可以用幾種工具 {JWixbA
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1.Macleod 9^Xndo]y
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2.橢圓偏振儀 S(=@2A+;
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3.optilayer Wi$?k{C
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先簡單說一下macleod怎麼使用 .3EEi3z6z
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準備工具 `_ ^I 2
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1.macleod程式 X}B]5
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2.空白基板之穿透 )+FnwW
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3.待測物之穿透 e\z,^
,5 ,r.
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 r[E #JHw
F]OWqUV
5.計算 E.#JCO|(1
#W:.Fsq
6.即可得到NK值及總厚度 ~&/Nl_#
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不懂再提出 drCL7.j#L
2Jo|P A`9