可以用幾種工具 n w`rH*
HK<S|6B7V
1.Macleod hHVAN3e
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2.橢圓偏振儀 G7+ {O7
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3.optilayer a.gMH
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先簡單說一下macleod怎麼使用 ]S@T|08b
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準備工具 tx9%.)M:n
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1.macleod程式 !> +Lre@
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2.空白基板之穿透 +2 oZML
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3.待測物之穿透 5WRqeSGh
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4.選取1/4波長(1/2波長)位置 W% Lrp{
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5.計算 ;y@zvec4
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6.即可得到NK值及總厚度 .*oL@iX
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不懂再提出 SIR2 Kc0
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