示例.0082(1.0)
(+epRC 0^gY4qx[u 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
&]#L'D!" R-S<7Q3E0= 1. 描述
hc[ K
VLpS ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
.{h"0<x ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
3WJk04r ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
n jWe^ 5b7(^T^K 2. 系统
> 0MP[ G/<zd) 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
eKvr1m- - 3. 透镜系统组件编辑
Iz09O:ER >8"Svt$ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Giv,%3' ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
eZa*WI= ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
J8alq s7 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
q2vD)r OL>>/T 4. 光线追迹系统分析器-选项
@@Ybg6.+* ORs :S$Nt$ q>.7VN[
vE ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
# dWz,e3 ■ 可以选择选取光线的方法：
tF`L]1r> — 在x-y-网格
\Y)HSJR;e — 六边形
pT]hPuC — 自由选取
UhDQl%&He ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
#T_!-;(Z Uz^N 6 q 5. 系统的3维视图
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q
RA $72eHdy/yl (XO=W+<'
6. 其他系统参数
SKL 4U5D{ ■ 系统由单色平面波
照明 )=[\Yf K ■ 照明波长266.08nm
K6IT$$g ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
o+E~iC u5 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Q"XDxa'7" — 一个虚拟屏位于焦平面
a|7C6#iz$ —
光束尺寸探测器置于焦平面
;{sZDjev> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
i-OD"5a` 4H-eFs%5 7. 光线追迹系统分析器的结果
.*-8rOcc [Km{6 L& 光线经过整个光学系统的三维视图
L7C ;l,ot 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
|IcW7( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
[g mov)\c XHk"nbj */;7Uv7 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
o8g7wM]M ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
\G gh 95y ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
j 2a g
b ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
OX7=g$S 1 ]->"4,} 9. 焦平面上的结果
*4U_MM#rX I`V<Sh^Qd 9p W~Gz ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
/4an@5.\C ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
PAYw:/(P ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
]/=R ABi ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
> <YU'>% ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
+ `|A/w f*o 10. 总结
M&V' *.xz ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
)UKX\nD"0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
lx: $ EJ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
GmH DG- ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Z3S+")^ Z}+}X| （来源：讯技光电）
