示例.0082(1.0)
JBY.e r`6C x/,;:S 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
HXq']+iC < rzP 1. 描述
qvn.uujYS ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
tpWGmj fo> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Lx,=Up. ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
KZKE&bTx e:O,$R#g 2. 系统
,YD7p= PY TOwqr T/ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
$z P5Hzx 3. 透镜系统组件编辑
MblRdj6 #eW
T-m ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
iil<zEic ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
HA'~1$#z ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
]-gy XE1.r ■ 包括序列光学表面和光学介质。
wnS,Jl %bnXZA2Sx 4. 光线追迹系统分析器-选项
J&8KIOz14Z wOAR NrPx2 m. pm, ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
N{%7O G ■ 可以选择选取光线的方法：
wI@87& — 在x-y-网格
=|oi 0 — 六边形
C|ZPnm>f30 — 自由选取
$a_y-lY ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
!!C/($ Z- f eMM 5. 系统的3维视图
[=K
lDfU= & M13F>! 
`
-_! %m/ 6. 其他系统参数
?[JP[
qS ■ 系统由单色平面波
照明
NzgG7 7 > ■ 照明波长266.08nm
S= 4o@3%$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Y-ao
yoNS — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
:a }](Wn — 一个虚拟屏位于焦平面
Yg&(km m —
光束尺寸探测器置于焦平面
7P1Pk?pxy ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Qu|CXUk 1_+ h"LE 7. 光线追迹系统分析器的结果
@j|E"VYY p@jw)xI 光线经过整个光学系统的三维视图
httywa^ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
=Dn <DV 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
`w!XO$"]Z p}^G #h{ RqA>" [L ■ VirtualLab可用于计算点列图。
$cSUB ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
,iV%{*p] ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
R /=rNUe ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Mq\=pxC@ H$%MIBz >$ 9. 焦平面上的结果
f"s_dR Go%Z^pF3CO d"XZlEV ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
FCt<h/ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
lE k@I" ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
+[G9PP6 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
)Q1>j 2 & ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
i.E2a) W\l&wR 10. 总结
%0GwO%h}, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
= g j?!d` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
A4"TJZBg} ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
d6MWgg ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
k!Yc_ZB:*l F OF@@C~aH （来源：讯技光电）
