可以用幾種工具 LqTyE
euS"C*
1.Macleod edqek jh
D L_{q6ZK
2.橢圓偏振儀 ?9_<LE
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Z;bzp3v
3.optilayer 5B!l6ST
^o]ZDc
先簡單說一下macleod怎麼使用 ewqfs/
aE6I|6W?
準備工具 T=}(S4n#BX
lvIKL!;H
1.macleod程式 V?v,q'? $
R74kt36M
2.空白基板之穿透 ^ad
p<?q4
2H_|Attoi
3.待測物之穿透 uh3%}2'P
W6D|Rr.q
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 _*1/4^
Uu{I4ls6B
5.計算 'D8WNZ8Q
T9\wkb.
6.即可得到NK值及總厚度 IpmblC4
@CU3V+
不懂再提出 aEVBU
]S4kWq{ Y