可以用幾種工具 m5]
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A /c
1.Macleod 7!(/7U6rP
g,o46`6"
2.橢圓偏振儀 N}[!QE
K0o${%'@7
3.optilayer 1#;^Z3
Eb6cL`#N
先簡單說一下macleod怎麼使用 {*g{9`
FYu30
準備工具 DnhbMxh8o
^?\|2H
1.macleod程式 P.k>6T<U>
sUR5Q/Q
2.空白基板之穿透 ZQir?1=
'r_Fi5[q
3.待測物之穿透 _
M B/p
y4 ]5z/
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 7I]?:%8h
g2^{+,/^K
5.計算 2h]CZD4
-vc$I=b;
6.即可得到NK值及總厚度 +>2.O2)%q
ez%:>r4
不懂再提出 yA*U^:%
2?:OsA}