示例.0082(1.0)
#{r#;+ x?x`oirh 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
FZd.L6q D7]# Xk2 1. 描述
}],Z;: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
pqvOJ#?Q}= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
&"_u}I& \ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
JO&JP 3N1 oRN-xn g 2. 系统
L?_7bX oD )f+U~4G& 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?EMK8 ; 3. 透镜系统组件编辑
2:}fe} #6 + FY+/ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
IUGz =%[ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
K\[!SXg@ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
0U66y6 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
|5I'CNi\ jO 9ip 4. 光线追迹系统分析器-选项
/Y[~-Y+!, HQ9f ,< d;tkJ2@NO ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
HhA -[p ■ 可以选择选取光线的方法：
) T907I| — 在x-y-网格
1ju#9i`.Wg — 六边形
{P8[X@Lu — 自由选取
KDi|( ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
5q{h 2).) ,~ ? 'Ef80 5. 系统的3维视图
3 <|`0pt} =9L$L|W 6
y"-I !&
6. 其他系统参数
r#WT`pav ■ 系统由单色平面波
照明 Q8p&Ki;i ■ 照明波长266.08nm
W-RqN!snJ8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
v/uO&iQw5 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
(-7ZI"Ku — 一个虚拟屏位于焦平面
]u-SL md —
光束尺寸探测器置于焦平面
F0~k1TDw ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
W]<$0 0 uVv<Q~ 7. 光线追迹系统分析器的结果
||2Q~*: rh2L Guo4m 光线经过整个光学系统的三维视图
MB);!qy 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
,F+B Wot4 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
,O=a*%0rt Y izE5 [* c- $Gpa}M ■ VirtualLab可用于计算点列图。
k1z$e*u&r ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
P`$12<\O1 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
si1*Wt<3Bc ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
?<X(]I.j |ifHSc.j< 9. 焦平面上的结果
fi PIAT} W!$zXwY }( k0?ZYeHC ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
[}nK"4T"Ri ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
hRaf# ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
{TSY|D2 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
NCeaL-y7 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
<Pqv;WI |R u'Q?T7 10. 总结
OL59e %X ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
iY[+Ywh ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
: 2V^K&2L ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
I"L;L?\S ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
~%w~ - O2 x!S;SU （来源：讯技光电）
