可以用幾種工具 GSRf/::I}4
Sd6O?&(
1.Macleod @]Vcl"t
- egTZW-
2.橢圓偏振儀 .M:&Aj)x16
9po=[{Bp
3.optilayer X8tPn_`x
|r+ x/,2-
先簡單說一下macleod怎麼使用 BZ\="N#f
ZW?h\0Hh
準備工具 )y]Dmm
"vk]y
1.macleod程式 _7N?R0j^9N
]n4PM=hz
2.空白基板之穿透 #_ulmB;
T4W20dxL7
3.待測物之穿透 ~Y43`@3H:
ddL3wQ
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 % (h6m${j
fmYx
5.計算 tzN9d~JZ
H^Pq[3NQ
6.即可得到NK值及總厚度 5%D`y|
3z0Bg
不懂再提出 \:h7,[e
%rB,Gl:)g