[原创]说说自己的经验 关于算tooling和算材料折射率 [复制链接]


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比如sio2 材料  n一般是1.45 -o*IJQ_  
然后3个光学厚度的话是 180nm  现在电脑里面模拟下3个光学厚度下的波形，然后镀180nm厚度的sio2  这个是电脑输入的值 o5KpiibFM  
然后测试结果 }I<r=?  
sio2 测试反射比较明显，测试出来的曲线可以用来做2件事 ;Ut0tm  
1.通过测试波形 用其他软件 可计算你现在镀膜环境下的n值，如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3个点的n值  算过好多机器和环境下的sio2的折射率 感觉都差不多 影响不大。 :iJ+ImBpK  
2.用 模拟结果的特征峰 跟  测试结果的特征峰  相除可得到tooling值，这个也是粗略的值 但是用下来还是比较方便简单的 6j{9\
R  
可多次重复 得到一个比较可靠的值 MIvAugUOl  
其实镀膜上有好多参数可做tooling值 镀膜时间 镀膜面积 等，本人还是喜欢测试波形与模拟的波形的比值来表示。 rlr)n\R#  
ScU?T<u:i  
当然也可用tfc macleod来计算折射率，都是比较简单的，但是算法不一样，计算结果还是有点偏差的，macleod的会比较好点，会自动修正测试结果。

我提供我自己算tooling值與N值計算。 Q!8AFLff4  
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若有勘誤地方，請不吝嗇指導。 [sJ f)<  
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N值我是利用 實際光譜值(T/R值)套入macled 利用1/4 & 1/2 點的位置去標示，求出NK值。 8o43J;mA  
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tooling也是利用實際光譜值與設計值(光譜波形)相除。 =TKu2  

莱宝的软件算折射率最方便

2楼的貌似很直观，谢谢楼主分享

N值我是利用 實際光譜值(T/R值)套入macled 利用1/4 & 1/2 點的位置去標示，求出NK值。 o2M+=O@  
T DOOq;+  
tooling也是利用實際光譜值與設計值(光譜波形)相除。

tool 值你要考虑设计波长！

谢谢分享

yzhuang:莱宝的软件算折射率最方便 (2016-05-06 09:56)  !u)>XS^E
  

gteG*pi  
求分享莱宝软件

yzhuang:莱宝的软件算折射率最方便 (2016-05-06 09:56)  ^CBc~um2  

TA9Kg=_  
你好，我有莱宝软件英文版，但不知道具体的方法和步骤，可否分享一下操作方法和步骤，有教程不胜感激，谢谢🙏928408943@qq.com