示例.0082(1.0)
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}$i? 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
?.BC#S)q1 #QMz<P/Gl6 1. 描述
\bw2u! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
s?nR 4 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
-n V9:opD ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
?$4 PVI} YUk\Q% 2. 系统
ZPYS$Ydy vx5Zl& 6r 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[d ]9Oa4 3. 透镜系统组件编辑
/mzlH Z4ImV~m ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
{I't]Qj_e ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
e$ rZ 5X ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Mb*?5 R6; ■ 包括序列光学表面和光学介质。
'TB2:W3 }@d @3 4. 光线追迹系统分析器-选项
M9%$lCl
`VguQl_,gA '6%2.[ o ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
?4T-@~~*`= ■ 可以选择选取光线的方法：
' S/gmn — 在x-y-网格
ey$&;1x#5 — 六边形
\qJXF|z<K — 自由选取
]:J$w]\ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
"f OV^B .(k|wX[Fu~ 5. 系统的3维视图
eTcd"Kd/ [(7S .5I FGq [ \B
6. 其他系统参数
.HABNPNg( ■ 系统由单色平面波
照明 7s^'d,P ■ 照明波长266.08nm
U| R_OLWAg ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
KF:78C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
~*];pV]A[ — 一个虚拟屏位于焦平面
BnF^u5kv % —
光束尺寸探测器置于焦平面
& wDs6xq ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
X %x*f3[ g *+>H1} 7. 光线追迹系统分析器的结果
sc#qwQ# 5*u+q2\F 光线经过整个光学系统的三维视图
\1M4Dl5! 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
QQc -Ya!v 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
W ]8 QM1$ ('+d.F[109 44j*KsBf ■ VirtualLab可用于计算点列图。
&s>Jb?_5Mx ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
M x" \5i ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
;L ^o*` ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
k)TpnH! " Q\sK"~@3 9. 焦平面上的结果
cQ}{[YO b4Ekqas !&@615Vtw ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
":N9(}9 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
nQ3A~ () ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
o}p n0KO, ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
C~exi[3 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
w7&A0M ZXPX,~ 5o 10. 总结
A?OQE9' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
(A.C]hD ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
6j|{`Zd)G ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
9H1r O8k ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
lq7E 4r 2y1Sne=<Kb （来源：讯技光电）
