可以用幾種工具 9bcyPN
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1.Macleod b=QGbFf
2}#wdJ`
2.橢圓偏振儀 8.3_Wb(c
)Fr;'JYC1S
3.optilayer W.6JnYLQ&
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先簡單說一下macleod怎麼使用 V8U`%/`N
;R|#ae@
準備工具 ~
GT\RAj[
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1.macleod程式 <iprPk
LX?r=_\
2.空白基板之穿透 5@Lxbe(
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\A\yuJ=
3.待測物之穿透 UE#Ni 5
GqD!W8+
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 r5qx! >
\gzwsT2&
5.計算 *I1W+W`G
0|>
6.即可得到NK值及總厚度 Dx# @D#
3;l>x/amk
不懂再提出 _}9R}
6ewOZ,"j"4