可以用幾種工具 b6]M}ixK
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1.Macleod *TMg.
u5idH),<
2.橢圓偏振儀 rhL<JTS
tkJ/h<
3.optilayer v~@Y_`l
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先簡單說一下macleod怎麼使用 iY(hGlV
Y*"%;e$tg
準備工具 +mxs jcq0
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1.macleod程式 Jl5<9x
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2.空白基板之穿透 hefV0)4K
A.<X78!^
3.待測物之穿透 ',O@0L]L
EBebyQcon
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 iJsw:Nc
u1<xt1K
5.計算 $p9XXZ"*
_q8s 7H
6.即可得到NK值及總厚度 /M'b137
[N$@nA-d
不懂再提出 ,lN!XP{M6w
mexI}