博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 <yHa[c`L  
*P.Dbb8vn  
R#x~f  
9Oe~e
 
]F4.m  
Z>si%Npm\  
jJK`+J,i}X  
TppuEC>  
Dxlpo! ?#  
二）、博开DZB400低温泵应用 GF=rGn@,)`  
R]! [h  
(6Tvu
5*4U  
_sGmkJi]  
+xc1cki_{  
一、设备情况： 2`;&Uwt  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； :K)7_]y  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； t0*,%ge:<  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； ^f%hhp
V@  
二、使用情况： ~0 Ifg_G  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 !RD<"  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 4,]z  
三、对比 j@HOU~x  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 KW1b #g%Z  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 miTySY6^  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， c&GVIrJ  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 1z5Oi u  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 # zbAA<f  
三）、博开DZB720低温泵应用 W Y]  
j LS<S_`  
'=X)0
GG  
j*'+f~A  
~Bi>T15e  
!JGe .U5  
wJ%;\06  
一、设备情况 ;[-TsX:  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 rd:WF(]  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 z*FCd6X  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   {gkzo3  
二、抽真空情况 Nm7YH@x*o  
附；真空度时间记录表； !jTtMx  
+ ;LO|!  
R9z:K_d,  
以上发表紧代表个人，仅供参考， Pb
`Uxv  
有兴趣了解或意向购买可以加我Q；811651228， @/,:"
. SM  
或邮箱：lishuai@bwokai.com /2.}m`5  
也可电话：15067976093 李 QB.QG!@  
欢迎一起学习讨论； U5RLM_a@M