示例.0082(1.0)
<Jk|Bmw; fe$WR~ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
WQ]pg
" 6bn-NY:i 1. 描述
EIfrZg7R ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
*%e#)s n* ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
_V?Q4}7d/ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
!]nCeo {%Y7]*D 2. 系统
^s*} 0 #Grm-W9E 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[`lAc V< 3. 透镜系统组件编辑
GS H{1VS_b KPhqD5,
( ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
]lY9[~
v ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Vmc)or*# ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
v=>Gvl3&U ■ 包括序列光学表面和光学介质。
O#\> j (Wqhuw!u 4. 光线追迹系统分析器-选项
qu%s 7+ nmGHJ b,$ Mm!saKT% ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
EiUV?Gvz ■ 可以选择选取光线的方法：
fLAF/#\2 — 在x-y-网格
4;||g@f'[ — 六边形
]N_^{k, — 自由选取
[4 j;FN Fa ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
jxaoQeac z<>_*Lfj 5. 系统的3维视图
t,,^^ll cG:`Z j~4 >lm L
6. 其他系统参数
f,>i%. ■ 系统由单色平面波
照明 (SK5pU ■ 照明波长266.08nm
beE % %C]X ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Rjl __90
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
w ZAXfNA — 一个虚拟屏位于焦平面
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jp&g9Q —
光束尺寸探测器置于焦平面
".?{Y(~ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
,IE0+!I /g''-yT7# 7. 光线追迹系统分析器的结果
':]a.yA\1 RfG$Px ' 光线经过整个光学系统的三维视图
j:3Hm0W3 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
/H@")j e 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
a HL '(< Q0\5j<'e /8\&f %E ■ VirtualLab可用于计算点列图。
`r(J6,O ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
P'9io!Z-s ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
]_8I_V cQ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
L$ Ar]O) Ilb
|:x"L 9. 焦平面上的结果
$ n[7 "IJMvTmj q Xhf?x ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
>0#q! H,X ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
_)2TLA
n3 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
+N:6wZ7<f ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
G;c0 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
yc=#Jn?S <SdJM1%Q o 10. 总结
{eN{Zh5 " ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
<D;Q8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
SliQwm 5 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
y"p-8RVk{ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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P lv _% （来源：讯技光电）
