示例.0082(1.0)
O7Jux-E 1C fj;ZGbg-O 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
l)vC=V6MG |y[I!JdR 1. 描述
60vmjm Xl ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
N.vWZ7l8 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
*{vH9TO ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Ig t*8px s`_EkFw>Gl 2. 系统
Q $ }#& aWIkp5BFj 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>jsY'Bm 3. 透镜系统组件编辑
;ND$4$ :31_WJ^ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
"t&=~eOe3 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
!i) ! |9e ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
!:!(=(4$P ■ 包括序列光学表面和光学介质。
W|m(Jh[w] =S`h/fru 4. 光线追迹系统分析器-选项
D{6 y^@/ Q- 'j131[ /"8e, ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
dGY R
'x ■ 可以选择选取光线的方法：
1H-Y3G> jN — 在x-y-网格
5[jcw` — 六边形
7K\v= — 自由选取
VKDOM0{V ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
P!W%KobZ7| z3uR1vF' 5. 系统的3维视图
^)~S mj^d x 4+WZYv3 
^x \VMd3*w 6. 其他系统参数
fA6IW(_bi ■ 系统由单色平面波
照明 %xlpOR4 ■ 照明波长266.08nm
j~k,d.17M ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
*~)6 sm — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
(Lge a — 一个虚拟屏位于焦平面
no3yzF3Hi —
光束尺寸探测器置于焦平面
yMz#e0 k ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
|@X^_L.! (N9-YP?qm 7. 光线追迹系统分析器的结果
wuH*a3( + +}!Gfc?s 光线经过整个光学系统的三维视图
6kH6" 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
09-8Xzz 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
~a ([e\~ ,%TBW,> FM VAXOO ■ VirtualLab可用于计算点列图。
U3{<+vSR` ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
KEOk%'c, ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
JD$g%hcVZa ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
]eKuR"ob0 uCDe>Q4@/ 9. 焦平面上的结果
;d6Dm)/( SUc%dp XZa <Q~N9W ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
r tuaU=U ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
]%E h" ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
=~+ WJN ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
D5lQ0_IeW ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
irAXXg cW:y^(X ii 10. 总结
>9{?&#]x ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
-{\(s=% ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
,m= G9QcN ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
N( 7 XILC ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
$X#y9<bW *]]Zpa6 （来源：讯技光电）
