可以用幾種工具 7.W$6U5
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1.Macleod @?/> $
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2.橢圓偏振儀 PJn|
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3.optilayer %Mxc"% w
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先簡單說一下macleod怎麼使用 UV#DN`%n
i[O{M`Z%
準備工具 q}r{%ypf
tm|YUat$]r
1.macleod程式 Id<O/C
MD+e!A# o
2.空白基板之穿透 OBEHUJ5
FE4P
EBXvu
3.待測物之穿透 ]q":ta!f
ph~d%/^jI
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 *Me&>"N"
@;b @O
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5.計算 ?Hrj}K27
DWXHx
6.即可得到NK值及總厚度 3T)_(SM"
UPGS/Xs]1
不懂再提出 M=t;t0
<HXzcWQ$