可以用幾種工具 =D@+_7\?
`RriVYc<
1.Macleod <%~`!n,t0
js~?y|e8k
2.橢圓偏振儀 wE4:$+R};
GIyb0XjTw
3.optilayer ,$xV&w8f\"
i- v PJg1
先簡單說一下macleod怎麼使用 Z^'i16
82z\^a
準備工具 DviR D[+q"
d8o<Q 9
1.macleod程式 MzWVsV
8pEiU/V
2.空白基板之穿透 Pm
Zb!|
X5V8w4NN
3.待測物之穿透 ^/H9`z;
8^8fUN4<=
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 I1Jo 8s
l[G&=/R@H
5.計算 cKb jW
B]""%&! O
6.即可得到NK值及總厚度 f2abee
l4:5(1
不懂再提出 2^\67@9
A5A4*.C