可以用幾種工具 X$Eg(^L a
Yz7H@Y2i
1.Macleod @-ps[b`z
B?n
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2.橢圓偏振儀 &.^(,pt
Se~<Vpo
3.optilayer @{/GdB,}
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先簡單說一下macleod怎麼使用 }.*"ezaZw
5^lFksZ
準備工具 kd55y
n@%Q 2_
1.macleod程式 w(Jf;[o
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2.空白基板之穿透 ,'!x9 `
m-T@Og
3.待測物之穿透 3<F\5|
0#Ivo<V
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 d ? Uj3G
8[v9|r
5.計算 J34/rL/s
D/U=zDpiB
6.即可得到NK值及總厚度 E3hql3=
c+S<U*
不懂再提出 @}K|/
O2;iY_P7lV