可以用幾種工具 'nRp}s1^[
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1.Macleod ~~PgF"v
%O#)Nq>mp
2.橢圓偏振儀 &*B>P>x
Aoj6k\YX
3.optilayer C"6Amnj
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p/YoTq
先簡單說一下macleod怎麼使用 C"w,('~@kW
NQ?x8h3
準備工具 NuU'0_")/
W_^>MLq
1.macleod程式 3bWum
ezp<@'0ZT
2.空白基板之穿透 RCzV5g
ibvJWg
3.待測物之穿透 BBcj=]"_
A j,]n>{
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 eY
T8$
mA&=q_gS
5.計算 +%P t_
j"5Pe
6.即可得到NK值及總厚度 AzZJG v]H
sf`PV}a1
不懂再提出 Vu}806kB
(vKI1^,