可以用幾種工具 ET^ |z
b 1^n KB
1.Macleod xcCl
(M]+
T9y;OG
2.橢圓偏振儀 m)?5}ZwAH
://U^sFL
3.optilayer iy5R5L2
@u4=e4eF`
先簡單說一下macleod怎麼使用 Xwu.AVsr
6a}r( yP
準備工具 nX%AeDBAT
\94j rr
1.macleod程式 MXAEX2xmme
Il~01|3+m
2.空白基板之穿透 U_z2J(e~
EH9Hpo
3.待測物之穿透 +`| *s3M
p_terD:
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 1-;?0en&0
zDBD .5R;
5.計算 a,Kky^B
aSnp/g
6.即可得到NK值及總厚度 |DG@ht
\MYU<6{u
不懂再提出 %|Hp Bs#'
~Nh&.a