可以用幾種工具 xq-17HKs
Qy<[7
1.Macleod ;Op3?_
t*@2OW`!
2.橢圓偏振儀 ~$'\L
Q9I
j\HbA"
3.optilayer 3iw{SEY
}kw/W#)J
先簡單說一下macleod怎麼使用 Um1[sMc{au
;\EiM;Q]
準備工具 ,jXM3?>B
FX9F"42@
1.macleod程式 {x'GJtpb
Fk(JSiU
2.空白基板之穿透 `cPywn@uGZ
RoCfJ65
3.待測物之穿透 ;Yi4Xva@
fLV"T_rk
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 uOa26kE4
>zDF2Y[
5.計算 (D@A74q\'
W@yJAQ
6.即可得到NK值及總厚度 2H.654
bSVlk`
不懂再提出 8G5Da|\
K3\#E/Ox