &|yQwNA*a" （来源：讯技光电）
