可以用幾種工具 ,6buo~?W:
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1.Macleod KnFbRhu[
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2.橢圓偏振儀 6kuSkd$.
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3.optilayer BmJ?VJ}Y
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先簡單說一下macleod怎麼使用 ,`7GI*Vq
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準備工具 si;]C~X*
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1.macleod程式 7f$Lb,\y
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2.空白基板之穿透 v:0i5h&M
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3.待測物之穿透 f\^QV
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4.選取1/4波長(1/2波長)位置 |#B"j1D,H
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5.計算 }00e@a
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6.即可得到NK值及總厚度 ^>p [b
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不懂再提出 o%5bg(
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