可以用幾種工具 3Y\7+975m
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1.Macleod #q;hX;Va
f@ &?K<
2.橢圓偏振儀 [C GFzxz$
)$V &Nf
3.optilayer fI{ZElPp
PGT*4r21
先簡單說一下macleod怎麼使用 so* lV
kI|Vv90l
準備工具 U'pm5Mc\q
?e? mg
1.macleod程式 ; Nw.
8
S'g%
2.空白基板之穿透 aZ$$a+
9Fe(],AzF
3.待測物之穿透 TBfX1v|Z)
O1/U3/2/d
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 bYr;~
^
go, Hfb
5.計算
G P"(+5
oB9t&yM
6.即可得到NK值及總厚度 9m2_zfO[w
cz8%p;F:
不懂再提出 )ca^%(25!z
9/lCW