可以用幾種工具 oB(?_No7
wr$("A(
1.Macleod M\uiq38
J,'M4O\S
2.橢圓偏振儀 mE+*)gb:Rd
em%4Ap
3.optilayer fK>L!=Q
W=N+VqK
先簡單說一下macleod怎麼使用 %~4M+r6T
-*1d!
準備工具 G#ZH.24Y
~~D{spMVO
1.macleod程式 P)Jgs
dm\F
2.空白基板之穿透 /6)<}#
zu_8># i-
3.待測物之穿透 o_izl\
3#3n!(
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 I fK,b*%
ejSji-Qd
5.計算 |mZxfI
I ce~oz)
6.即可得到NK值及總厚度 NVkV7y X]
.]8ZwAs=&
不懂再提出 zfJT,h-{
z O-z%y