可以用幾種工具 BI6o@d;=4
J;BG/VI1
1.Macleod Z$5@r2d)
(@?PN+68|
2.橢圓偏振儀 xlaBOK a%
D8Vb@5MW
3.optilayer ;HaG-c</
21U,!
先簡單說一下macleod怎麼使用 a|@^N
G%K<YyAP
準備工具 nPUq+cXy]C
Jk7[}Jc$
1.macleod程式
Eyu?T
1)M>vdrP
2.空白基板之穿透 K]q OLtc
aKC3T-
3.待測物之穿透 asI:J/%+2
EmR#)c~(W
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 9Kyr/6w4-k
U;4:F{3m
5.計算 hQgi--Msw'
pOip$Z
6.即可得到NK值及總厚度 '?k*wEu
~z!U/QR2
不懂再提出 Piz/vH6M}
d&0^AvM@