可以用幾種工具 1CUI6@Cz)
AFsYP/g]
1.Macleod }fhGofN$e
4Ub7T=LG
2.橢圓偏振儀 ~KxK+6[ :
F]RZP/D`
3.optilayer 8b25D|8l
FlbM(ofY
先簡單說一下macleod怎麼使用 DeQZDY //
Q_k'7Z\g$
準備工具 Bv7os3xb
&i*e&{L7
1.macleod程式 TH~"y
{C%f~j
2.空白基板之穿透 U@}P]'`'f
t+Qx-sW
3.待測物之穿透 -_>E8PhM
z
E\~Oa;
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 Z3 dI
B`@
Et&PzDvU
5.計算 NU3s^ 8\(
iu`B8yI
6.即可得到NK值及總厚度 CI|#,^
w!Ii
不懂再提出 85:mh\@-G
,,h>_IA