可以用幾種工具 dnN "
pX!S*(Q{
1.Macleod * D|6g| Hb
wRLkO/Fw
2.橢圓偏振儀 > m5j.GP;
GR|Vwxs<@P
3.optilayer ){ gO b
u/k#b2BqL
先簡單說一下macleod怎麼使用 Q}]Q0'X8
SYl :X
準備工具 } F@`A?k
&jg ,8
1.macleod程式 <Q szmE
(*hA0&n
2.空白基板之穿透 g ]d@X_ &D
- |V@zSKr3
3.待測物之穿透 C~6aX /:
hbN *_[
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 ~A"ODLgU9
N*@ bJ*0
5.計算 s7&% _!4
a0AIq44
6.即可得到NK值及總厚度 FJ#V"| }
auS$B %
不懂再提出 i8A5m@,G
J7mT&U&Ru
