示例.0082(1.0)
F,vkk{Z> sd4eG 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
SB%D%Zx6'% Op0*tj2i), 1. 描述
(pH) QG ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
lAnOO5@ 8 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
9{(q[C5m ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
r?)1)?JnHe 8}yrs F # 2. 系统
`Ku:%~$/ \i?bt0 bM 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xjBY6Yl z 3. 透镜系统组件编辑
Gt{%O>P8t @V>]95RX ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
2 r2: ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
X:t?'41m\ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
"~ =O`5V ■ 包括序列光学表面和光学介质。
0]f/5jvLj K!AA4!eUzM 4. 光线追迹系统分析器-选项
2iKteJ@h) 2v (Y'f. v~x`a0 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
a`:F07 r ■ 可以选择选取光线的方法：
Tcv/EST — 在x-y-网格
w 15a~\Q u — 六边形
}@.@k6`n — 自由选取
.Erv\lv* ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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|3 5. 系统的3维视图
cjtc EW ^:$ShbX"P 'w1ll9O
6. 其他系统参数
lt rti.& ■ 系统由单色平面波
照明 Za?BpV~ ■ 照明波长266.08nm
%x;~ o: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
b7+(g [O — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Zc w <USF8 — 一个虚拟屏位于焦平面
a; a1>1 —
光束尺寸探测器置于焦平面
&*8.%qe; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
j"Ew) 6j toU<InN 7. 光线追迹系统分析器的结果
=/xx:D/ `tuGy}S2
光线经过整个光学系统的三维视图
X%og }Cfi 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
FWp ?l 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
(i\{hq/ sUQ
Q/F6 A! ^r9 ?< ■ VirtualLab可用于计算点列图。
mBB"e"o ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
!M)] 1Y ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
*aFh*-Sj2I ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
S|KUh|=Q MLi aCG; 9. 焦平面上的结果
p Djt\R<f XL; WU8> W wr ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
eHIcfp@& ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
G pO*As_2 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
MO| Dwuaf ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
oLq N ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
lu +K fKa I#]p k! 10. 总结
TI2K_' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
}}rp/16 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
tv~Y5e&8 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
t.\ Pn4 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
CGb4C (%-7 Eg} U.ss^ （来源：讯技光电）
