示例.0082(1.0)
EYRg,U&' adWH';Q: 关键词:
光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
-)Hc^'. :X}fXgeL 1. 描述
9T_fq56Oh6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
hplx s# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
va2FgW`Bd+ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
~X(2F#{<{ 69S*\'L 2. 系统
Q%:Z&lgy INEE
37% 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
wv 3. 透镜系统组件编辑
~7wLnB .#}A/V.-Y ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。
'<U4D ■ 透镜系统是由序列
光学表面(OIS)定义的。
?=,7'@e ■ 每一个可选项都有独立的
参数,并可以设定。
"0Z5cQjg ■ 包括序列光学表面和光学介质。
uhU'm@JZ 73l,PJ 4. 光线追迹系统分析器-选项
AO,^v+$ d*dPi^JjC c-* *~tb( ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
`$MO;Fv,G ■ 可以选择选取光线的方法:
K+|0~/0 — 在x-y-网格
SmUiH9qNd, — 六边形
6a704l%#hb — 自由选取
b%].D(qBy ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
N%S|Ey@f {^?:- #~h 5. 系统的3维视图
>FS}{O2c K{9
KMx
'( 6. 其他系统参数
hh[x(O)TC~ ■ 系统由单色平面波
照明 ?CldcxM# ■ 照明波长266.08nm
RG 9iTA' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
%@8#+#@J0 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
y!T8( — 一个虚拟屏位于焦平面
JkQ\r$Y. —
光束尺寸探测器置于焦平面
G!Yt.M0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
%I;uqf }l&y8,[: 7. 光线追迹系统分析器的结果
<Y"HCa{ `7oYXk 光线经过整个光学系统的三维视图
Mp(;PbVD 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
p^w_-(p 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
jW{bP_," tYG6Gl hW` o-' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
]MC5 uKn ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
$&Z<4:Flc ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
nUK;M[ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
nd[Ja_h (w vU;u 9. 焦平面上的结果
!$#5E1:\ U;M! jj 2cwJ);Eg2 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Ya-GDB;L ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
nW`] = ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
30<_` ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
wYDdy gS ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
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'|i 10. 总结
{;Oj ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
\Y`psSf+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
cM\BEhh ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
AmQsay#I_ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
{R/e1-; 221}xhn5 (来源:讯技光电)