可以用幾種工具 5p:BHw;%;
5G(dvM-n
1.Macleod yZ)9Hd
xf,A<j(o
2.橢圓偏振儀 2Vf242z_
!QbuOvw
3.optilayer hwL`9.w
|W=-/~X
先簡單說一下macleod怎麼使用 \O;/wf0Hg
`sso Wn4
準備工具 G7v<Q,s
hxM{}}.E
1.macleod程式 Cojs;`3iF:
DQP!e6Of
2.空白基板之穿透 ry=8Oq&[~
d4^x,hzV
3.待測物之穿透 |%ZJN{!R
_E'}8.#{
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 Y*\h?p[,
#Y=b7|l
5.計算 6jgP/~hP>N
"!AtS
6.即可得到NK值及總厚度 !u8IZpf
9*K-d'm
不懂再提出 ^--R#$X
T|D^kL%m!