博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 TI:-Y@8  

描述:DZB250UV超高真空泵1

图片:DZB250UV超高真空泵1.jpg

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描述:DZB250UV超高真空泵3

图片:DZB250UV超高真空泵3.jpg

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描述:DZB250UV超高真空泵2

图片:DZB250UV超高真空泵2..jpg

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二）、博开DZB400低温泵应用 D1t@Y.vl  
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描述:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用

图片:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用.jpg

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一、设备情况： *[@lp7  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； *A.E?9pL\  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； ?e9Acc`G5  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； L=ZKY  
二、使用情况： (1gfb*L  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 IZBU<1M  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 ECqcK~h#E  
三、对比 -qz;  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 Y s[JxP  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 =<j8)2  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， >t')ZSjRs  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 <Hl.MS  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 Bh?K_{
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三）、博开DZB720低温泵应用 p< Emy%  

描述:DZB400低温泵在1.1米镀膜设备的应用

图片:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的应用.jpg

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描述:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的真空情况

图片:DZB720低温泵在1.3米镀膜设备的真空情况.jpg

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一、设备情况 -Wc'k 2oU  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 )?RR1P-ID  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 yg\bCvL&  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   9{\eE]0
  
二、抽真空情况 2i`N26On  
附；真空度时间记录表； 4^(u6tX5|+  
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