示例.0082(1.0)
nt4> 9; WW&0FugY_ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
IV\@GM:ait 5s0H4 ?S 1. 描述
?/O +5rjA ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
X|b~,X%N ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
2'++G[z ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
_ A(J^;? FQ[::*- 2. 系统
1m&(3% #{ 7XZ!UC;i 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
z E{.oi 3. 透镜系统组件编辑
]wP)!UZ ,Ti#g8 j ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
D[<8(~VP ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
1=s%.0 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
4ed(
DSN ■ 包括序列光学表面和光学介质。
<K)^MLgN 0 {w?u %'
4. 光线追迹系统分析器-选项
O,7P6 FG'1;x! y NO5h] o ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Yx,
■ 可以选择选取光线的方法：
e-Eo e_k — 在x-y-网格
@o8 \`G — 六边形
D:f0W v — 自由选取
"g0L n5& ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
iNha<iS+ |d8/ZD 5. 系统的3维视图
!Y5O3^I=u ,]>Eg6B,u G|.>p<q
6. 其他系统参数
&K}!R$[,:P ■ 系统由单色平面波
照明 s`&8tP ■ 照明波长266.08nm
#b:8-L t:M ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
fAJQ8nb{@] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
a(bgPkPP — 一个虚拟屏位于焦平面
NoV2<m$ —
光束尺寸探测器置于焦平面
@ %kCe>r ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
^;N +"oq!y *V> Iv/( 7. 光线追迹系统分析器的结果
m7fmQUk 7\5;;23N4 光线经过整个光学系统的三维视图
n
pBp YtG 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Qb6s]QZEV 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
fk 9FR^u 0IxXhu6v lQldW|S> ■ VirtualLab可用于计算点列图。
kE =}. ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
F+|zCE c ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
rj<r6 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
(@~d9PvB> dtr 8u 9. 焦平面上的结果
YcT!`B RD<l<+C^~ lQY?!oj&q ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
B$sB 1M0q ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
NFv 9%$l- ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
6;k#|-GU& ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
0 @~[SXR ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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/&b 10. 总结
4l560Fb'U ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
'3
5w( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
r1]shb%J? ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
D^$Nn *i;U ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
UJ<eF/KSmG 4#!NVI3t （来源：讯技光电）
