可以用幾種工具 fV` R7m.
= h"*1`
1.Macleod CL U[')H0
ua'dm6",:
2.橢圓偏振儀 gkN|3^
x!<?/I)X
3.optilayer
r$7D;>*O{
?D^l&`S
先簡單說一下macleod怎麼使用 g@ ZZcBx
E7*z.3
準備工具 B_B~Y8=3`
I2b\[d
1.macleod程式 abvA*|
F> F&+63Q-
2.空白基板之穿透 ,B,2t u2
Ef }rMkv
3.待測物之穿透 -ty_<m]
'$cU\DTN6
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 gda3{g7<)
u/D=&"tL
5.計算 mxpncM=q
xV
h-Mx+M
6.即可得到NK值及總厚度 Tn# > "Ag
-9 AI@^q
不懂再提出 KL4Z ||n
^c9~~m16+
