精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。

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《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 #l7v|)9v  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 GQQp(%T  
前言 kQQDaZ8  
第1章绪论 18Ju]U  
1.1概述 "^;h'  
1.2光学元件质量评价 ^Xu4N"@  
1.2.1表面质量评价 LhM$!o?W  
1.2.2亚表面质量评价 ~P;A 9A(k  
1.3干涉测量基础知识 ;K%/sIIke  
1.3.1干涉原理 Z&P\}mm  
1.3.2典型干涉测量结构 ,|.}6\zl*{  
第2章子子L径拼接轮廓测量 bX`Gv+  
2.1概述 ='m%Iq7X  
2.2圆形子孔径拼接 r9L--#=z  
2.2.1拼接原理 nj0]c`6rN@  
2.2.2拼接算法 B;W%P.<.  
2.3环形子孔径拼接 &ODo7@v`1  
2.3.1孔径划分 3wcFR0f  
2.3.2拼接原理 ?(z"Ub]  
2.3.3拼接算法 m]vV.pwv  
2.4广义子孔径拼接 FouN}X6  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 cUdS{K&K  
2.4.2计算机模拟 R^P>yk8  
2.5子孔径拼接优化算法 ffBd  
2.5.1调整误差分量及其波像差 CH;U_b  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 |r36iUHZS  
2.5.3仿真研究 cO5zg<wF  
2.6测量系统 Ym!e}`A\F  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Kfr1k  
2.6.2实验研究 F*r)  
2.7超大口径拼接检测 _L$a[zH  
2.7.1方案设计 )5gj0#|CG@  
2.7.2拼接算法 Xc}XRKiy{  
2.8小结 X{OWDy  
参考文献 2lOUNxQ$  
第3章接触式轮廓测量 pRL:,q\  
3.1概述 :Jv5Flxl  
3.2测量理论基础 x\f~Gtt7Y  
3.2.1测量原理 Hbd>sS  
3.2.2坐标系和坐标变换 ]dI^ S  
3.2.3检测路径 js@L%1r#L  
3.2.4二次曲面系数研究 +@?'dw  
3.2.5离轴镜测量模型 v+W'0ymbnV  
3.3测量系统 f.+1Ubq!5  
3.3.1测头系统 hh&$xlO)(v  
3.3.2系统设计 
Lhe&  
3.4误差分析 lw.[qP  
3.4.1误差源分类 aekke//y  
3.4.2固有误差
wWiYxBeN  
3.4.3随机调整误差 4OpzGZ4+  
3.4.4接触力诱导误差 M*kE |q/K  
3.4.5高阶像差误差分析 &tvp)B?cWk  
3.5小结 ck5cO-1>6  
参考文献 /lu|FWbEw  
第4章结构光轮廓测量 *4}NLUVX
 
4.1概述 yb?Pyq.D  
4.2基于结构光原理的测量方法 zqXF`MAB=  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 FiUwy/,ZV  
4.2.2相位测量轮廓术 wCruj`$  
4.2.3莫尔测量轮廓术 bvB'
,yBZ  
4.2.4卷积解调法
#S'
uqP!  
4.2.5调制度测量轮廓术 G2)F<Y  
4.3测量系统及其标定 }&e HU  
4.3.1结构光三维测量系统 KvPCb%!ZP  
4.3.2系统参数标定 c {%mi  
4.3.3快速标定方法 }6/M5zF3  
4.4位相展开算法 'ET];iZ2  
4.4.1位相展开的基本原理 kwc Cf2  
4.4.2空间位相展开方法 X )tH23  
4.4.3时间位相展开方法 MK)}zjw  
4.4.4光栅图像采集与预处理 \&;y:4&l8  
4.5测量误差分析 j2UQQFh  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 UGy3B)  
4.5.2非线性误差矫正方法 i\ X3t5  
4.6小结 "g&f:[a/  
参考文献 Y6VJr+Ap(  
第5章亚表面损伤检测 Td'(RV  
5.1概述 nH6SA1$kW  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 `cXLa=B)9  
5.2.1产生机理 jgIG";:Q  
5.2.2表征方法 pka^7OWyN  
5.3亚表面损伤检测技术 pF-_yyQ  
5.3.1破坏性检测 0P9\;!Y  
5.3.2非破坏性检测 O8A1200  
5.4工艺试验 `@],J  
5.4.1亚表面损伤的测量 H/x0'  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 e,_Sj(R8  
5.4.3损伤抑制策略 {/,(F^T>2  
5.5小结 +u0of^}=  
参考文献 xsj,l@Ey  
第6章其他测量技术 ]$r]GVeN}H  
6.1移相干涉测量技术 nLz;L r!  
6.2动态干涉测量技术 Qr$ 7 U6
p  
6.3剪切干涉 RdWn =;  
6.4点衍射干涉 _Fa\y ZX  
6.5白光干涉测量技术 9=MNuV9/s  
6.6外差干涉测量技术 p7;K] AW  
6.7补偿法检测非球面 u0&R*YV  
6.8计算全息法检测非球面 9u{[e"  
参考文献 mnK<5KLg1  
文摘 jsE8=zZs  
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