可以用幾種工具 G;V@oT
[6BLC{2
1.Macleod *wP8)yv7
cO<]%L0
2.橢圓偏振儀 5/DTE:M<
g}IdU;X$NT
3.optilayer 7CUu:6%
&T]+g8 ''
先簡單說一下macleod怎麼使用 %0INtq
~j3B'
準備工具 shxr^
+,7dj:0S
1.macleod程式 !798%T
>h<eEv/
2.空白基板之穿透 '*!R
gbj;
\8Mkb]QA
3.待測物之穿透 !$AVlMnJ
"$+naY{w
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 MjE.pb
twt
Bt L
5.計算 n<8$_?-
Xn"n5=M
6.即可得到NK值及總厚度 PTA;a0A
Y_>z"T
不懂再提出 4DEsB)%X
J:f>/