可以用幾種工具 .JYaH?
kB3H="3[[
1.Macleod j2ve^F:Q
fhar&\;S
2.橢圓偏振儀 DAS/43\
_I:~@
3.optilayer ]j'p :v
pv*,gSS
先簡單說一下macleod怎麼使用 -j%,Oo
j:5=s%S
準備工具 mk1bcK9
pi /g H
1.macleod程式 0KYEb%44
*i]=f6G
2.空白基板之穿透 EKA#|^Q:NX
2HpHxVJ
3.待測物之穿透 `!XY]PI+e
_(Sa4Vb=Q6
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 Du`JaJI
I Y2)?"A
5.計算 M4zm,>?K
# ,7e
NM"
6.即可得到NK值及總厚度 .Si,dc\
wp#'nO
不懂再提出 eAXc:222
=+ytTQc*ot