可以用幾種工具 S0:Oep
o~"Y_dLsW
1.Macleod ,mi7WW9
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2.橢圓偏振儀 qIQ
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3.optilayer B|$o.$5
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先簡單說一下macleod怎麼使用 o.Y6(o
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準備工具 N1.1
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1.macleod程式 !io1~GpKS
WDV=]D/OE
2.空白基板之穿透 Gx}`_[-
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3.待測物之穿透
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xFM^-`7
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 p>3QW3<
K[/L!.Ag
5.計算 U@n5:d=
HJym|G>%?
6.即可得到NK值及總厚度 XIZN9/;
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不懂再提出 LayK&RwL
aot2F60J,