可以用幾種工具 L6j
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1.Macleod Be2@9
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2.橢圓偏振儀 +[r%y,k
b]s=Uv#)
3.optilayer ja~b5Tf9
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先簡單說一下macleod怎麼使用 3WJ> T1we
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準備工具 |Xd[%W)
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1.macleod程式 _\"P<+!
B>o\;) l3O
2.空白基板之穿透 %kJ:{J+w]
)1j~(C)E8
3.待測物之穿透 !j4C:L3F
;FZ\PxN
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 K4n1#]8i
Vw9^otJu
5.計算 SlZL%C;
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6.即可得到NK值及總厚度 v5wI?HE
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不懂再提出 $EviGZFAaR
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