可以用幾種工具 b1KtSRLV
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1.Macleod <ZF|2
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2.橢圓偏振儀 jk{(o09
sfj+-se(K.
3.optilayer odsFgh
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先簡單說一下macleod怎麼使用 q.VYPkEib
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準備工具 RhH1nf2UR
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1.macleod程式 );\c{QF
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2.空白基板之穿透 %, kP_[!>Q
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3.待測物之穿透 Jpj=d@Of70
l9I r@.m
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 6!ve6ZB[p
H<Oo./8+
5.計算 rP3HR5
g[3LPKQ
6.即可得到NK值及總厚度 /i'078F
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不懂再提出 HU i?\4
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