可以用幾種工具 yJGM"$
<u%&@G$F>
1.Macleod "~^#{q
z~y=(T
2.橢圓偏振儀 ilpP"B
Uel^rfE`
3.optilayer BT8L 'qEj
zs@xw@
先簡單說一下macleod怎麼使用 7.N~e}p8
"de3Sbj@?
準備工具 7lYiu fg
)S2GPn7
1.macleod程式 }Uc)iNU
S eTn]
2.空白基板之穿透 pa)2TL/@
eQQ*ZNG
3.待測物之穿透 NwPC9!*
"hi)p9 _cR
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 >;}q
Nn]|#lLP
5.計算 236,o
{9e
Bp>Z?"hTe
6.即可得到NK值及總厚度 cgevP`*]
oe*Y(T\G
不懂再提出 zv}3Sl@
lZ![?t}2`