可以用幾種工具 Ond'R'3 \E
R[B?C;+(O
1.Macleod Rl~T$
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3'`dFY,
2.橢圓偏振儀 9 ;i\g=
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3.optilayer 9i q""
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先簡單說一下macleod怎麼使用 wq!iV |
X6e/g{S)
準備工具 5@~|*g[
RP4Ku9hk
1.macleod程式 f58?5(Dc|
5\fCd|
2.空白基板之穿透 G4 _,
jNDx,7F-
3.待測物之穿透 s%4M$e
;3eKqr0
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 TI|/u$SJ<Z
<.K4JlbT
5.計算 ?/hZb"6W
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6.即可得到NK值及總厚度 c3%@Wj:fo
pc]J[ S?P
不懂再提出 dEa<g99[?
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