可以用幾種工具 /sM~Uq?
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1.Macleod nOx4<Wk&
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2.橢圓偏振儀 3(TsgP>`
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3.optilayer n
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先簡單說一下macleod怎麼使用 6T 8!xyi-+
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準備工具 f&v9Q97=
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1.macleod程式 Z{&cuo.@<]
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2.空白基板之穿透 CLvX!O(~
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3.待測物之穿透 ODZ|bN0>
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4.選取1/4波長(1/2波長)位置 7{&|;U
cGjPxG;
5.計算 {o(j^@
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6.即可得到NK值及總厚度 #o1=:PQaC
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不懂再提出 3R+|5Uq8~
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