示例.0082(1.0)
.Ds d Q4Y VK*Dm:G0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
k- IL%+U 5 {Q5?M] 1. 描述
})W9=xO~ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
M2H +1ic ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Gu+9R> ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
7 OAM X-LCIT|1 2. 系统
n2} (Pt. K 8#MQR2@ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-] el_:H 3. 透镜系统组件编辑
2[~|#0x oC
?UGY~xL ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
j5m KJC ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
+7\$wc_1I@ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
^POHQQ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
)U12Rshl -V g(aD 4. 光线追迹系统分析器-选项
R!i\-C1 S T_R2BBT
v
i(T[ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
~ ,ZU + ■ 可以选择选取光线的方法：
=LXj q~p — 在x-y-网格
wcH,!;3z+ — 六边形
r1<dZtb — 自由选取
|w5m2Z ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
eH HY.^| OfG/7pw5%B 5. 系统的3维视图
u7&q(Z&&O &Va="HNKt 
i; Dj16h 6. 其他系统参数
<fHJ9(5$V ■ 系统由单色平面波
照明 }NjZfBQW` ■ 照明波长266.08nm
]K?;XA3 dZ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
%xt;&HE — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
:HW| mqKd — 一个虚拟屏位于焦平面
ES-V'[+jDy —
光束尺寸探测器置于焦平面
QB
uX#bDV ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Ml_Hq>\U Az7
] qb 7. 光线追迹系统分析器的结果
a\m_Q{: 6am
g*=] 光线经过整个光学系统的三维视图
RW{y.WhB 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
E5aRTDLq 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
mT:NC'b<9 GY>G} bfh fj|b;8_}l ■ VirtualLab可用于计算点列图。
M*!WXQlud ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
@An} ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
}y %c. ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
u6nO\.TTtY rJZR8bo 9. 焦平面上的结果
*b '4>U HQvJ*U4++ SR$ 'JGfp ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
7 }: +Yx ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
3CzF@t;5 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
li hIPMU ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
+ GJPj(S ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
m"@ o _tUh*"e& 10. 总结
_ amP:h ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
6r|=^3{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Y- UXr8 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
{E; bT|3z ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
,,SV@y; V408u y-M （来源：讯技光电）
