可以用幾種工具 @=;6:akz`
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1.Macleod >p<(CVX[
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2.橢圓偏振儀 Ix(4<s
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3.optilayer qb" !
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先簡單說一下macleod怎麼使用 [")0{LSA=
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準備工具 2f:'~ P56
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1.macleod程式 #5H@/o8!s=
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2.空白基板之穿透 7Ru0>4B
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3.待測物之穿透 3R{-\ZMd
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4.選取1/4波長(1/2波長)位置 >|iy= Zn%'
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5.計算 xS(sR x+A
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6.即可得到NK值及總厚度 "|Pl(HX
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不懂再提出 H!Od.$ZIX
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