可以用幾種工具 yEWm.;&3=
s*rR>D:
1.Macleod 3jZGO9ttnS
cX9o'e:C
2.橢圓偏振儀 3k'Bje?9~
y[b8rv
3.optilayer I(M/X/
>az~0PeEL
先簡單說一下macleod怎麼使用 ~ky;[
xgxfPcI
準備工具 ?>;b,^4
k^cZePqE6d
1.macleod程式 \ ITd\)F%N
nXn@|J&z~U
2.空白基板之穿透 # `^nmC/F
QD7KE6KP'
3.待測物之穿透 K<^p~'f4P
$IQPB_:
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 "s|P,*Xf
6>]
5.計算 l73%
y
WVR/0l&bU
6.即可得到NK值及總厚度 'xta/@Sq
9\EW~OgTu
不懂再提出 i+14!LlI
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