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比如sio2 材料 n一般是1.45 #!R =h |
然后3个光学厚度的话是 180nm 现在电脑里面模拟下3个光学厚度下的波形，然后镀180nm厚度的sio2 这个是电脑输入的值 \>p\~[cxt
然后测试结果 Zil<*(kv{
sio2 测试反射比较明显，测试出来的曲线可以用来做2件事 8Q\ T ,C
1.通过测试波形 用其他软件 可计算你现在镀膜环境下的n值，如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3个点的n值 算过好多机器和环境下的sio2的折射率 感觉都差不多 影响不大。 ZZJ<JdD
2.用 模拟结果的特征峰 跟 测试结果的特征峰 相除可得到tooling值，这个也是粗略的值 但是用下来还是比较方便简单的 B
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可多次重复 得到一个比较可靠的值 =q?s B]n
其实镀膜上有好多参数可做tooling值 镀膜时间 镀膜面积 等，本人还是喜欢测试波形与模拟的波形的比值来表示。 tde&w= ec
EJa Gz\\
当然也可用tfc macleod来计算折射率，都是比较简单的，但是算法不一样，计算结果还是有点偏差的，macleod的会比较好点，会自动修正测试结果。
