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dumoty:SiO打底200nm,石英环/Ti3O5,4层,离子辅助沉积 C2\WvE%! 冷镀不加温,抽一个半小时 4\p%|G^hU 基片超声波清洗,洗后75°退火2小时 }p)Hw2 镀完再退火2小时 (2018-08-09 11:11) aI;$N|]u
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