示例.0082(1.0)
8}Qmhm`_j= 1R e5)Y:i 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
(B0tgg^jj, t:SM E'~.P 1. 描述
FA+'E ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
*[QFIDn: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
?xb4y=P7 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
\?|FB~.R y tlz+ !> 2. 系统
t3w:!' Ato ~0^d-,ZD5 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
o\ M 3. 透镜系统组件编辑
/uyZ[=5 `u *:wJsv ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
@u.%z# h"1 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
p 1O[ QQ| ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
<6djdr1:b ■ 包括序列光学表面和光学介质。
k4AF
.U`I y\xa<!:g 4. 光线追迹系统分析器-选项
Kb/w+J
S .[qm>j, zj+.MG04 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
15 /l X ■ 可以选择选取光线的方法：
Hl 3%+f — 在x-y-网格
Zdm7As] — 六边形
"P@jr{zvMd — 自由选取
74c[m}'S ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
S
6|# 9C& IGtpL[. ;/ 5. 系统的3维视图
_@gd9Fi7J qoo +=eh! 3T|x UY)G4
6. 其他系统参数
Ow@ }6&1 ■ 系统由单色平面波
照明 Z#1 'ST g ■ 照明波长266.08nm
!qQ B}sAf ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
[|&V$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
WcG}9)9 — 一个虚拟屏位于焦平面
SdJGhU —
光束尺寸探测器置于焦平面
==?!z<I.d ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
bRhc8#kw) >p[skN 7. 光线追迹系统分析器的结果
3om_Z /k +IM: jrT( 光线经过整个光学系统的三维视图
[`]h23vRW 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
sb3k ? q 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
{wNN p't7 "3r7/>xy xX5EhVR ■ VirtualLab可用于计算点列图。
#AN ]mH ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Z +vT76g3 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
*wd@YMOP ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
n$03 ##pf BS@x&DB 9. 焦平面上的结果
T0Kjnzs 6
#vc"5@M m,"N 4a@ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
V(5=-8k ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
b;K]; o-/f ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
x&N!S U6 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
!=f$
[1 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
X S& oW w 9W0j 10. 总结
UgBD| ~zu ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
0YApaL+jt ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
] C&AU[U* ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
'ZUB:R@[ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
9eh9@~mU"l p3L0'rY|+ （来源：讯技光电）
