示例.0082(1.0)
EZ"bW ~BZXt7DE 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
U:]MgZWn 53
@oP 1. 描述
r C_d$Jv ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
M$Fth*q{GD ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
( 0i'Nb" ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
q2e]3{l3 W+gp r|R2 2. 系统
HG2GZ}~^1 iJdP>x 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Ge~q3" 3. 透镜系统组件编辑
AnNP Ti :l+_ja&o ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
]gu1 # ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
#{!O,`qD ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
eZg$AOpU ■ 包括序列光学表面和光学介质。
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0] 7Cpl 4. 光线追迹系统分析器-选项
#?9 Q{0e Kax#OYLpg &hayR_F9 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
0G5'Y;8 ■ 可以选择选取光线的方法：
y%4 Gp — 在x-y-网格
|olNA*4 — 六边形
'61i2\[lZQ — 自由选取
|rMq;Rgu? ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
S'o ]=& q7,^E`5EgU 5. 系统的3维视图
t5paY w-b c/
_yMN sAi&A9"*
6. 其他系统参数
&5u BNpH ■ 系统由单色平面波
照明 u_.H PA ■ 照明波长266.08nm
QY@u}&m%o ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
&<Mt=(qY1 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
nq' M?c#E — 一个虚拟屏位于焦平面
e*:}$u8 a —
光束尺寸探测器置于焦平面
7 _g+^e-" ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
:#{-RU@PS h* s`^W 3 7. 光线追迹系统分析器的结果
y" v X~LR Z:@6Lv?CN 光线经过整个光学系统的三维视图
3_W{T@T 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
S[mM4et| 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
h4(JUio :a.0he s mc
ZGg;3 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
%c X"#+e ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
]#zZWg
zv ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
R \5Vq$Q ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
ne4c %?>t 4T` &S l 9. 焦平面上的结果
+K ^h!d] _ h9o@ ~*}$>@f{[X ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
tPU-1by$ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
^s{hs(8%R ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Ox qguT , ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
zA s&%OjG ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
)eYDQA>J Qz+sT6js- 10. 总结
Zu21L3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
3qi_]*dD ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
h^oH^moq< ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
f f E#^| ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
c@R; /m:R y+U83a[ L* （来源：讯技光电）
