可以用幾種工具 &mdB\Y?^
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1.Macleod lRH0)5`
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2.橢圓偏振儀 Vd<K4Tk
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3.optilayer x?=B\8m
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先簡單說一下macleod怎麼使用 4m\([EO
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準備工具 #D0W7a
\HD-vINV;
1.macleod程式 ])UwC-l
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2.空白基板之穿透 K"^cq~
A_i zSzC1
3.待測物之穿透 70=(.[^+
fp tIc#4
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 l?<q
YjI
2qXo{C3
5.計算 Ck@M<(x
o?y"]RCM
6.即可得到NK值及總厚度 -%i#j>
1lsLG+Rpxi
不懂再提出 :cdQ(O.m
r@Nl2