示例.0082(1.0)
GFy0R"&d[ 1Q2k> q8 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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1. 描述
cr=FMf hB ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
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< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
^|:{,d#Y ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
aLyhxmn ^) s].'@_~s 2. 系统
(<:rKp c? 3F9 w# 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ZF11v(n 3. 透镜系统组件编辑
EL)/5-=S bCac .x#jo ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
fv 1!^CDia ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
^F{)&# 4 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
"< hx ■ 包括序列光学表面和光学介质。
zdpLAr l2KxZteXY0 4. 光线追迹系统分析器-选项
>-./k I " e>i8 =U` ; w|UKMbRMU] ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
S tp*JU ■ 可以选择选取光线的方法：
>i#_)th"U! — 在x-y-网格
q0KXu MK — 六边形
rc{[\1 -N — 自由选取
I5<#SW\a? ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
X7 B)j H%N HDae_. 5. 系统的3维视图
j/` qd(=B /j5-
"<;. 
@x>$_:] 6. 其他系统参数
Le$u$ulS ■ 系统由单色平面波
照明 1 0Tg > H ■ 照明波长266.08nm
i!+3uHWu`) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
p/^\(/\]) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
D 5wR?O — 一个虚拟屏位于焦平面
$8yGY —
光束尺寸探测器置于焦平面
r7BH{ >- ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
x) qHeS ) GT?Wd 7. 光线追迹系统分析器的结果
a.*j8T ;g)Fhdy! 光线经过整个光学系统的三维视图
f8_UI dM7 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
W/F4wEODY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
hm} :Me$[) sN` o_q{Q Y`_X@Q ■ VirtualLab可用于计算点列图。
:8!3*C-= ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
GbrPtu2{@V ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
a>jI_)L ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
)LMuxj `]I5WTt*X 9. 焦平面上的结果
NCpn^m)Q} :W<,iqSCm W %<]_u[-} ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
tVh4v #@+ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
H?bs K~ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
tJF~Xv2L! ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
oX~$'/2v ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
U:p"IY#% + T-zf@ j 10. 总结
vrO$8* sy ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Bst>9V&R ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
T9v#Jb6 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
A VG`r2T ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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d)~;I$ （来源：讯技光电）
