可以用幾種工具 F\;2i:(
l &}piC
1.Macleod vZ:G8K)o(
+z+F-
2.橢圓偏振儀 y= 2=DU
T:c7@^=
3.optilayer ,(6)ghr
'-`O.
4u
先簡單說一下macleod怎麼使用 S<V-ZV&_:U
n.@#rBKZ
準備工具 y*w"J3|29
(viWY
1.macleod程式 T&]Na
vxb@9eb!H
2.空白基板之穿透 x,w8r+~5
|4=ihB9+
3.待測物之穿透 u',b1 3g(
?'Cb-C_
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 H4W1\u
$Ru&>D#stK
5.計算 Qr<AV:
$Tfm/ =e
6.即可得到NK值及總厚度 Qy/uB$q{A
)GK+
不懂再提出 z23#G>I&
NJk)z&M