示例.0082(1.0)
d@l;dos), @ + 2Zt% 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
u(~s$ENl N&ddO-r[s 1. 描述
(*;u{m= ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
u3<])}I' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
{Ise ( > V ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
^{Vm,nAQqs r;'!qwr 2. 系统
es6e-y@e rcbixOT 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
J\{)qJ *jp 3. 透镜系统组件编辑
.DX#:?@4@Y y~d W=zO ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Vnl~AQfk| ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
JBYQ7SsAS0 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
[Ytia#Vv ■ 包括序列光学表面和光学介质。
%*/[aq, # ._R82 gy 4. 光线追迹系统分析器-选项
P *LcWrK :{AN@zC0\ F0!r9U(( ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
F?dTCa ■ 可以选择选取光线的方法：
kQb0pfYs — 在x-y-网格
s R~&S)) — 六边形
~ 52 — 自由选取
h h?'tb{ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
=?2y
<B lfKknp#B/O 5. 系统的3维视图
p<+]+,|\~: *dQRs6 
nJ? C 4\#3 6. 其他系统参数
G]S E
A ■ 系统由单色平面波
照明 PU >;4l ■ 照明波长266.08nm
m=K XMX ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
WDX?|q9rCt — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
=#u2Rx%V — 一个虚拟屏位于焦平面
@N(jd($E —
光束尺寸探测器置于焦平面
u1"e+4f ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
:Hd<S +-Dd*yD6< 7. 光线追迹系统分析器的结果
mSzwx/3" nFP2wvFM 光线经过整个光学系统的三维视图
-`RJ k( 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
SN+Bmdu p 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Vy9n3W"FB1 d!d
3r W;A .x x#>Y-\ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
! $iR:ji ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
;L[9[uQ[C ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
}}2 kA ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7Y)wu $!7} ceOjuzY 9. 焦平面上的结果
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fX ELPJ}moWZ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
cU>&E* wD ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
7^; OjO@8 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
bDkE*4SRX ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
ZChY:I$< ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
`8-aHPF- 5B2,=?+o 10. 总结
(H F,p,h_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
4"2/"D0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
4Rm3'Ch ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
<Z;7=k ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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" RLS3 （来源：讯技光电）
