示例.0082(1.0)
*guoWPA|Ij gmm|A9+tv 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
PP!SK2u "L l~ M_S<4n 1. 描述
yUp,NfS]o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
OD5 m9XS ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
=XY\iV1J* ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
3Oi
nK[' qv@$ZL R 2. 系统
3 :C oZ 4vwTs*eB ` 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
zA1lca0HK 3. 透镜系统组件编辑
[AW"
D3 *;fw% PW ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
#cCL.p"] ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
8:/e
GM ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
<-u8~N@43W ■ 包括序列光学表面和光学介质。
M-giR:, 3l#IPRn9AO 4. 光线追迹系统分析器-选项
('hE r~ & V 7Mh- ] 1Tm^ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
/=gOa\k|p ■ 可以选择选取光线的方法：
G 8V, — 在x-y-网格
oDU ;E — 六边形
]~E0gsq — 自由选取
4A2?Uhp y ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
l@ap]R nTz6LVF 5. 系统的3维视图
<Ce2r"U1e 7IjQi=#: 
q@xBJ[IM 6. 其他系统参数
FGh] S- A ■ 系统由单色平面波
照明 %,k] [V ■ 照明波长266.08nm
XGkkB ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
T"0,r $3: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Xt'sQ} — 一个虚拟屏位于焦平面
?IGVErnJJC —
光束尺寸探测器置于焦平面
y})70w@ +_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
(bh9 5X 4`8< 7. 光线追迹系统分析器的结果
Z>^pCc\ lH R]i 7 $}n 光线经过整个光学系统的三维视图
|H! 9fZO 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
U8G%YGMG.4 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
.fdL&z 6l4mS~/ \R3H+ W ■ VirtualLab可用于计算点列图。
mb!9&&2 -t ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
r{rQu-|. ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
^*fxR]Y ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
S*,rGCt'T al[n, u 9. 焦平面上的结果
;JR s?1<=' %3$*K\Ai ]7/
b/J ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Bdu&V*0g ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
//4Xq8y ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
u3o#{~E/# ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
NZ3/5%We/ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
$e /^u[~: gL3"Gg3 10. 总结
!0dNQ[$82 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
}nMPSerE ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
/-i !; ! ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
zrU{@z$l ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
B.L]Rk\4 E=#0I]v[ （来源：讯技光电）
