示例.0082(1.0)
;fW~Gb?" !Qb uOvw 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
I=< Qpd4 vyJ8"
#]qY 1. 描述
">3t+A ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
|&W4Dk n ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
} eHxw+. ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
"M[&4'OM t^zE^:06 2. 系统
D& o\q68 W MMpId
Uhr 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
MusUgBQy 3. 透镜系统组件编辑
GK1nGdT] _6r[m sH" ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
vazA@|^8 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
&p_ iAMn:9 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
u%yYLpaKf ■ 包括序列光学表面和光学介质。
S5ai@Ks f PLz+%L;{ 4. 光线追迹系统分析器-选项
'\op$t / -C~zvP; a %cUC~, g_( ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
&S 66M 2 ■ 可以选择选取光线的方法：
a)=|{ QR>W — 在x-y-网格
r4K9W9 0 — 六边形
^gp]t Af — 自由选取
FGyrDRDwC ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
V V}"zc^ rCczQ71W 5. 系统的3维视图
G"-V6CA[ $t}W,? _/}$X"4
6. 其他系统参数
26k~Z} ■ 系统由单色平面波
照明 .$W} ■ 照明波长266.08nm
KGo^>us ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
!^98o:"x — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
@ % L — 一个虚拟屏位于焦平面
*aWh]x9TlU —
光束尺寸探测器置于焦平面
>yP> ]r+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
biS[GyQ Yu_
eCq5/ 7. 光线追迹系统分析器的结果
SSE,G!@ 5WRqeSGh 光线经过整个光学系统的三维视图
<D)@;A 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
|ZifrkD= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
=FIZh}JD : fYfXm I{U | 'a ■ VirtualLab可用于计算点列图。
h>[ qXz ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
piIz ff ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
K8BlEF` ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
R_GA`U\ { w%)RX<h dI 9. 焦平面上的结果
_4SZ9yu ;Wk3>\nT- r1R M7y ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#`%S[)RT ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
4h--x~ @ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
's a)_?Hy ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
t!J>853 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Fec4 #}|
xele ;)Y 10. 总结
q8/k $5E ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
|r;>2b/ x ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
#EE<MKka ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
l,b,U/3R. ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
!XI 9evJw z4( \yx （来源：讯技光电）
