可以用幾種工具 )+12r6W
]sV) '-
1.Macleod 3`DwKv`+
Jnf@u
2.橢圓偏振儀 aj@<4A=;
E0<$zP}V}F
3.optilayer SW*Yu{
9|1J pb
先簡單說一下macleod怎麼使用 w2o5+G=
gqQ"'SRw
準備工具 g)Dg=3+>
VW *d*!
1.macleod程式 !d3:`l<
" )/febBS
2.空白基板之穿透 <&p0:S7
rQ287y{
3.待測物之穿透 \ q=Bbfzv
,lr\XhO
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 s!F`
0=J^
\} +b_J6-
5.計算 ok<!/"RX$
k<!xOg
6.即可得到NK值及總厚度 g~Agy
\N"=qw^ t
不懂再提出 )6
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