可以用幾種工具 D^=_408\
+c/am``
1.Macleod P.3j |)NW
T=:O(R1*0
2.橢圓偏振儀 E:4`x_~qQ
N/DcaHFYo
3.optilayer }D xXt
Me yQ`%
先簡單說一下macleod怎麼使用 A|CW4f,
qg:R+`z
準備工具 @}!1Uk3ud
%lbSV}V)
1.macleod程式 wg^#S
;{ XKZ}
2.空白基板之穿透 T2Z;)e$m_
O;ZU{VY
3.待測物之穿透 C16MzrB}(N
apa~Is1
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 bsC~
2S\o
A1{P"p!
5.計算 gZ%B9i:
/'QNlP[L;
6.即可得到NK值及總厚度 `^9 Zbwq
zwN;CD1
不懂再提出 IQMk :
,]i ^/fT