示例.0082(1.0)
!K8V":1du# Xd@ _:ds 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
@lu` oyM mNdEn<W 1. 描述
QQW]j;' ~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
-,pw[R ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
P +(q38f[ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
<: !;79T\ h$_5)d~ 2. 系统
+I[Hxf ~ >>R,P
Ow- 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.:A&5Y- 3. 透镜系统组件编辑
?D9>N'yH8 vI5'npM ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
x!;;;iS ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
vf/|b6'y ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
=BVBC h ■ 包括序列光学表面和光学介质。
[`_-;/Gx2 6[S-%|f 4. 光线追迹系统分析器-选项
du_TiI Q/y"W,H# vQsI^p ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
2e*"<>aeq ■ 可以选择选取光线的方法：
K/IG6s;Xj — 在x-y-网格
bP HtP\) — 六边形
! ~3zp L — 自由选取
c^ W \0 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
w[hT , $n Y9ipy_@_? 5. 系统的3维视图
:7DXLI|L#? `71(wf1q[f Q%. F Mf
6. 其他系统参数
Cs?[
■ 系统由单色平面波
照明 atYe$Db ■ 照明波长266.08nm
;)ji3 M ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
%}1 v- z — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
?r/)s()ALf — 一个虚拟屏位于焦平面
] ^BgSC —
光束尺寸探测器置于焦平面
a~Nh6 x ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
tEjT$`6hp 0o_wy1O1, 7. 光线追迹系统分析器的结果
o@ W:PmKW Hq oCl 光线经过整个光学系统的三维视图
R~! md 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
b5t:" >wC 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
CCp&+LRvR _h0hl]rf Rr"D)|Y;C( ■ VirtualLab可用于计算点列图。
N5jJ,iz ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
G * '1[Bu ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
PsCr[\Ul ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
84j A) ~LSD\+ 9. 焦平面上的结果
B0dv_'L}L Pt[ b;} T)tf!v3v ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
q Jq!0F ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
P?$Iht.^ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
JLu>w:\ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
'-NHu + ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
(M nK
\^Y _>4Qh#6K 10. 总结
}/g1s71 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
) ={
H ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
X\HP&;Wd ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Q5>]f/LD ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
ew
4pAav RC+`sZ E9 （来源：讯技光电）
