博开低温泵（冷泵、冷凝泵）的应用

一）、博开超高低温泵 u@M,qo`  
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二）、博开DZB400低温泵应用  `25yE/  
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一、设备情况： Pn1^NUMZJ  
1、设备腔体尺寸直径1.1米； 783,s_  
2、前级泵：机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw； TDjm2R~9FS  
3、主泵配置：博开DZB400低温真空泵两台（原配2台KT500mm口径的扩散泵8Kw）； ]p GL`ge5  
二、使用情况： p%Vt#?q  
1、机械泵+罗茨泵预抽真空室至3Pa，需要20min。 tw/dD +  
2、开高阀，抽高真空至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 p27~>xQ  
三、对比 ZJJY8k `  
1、抽速：原两台KT500mm扩散泵抽至8.4x10（-4）Pa，需要时间45-50min。DZB400低温泵抽至6.4x10（-4）Pa，所需25min。 4l'fCZhA}  
2、耗能：a、原KT500mm扩散泵加热时功率为8KW，两台扩散泵为16Kw，机械泵4.5Kw+罗茨泵3Kw同时开启，共需23.5Kw/h。 Lg.gfny[(t  
                b、DZB400低温泵4.5KW（功率恒定），两台低温泵为9Kw,由于低温泵的使用特性，抽取高真空时，前级机械泵+罗茨泵无需开启，只需抽低真空至3Pa以下即可， _<V)-Y  
设；使用30分子钟抽至低真空3Pa，机械泵耗费约2.25Kw，罗茨泵耗费约1.5Kw，使用低温泵后共需12.75Kw/h。 #p&qUw  
3、环境：低温泵为无油泵，对镀膜高端产品时，无需考虑返油问题，提高产品质量。 BwpqNQN  
三）、博开DZB720低温泵应用 b. '-?Nn  
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一、设备情况 o:'MpKm  
1、设备腔体尺寸直径1.3米 ET*SB  
2、前级泵：两台机械泵+   罗茨泵 I$G['`XX/  
3、主泵配置：博开DZB720低温泵一台   V2EUW!gn 2  
二、抽真空情况 K@]4g49A/j  
附；真空度时间记录表； iWkWR"ysy  
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