可以用幾種工具 ffE#^|
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1.Macleod /0lC KU!=
)(m0cP{7
2.橢圓偏振儀 m`6VKp{YD
>A}0Ho
3.optilayer |QMA@Mx
dz%EM8
先簡單說一下macleod怎麼使用 6~8F!b2
?Elg?)os
準備工具 T8XY fcc*h
#@qN8J}R
1.macleod程式 pSfYu=#f
*(QH{!-$s
2.空白基板之穿透 i]o"_=C
s0C:m
3.待測物之穿透 p[v#EyoC
WeMAe
w/d
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 3fr ^ T
>w|*ei:@S
5.計算 M#,Q
^rH#
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6.即可得到NK值及總厚度 x83a!9
A\QJLWBv^$
不懂再提出 (\,BxvhG=
PJLR<9