示例.0082(1.0)
R*r#E{!V; FaJ &GOM, 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
5l*&>C[(i v/=}B(TDF 1. 描述
jRV/A!4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
SasJic2M ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
*-p}z@8 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
:*\P n!r _:27]K: 2. 系统
h 9W^[ 6 !g2+w$YVa 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
IPo?:1x]s 3. 透镜系统组件编辑
#>+ HlT wj0\$NQ =x ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
q5:N2Jmo?z ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
?FcAXA/J{ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
S{m% H{A! ■ 包括序列光学表面和光学介质。
u;c?d!E HHsmLo c4 4. 光线追迹系统分析器-选项
&:) Wh[ =rX>.P%Q 5 T Rq6NB ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
@;RXLq/8 ■ 可以选择选取光线的方法：
M/K5#8Arj — 在x-y-网格
DR<9#RRD — 六边形
wAW5
Z0D — 自由选取
kZ3ThIk% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
7Jho}5J D}X\Ca"h 5. 系统的3维视图
3$9W%3 n6a`;0f[R 
W 6/yn 6. 其他系统参数
y
h9*z3 ■ 系统由单色平面波
照明 ?(i{y~ ■ 照明波长266.08nm
FJP-y5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Jz e:[MYS — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
R*2E/8Ia — 一个虚拟屏位于焦平面
B 0]~el —
光束尺寸探测器置于焦平面
s!7y ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Npy : ! G<v&4/\p`M 7. 光线追迹系统分析器的结果
,nDaqQ-C!! #4 pB@_ 光线经过整个光学系统的三维视图
B_m8{44zM 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
OpYY{f 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
9mTJ|sN:e >V}#[ / n D!IY&H,wo ■ VirtualLab可用于计算点列图。
QB'aON\S ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
A2jUmK.& ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
*CI#+P ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
0.k7oB;f(@ ]3.;PWa: 9. 焦平面上的结果
'$%l7 Z}Ft:7 @r/n F5 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
^,T(mKS ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
HRfYl,S, ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
_>X+ZlpU: ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
j\^CV?}sm' ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
UrEs4R1# vnZC,J ` 10. 总结
!." D]i; ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
7! INkH] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
]|P iF+ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
l)l^[2 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
ExL0?FemWV Cd}<a?m, （来源：讯技光电）
