可以用幾種工具 Rz%
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1.Macleod ]UyIp`nV;
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2.橢圓偏振儀 |@pJ]
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3.optilayer Y~]E6'Bz
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先簡單說一下macleod怎麼使用 -.ITcDg
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準備工具 xi=Z<G
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1.macleod程式 W,Q"?(+]B
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2.空白基板之穿透 .um]1_= \
t{?U NW
3.待測物之穿透 i-!Z/,oL
Q`ERI5b6
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 3XY;g{`=q
+T:F :X`
5.計算 F`,XB[}2
W j2]1A
6.即可得到NK值及總厚度 p~1,[]k
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不懂再提出 S)Cd1`Gf
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