可以用幾種工具 ]J1oY]2~
9epMw-)k
1.Macleod &x9>8~
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2.橢圓偏振儀 Z)&!ZlM
'kOkwGf!
3.optilayer TUBpRABH
CZ33|w
先簡單說一下macleod怎麼使用 ]z#+3DaH
CM%Rz-c
準備工具 ;A6%YY
'aWqj+Wbh
1.macleod程式 m]+~F_/
%}IrZrh
2.空白基板之穿透 a,|Hn
de/oK c
3.待測物之穿透 bN\;m^xfu
)2lB
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 C 547})
38 ]}+Bb
5.計算 ^sKdN-{
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3R/bx
6.即可得到NK值及總厚度 o:'@|(&