可以用幾種工具 tJgo%P1
C;BC@OE
1.Macleod 9X%H$>s
9EI Oa/*
2.橢圓偏振儀 g2t'u4>
+\@}IKWl-?
3.optilayer n k@e#
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先簡單說一下macleod怎麼使用 E>2~cC*
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準備工具 x+B7r&#:
Gj9WUv[P
1.macleod程式 G;k#06
pipO,n
2.空白基板之穿透 B4d\4S_r%
U5!T-o;3}
3.待測物之穿透 1w|C+m/(
mO|YX/>
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 fRT4,;
y?4%eD
5.計算 ']cRSj.
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6.即可得到NK值及總厚度 nJ{vO{N
PW)Gd +y
不懂再提出 V \4zK$]
Okt0b|=`1*