示例.0082(1.0)
-~" :f8 d'6|: z9c 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
VQI(Vp| { %v-( 1. 描述
x3ERCqTR ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
\'CN ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
3ss6 _xd + ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
^>y@4q B 22P$ ~ch 2. 系统
W,@
If} RE$`YCs5 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
1{Mcs%W;w5 3. 透镜系统组件编辑
)\;Z4x;]U u}bf- ;R ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
y;?ie]3G ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
{ x0 t ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
]{~NO{0@Y ■ 包括序列光学表面和光学介质。
1=7jz ] t 5Ky#GuC 4. 光线追迹系统分析器-选项
jeyLL< ~n')&u{ XMB[h ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
if;71ZE ■ 可以选择选取光线的方法：
kPBV6+d~ — 在x-y-网格
Zc
|/{$>:W — 六边形
Cd 79 tu| — 自由选取
d%I" /8-J ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
$ N']TN wfvU0]wk} 5. 系统的3维视图
I\?9+3 XnQ \k `n[{ 
1
Q-bYJG 6. 其他系统参数
C'=k&#<- ■ 系统由单色平面波
照明 &0TVi ■ 照明波长266.08nm
+bK .NcS ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
oBq 49u 1 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
3( $"q]Y — 一个虚拟屏位于焦平面
,
$Qo = —
光束尺寸探测器置于焦平面
M aBYk?TR~ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
8E&XbqP+ M}_ i5 2 7. 光线追迹系统分析器的结果
-"Y{$/B Ko&hj XHx 光线经过整个光学系统的三维视图
LIU} a5 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
m+{K^kr[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
BYW^/B Y) Dlo xrdOY& Bx"7%[ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Nfe>3uQK ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
SYeadsvF ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
xt'tL:d ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
A`}yBSb ~A<H9Bw
9. 焦平面上的结果
=Cv/Y%DN Uw-p758dD +9O5KI? P ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#>Y'sd5'A ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
0w'j+ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
G
a;.a ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
vvB(r! ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
&bgvy'p >U1R. B7f 10. 总结
=.|J!x ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
T,fI BD: ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
#U=X NU}k ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
9p 4 "r^ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
H4OhIxK d_S*#/k （来源：讯技光电）
