可以用幾種工具 iyU@|^B"Wa
a)PBC{I
1.Macleod FIlw
~el#pf~
2.橢圓偏振儀 @)m[:n
D4G*K*z,w4
3.optilayer 2{!'L'km
n99:2r_
先簡單說一下macleod怎麼使用 lYv :
^i&/k
準備工具 _Akc7"
zA9N<0[]o
1.macleod程式 AUcq\Ys
26>e0hBh&
2.空白基板之穿透 `r'q(M
HnUM:-6
3.待測物之穿透 kf_s.Dedw
\% !]qv
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 f'TjR#w
03J,NXs
5.計算 qD7(+a
,!F'h:
6.即可得到NK值及總厚度 71 hv~Nk/x
X|L.fB=
不懂再提出 X&MO}
g$ZgR)q