可以用幾種工具 !+uMH!
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1.Macleod iZMsN*9[
$:u,6|QsS=
2.橢圓偏振儀 7v,>sX
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3.optilayer }#'KME4
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先簡單說一下macleod怎麼使用 #0`"gR#+
1.,mNY^UN
準備工具 Ysr{1! K
e_1mO 5z
1.macleod程式 ]3={o3[:
M8[YW|VkP
2.空白基板之穿透 "[[fQpe4@
$#RD3#=?u
3.待測物之穿透 do[K-r
>t D-kzN
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 w|L~+
On'3K+(_
5.計算 G4x.''r&Sl
K6Gc)jp:b
6.即可得到NK值及總厚度 keJec`q=X
g~B@=R
不懂再提出 'oT}jI
K&)a3Z=(.