等离子体清洗设备的应用
V5KAiG<d g-mK(kY4 p R8EDJ2u# 应用领域： <<(~'$~,L 1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片
I OF~V)8k= • 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片
T7m rOp • 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质
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Gf; • 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石
`h$6MFC/ g • 清洗半导体元件、印刷线路板
\yb^%$hZ0
• 清洗生物芯片、微流控芯片
6#N1 -@ • 清洗沉积凝胶的基片
JC{} iG6r+ j='Ne5X1 2、牙科领域：对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理，增强其浸润性和相容性
PNT.9 *d C,]Q/6'> 3、医用领域：修复学上移植物的表面预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性，医疗器械的消 毒和杀菌
Ul@ZCv+ U,iTURd 4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力
i/O!bq[o )%X\5]w` 5、去除金属材料表面的氧化物
Uvf-h4^J]: ~SM 2W% 6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性
kKE 2~ q XF\`stEnb 7、高分子材料表面修饰
'P@a_*I H=X>o.iVqi W7(OrA! 一、金属表面去油及清洁
}E>2U/wpXY U {>!`RN 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：
)yJe h 2: pq|eiF 1.1灰化表面有机层
>z^T~@m7l －表面会受到化学轰击
ys+?+dY2 －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
l*'8B)vN2 －污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
pKEMp&geo －紫外辐射破坏污染物
q6j]j~JxB 因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。
2d.I3z:[ aE,x>I 7 D 1.2氧化物去除
GmAE!+ " 金属氧化物会与处理气体发生化学反应
C dZ;ZR 这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
d_5h6C z4 TlBLG.-^ 1.3焊接
b17p; wS 通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
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| C12b[ 1.4键合
'c &Bmd40 好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。
<V6#)^Or DN ^ln%# 二、等离子刻蚀
<wE2ly&x $S,Uoh 在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。
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K@~4! 等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。
saRB~[6I `M7 ){ 三、刻蚀和灰化
^f`#8G7 ( -3 W 4 PTFE刻蚀
l }O` cC PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。
i" e) LJz 等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
`J-"S<c?_ ]/$tt@h PTFE混合物的刻蚀
%mcuYR'D} PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
V 9<[v?.\ ~NTpMF 处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
er qm= ) Nc"h8p? 四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁
eM9~&{m. yS3x)) 塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。
O-y"]Wrv • 不需要用溶剂进行预处理
j|[s?YJl • 所有的塑料都能应用
"lz!'~im • 具有环保意义
W6_3f-4g • 占用很小工作空间
Hb]7>[L • 成本低廉
!Uj !Oy 等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等
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(K?[gI CZa9hsM 五、等离子涂镀
k~vmHb L>L4%? 聚合
r+lY9 l 在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况
Y]Fq) - • 防水涂镀—环己物
$ o t"Du • 亲水涂镀---乙烯醋酸
NK4 ven7/ • 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体
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