示例.0082(1.0)
#T>?g5I -eh .Tk 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
`<v$+mG ]ke9ipj]: 1. 描述
U* yOe* > ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
6E1~dK0t ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
y5aPs z ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
7R79[:uwJ l/nBin&YGv 2. 系统
P* &0HbJ l"`VvW[ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Z]DZ :dF 3. 透镜系统组件编辑
t&w.Wc X) D~i 5E9s5 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
8 `)* ?Q9~ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
}xBO; ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
j<BRaT ■ 包括序列光学表面和光学介质。
' ,]Aj!q ey9hrR MR 4. 光线追迹系统分析器-选项
VR1]CN"G ZDp^k{AN9a {t!
&x: ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
V*2 * 5hx ■ 可以选择选取光线的方法：
[$d]U. — 在x-y-网格
k}nGgd6XD — 六边形
owA8hGF — 自由选取
$vO<v<I'Gb ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
K$ }K2w /!t:MK; 5. 系统的3维视图
[ ypE[ M,ybj5:6 
+IbV 6. 其他系统参数
F{Yr8(UHA ■ 系统由单色平面波
照明 ?F$ #t6Q ■ 照明波长266.08nm
|k]]dP|:' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
:a2[d1 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
w;F y/XQ — 一个虚拟屏位于焦平面
HfH_jnR* —
光束尺寸探测器置于焦平面
~}ifwm'7 a ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
PcZ<JJ16F$ bw/mF5AsW 7. 光线追迹系统分析器的结果
\/SOpC Yuf+d-% 光线经过整个光学系统的三维视图
4:O.x# p 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
[hH>BEtm 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
9mXmghoCO <1lB[:@%U $\] Mvd ■ VirtualLab可用于计算点列图。
<v _Wh@m ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
.L 1[Rv3 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
xfX|AC ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
hMS:t(N{ #"TYk@whWf 9. 焦平面上的结果
6nsb)7a vNdX =Xid"$ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
e8: O2!HW ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
`S? _=JIX ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
JS\]| ~Gd ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
0d:t=LKw) ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
@Ss W /GJL&R Mx 10. 总结
[K4 k7$ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
-%>Tjo@B n ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
dikX_ Q>D ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
K+L9cv4 |* ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
,SdxIhL qJl DQc- （来源：讯技光电）
