示例.0082(1.0)
Iw4[D#o R; ui
4wg6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
=h70! ) Z5 |'``pq/}_ 1. 描述
"/y S HB[ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
kX2Z@
w` ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
..R JHa6B ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
3Rhoul[S n/{ pQ&B 2. 系统
,e^~(ITaq ^-Rqlr,F; 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{9FL}Jrt 3. 透镜系统组件编辑
u +O"c IF cre ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
~3Za"q*0s ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
zE Ly1v\" ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
jwg*\HO,s ■ 包括序列光学表面和光学介质。
"g*`G< W_s r PTfwhs 4. 光线追迹系统分析器-选项
Ng2 Z7k <KJ|U0/jGd /
*/"gz% ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
-Q/wW4dE= ■ 可以选择选取光线的方法：
::_bEmk — 在x-y-网格
icQQLSU5 — 六边形
1gn LKf c — 自由选取
d)3jkHYEjj ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
}KYOde@ gC F9XKW 5. 系统的3维视图
F|G v )5 `~ WzA iaJLIr l
6. 其他系统参数
j]U~ZAn,K ■ 系统由单色平面波
照明 qnb/zr)p ■ 照明波长266.08nm
l_4 ^TYF ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
M~h.M PI — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
J 7sH] — 一个虚拟屏位于焦平面
A9KPU : —
光束尺寸探测器置于焦平面
wwet90_g ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
6XHM `S @r^s70{} 7. 光线追迹系统分析器的结果
M?=I{}!@Q P+y XC^ , 光线经过整个光学系统的三维视图
#]Lodo9rS\ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
(w#)|9Cxm 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
r 7#.DJnN. F2MC)&# WFzM s ■ VirtualLab可用于计算点列图。
>5E1y! ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
K%_ UNivN ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
E#3tkFF0Z[ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
#k1IrqUp t%O)T i 9. 焦平面上的结果
b@Dt]6_ UL Xwf R/4 S_ nAO\h ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Nc HU) ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
A^$xE6t ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
(sI`FW_ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
=.OzpV)=V ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
~W={"n?= `A5n6*A7 10. 总结
)#GF:.B ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
:P
]D`b6p ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
<CJy3<$u ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
)*R';/zaI ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
E!.&y4 ?Q$a@)x# （来源：讯技光电）
