案例：LED和准分子激光的匀滑和整形

发布：piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读：1792
案例：LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
d6Ht2  
微光学元件的分析和设计
`LrHKb aP  
微透镜阵列		 Y4J3-wK5  
√		 M,j U}yD3  
 +Zb;Vn4  
 w;%.2VJ  
6|gCuT4  
蝇眼聚光镜		 sfpZc7  
√		 k9<;woOBO  
 $jjfC  
 AuvkecuIh  
+KF^Z$I  
衍射扩散器		 &agWaf1%a  
√		 OC_+("N  
 `fA@hK   
√		 V><,UI=,n  
Mer/G2#&  
单元阵列    光栅单元阵列		 ?qmRbDI  
 ;0Q4<F  
√		 wy<\Tg^J  
 C(eTR1  
√
Q$a{\*[:+  
            棱镜单元阵列		 DF&(8NoX~  
 ny]?I  
 9)h"-H;5:  
 wx]0p  
√
~IY%  
            反射镜单元阵列		 G'nmllB`]  
 q}b dxa  
 -Fi`Z$  
 |.(dq^  
√
;o 6lf_  
由DOE产生的光分布
Z]A{ d[  
高帽		 F3y9@dA]  
√		 IY_iB*T3jt  
 #QS`_TlKk  
√		 mu\6z_e  
√
1NbG>E#Ol  
平顶		 a1g,@0s  
√		 C>ICu*PW  
 *1ilkmL%  
√		 t*=CZE-  
√
M  f}~{+  
焦线		 im${3>26  
√		 l z/8  
 U2ohHJ``  
√		 [xbSYu,&  
√
FXpJqlhNv  
二元二维强度分布		 kC:uG0sW  
 O+nEXS\rQ  
 xI{)6t$`  
√		 W 6^5YH%  
√
0B[="rTS7#  
任意二维强度分布		 I~[F|d>  
 @CNi{. RX  
 ,A9]CQ  
√		 q?H|o(  
√
=R^%(Py  
点阵		 zZ:>do\2  
√		 UgRhWV~f0  
 kF3k7,.8&  
√		 e- ~N"  
√
imVo<Je7z(  
点线		 \9.bt:k@OT  
√		 |+{)_?  
 8mCxn@yV  
√		 vXev$x=w-  
√
5v[*:0p'  
整形和匀滑
j9m_jv  
单色LED		 _;W.q7 b]  
√		 t;){D:]k  
 hl;u'_AB  
√		 @Rg/~\K  
√
$&Gu)4'+  
白光LED		 gBd]B03  
√		 R%Hi+#/dr-  
 .7O*pJ2(H  
 f<-Jg  
√
LmRy1T,act  
准分子激光		 jY  &k  
√		 )Fc%+TpKi  
 .[YuRLGz  
√		 H h4WMZJG  
n#mA/H;wV  
常见光束整形推荐使用的工具箱
Y h7rU?Gj  
推荐的工具箱		 .Q<>-3\K  
√		 9U7nKJ+iby  
√		 2v:]tj  
√		 G3C~x.(f  
√
aasoW\UG  
优化
-<6\1J  
局部和全局参数优化		 O8^A5,2@3>  
√		 4d"r^y'  
 /pm]BC  
 rDl*d`He!  
}#3V+X  
使用参数运行的全局优化		 P)"noG_'i  
√		 /Jta^Bj  
 e4-@ f%5  
 FW.7'7G@n  
 JR'  
迭代傅里叶变换算法（IFTA）		 '-QwssE  
 :X"?kK0V  
 8<5]\X  
√		 iky|Tp  
T _r:4JS  
单元阵列设计算法		 U] ~$g}!)  
 JELT ou  
 0Vj4+2?L5;  
 0;hqIJcE:\  
√
`CBZhI%%  
公差仿真
5]~'_V  
高度公差		 2uz W+D6J  
 ~3^ 8>d/  
 >~#yu&*D  
√		 1 Rq,a  
√
LuNc, n%  
掩膜蚀刻深度公差		 >q#rw  
√		 <qtr   
 9 eR-  
√		 w2 ;eh]k  
?:pP8/y  
边缘圆滑模拟		 9"NF/)_  
√		 oxC[F*mD  
 QFE:tBHe  
√		 =FlDb 5t{  
i% w3/m  
对准误差		 2^Eg9y'  
√		 6RG)` bu  
 l#m#c6;=  
√		 >i_ 2OV  
√
?TM ,Q  
波长误差		 Jk&3%^P{m  
 0[A[U_b  
 [\'%?BH(^  
√		 . kQkC:~9  
√
eds o2  
远场和近场分布的变化		 O80<Z#%j`  
√		 ^b/ Z)3  
 g~Z vA(`  
√		 >x/z7v?^I  
√
O&vVv _zh  
由参数运行产生的实验系列		 FI[A[*fi  
√		 ]}*R|1  
 %;cddLQ\xY  
√		 "&%I)e^  
√
^.1)};i  
加工数据的导出
~:0sk"t$1  
GDSII文件		 46$._h P  
√		 uYn_? G  
 dpJ_r>NI  
√		 M:XSQ["6>V  
√
,kF1T,  
CIF文件		 5*E]ETo@R  
√		 5"^en# ?9  
 ?QsQnQ  
√		 gaQdG=G8$  
FFV `P  
位图文件		 ,eOB(?Ku  
√		 hq%?=2'9?  
 t'?.8}?)I&  
√		 kr+D,h01  
0M*Z'n +  
ASCII/.csv文件		 XnDUa3  
√		 |h-QP#]/  
 3cFf#a#  
√		 q_TR q:&.  
√
8?J&`e/  
Point-Cloud文件		 E'G4Y-  
√		 ?!;7:VIE  
 | 1E|hh@k  
√		 #EO9UW5  
.>CPRVuVI  
STL文件		 2#P* ,  
√		 LISM ngQ.  
 nKS7Q1+  
√		 Xp >7iX!:  
,ek_R)&[o  
蚀刻掩膜的计算		 G.rrv  
√		 5Eg1Q YVt  
 ^.KwcXr  
√		 }#.L7SIJ<J  
√
bW$J~ynM  
自定义
K&bzDzd`  
可编程元件		 `Zf^E >)  
√		 Ge2q%  
 I`p+Qt  
 '{E@*T /<.  
s8wmCzB~  
可编程探测器		 18~>ZR  
√		 )#P; x "  
 :ZTc7 }  
 SNfr"2c'h~  
a&tSj35*6  
可编程光源		 5i> $]*o  
√		 GKOD/,  
  5V6G=H  
 D&/kCi=R  
h?rp|uPQ  
MATLAB可编程界面		 y<HO:kZ8`  
√		 ZNf6;%oGG  
 KB%"bqB|  
 _jJPbKz  
U F?H>Y&  
C#可编程界面		 74H)|Dkx  
√		 \Z]UA&v_  
 eCN })An  
 _&N2'hG=sn  
,a gc  
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