等离子体清洗设备的应用
oW/H8 q<wY w4&-9[@Y "F fP&lF/ 应用领域： cmLI!"RL e 1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片
SQ`ec95', • 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片
MB5X$ 5it • 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质
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x • 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石
H,1 I z@W1 • 清洗半导体元件、印刷线路板
A%#."2vq~ • 清洗生物芯片、微流控芯片
~!dO2\X+ • 清洗沉积凝胶的基片
k:E+]5 t9kqX(! 2、牙科领域：对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理，增强其浸润性和相容性
4 vPK Dd ?Qh[vcF7` 3、医用领域：修复学上移植物的表面预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性，医疗器械的消 毒和杀菌
+3;[1dpgf Q"{Q]IT 4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力
k$K>ml/h A `=.F 5、去除金属材料表面的氧化物
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B^]j ^$\#aTyFK 6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性
x@"`KiEUs T+<OlXp L 7、高分子材料表面修饰
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Mf nH |G>Lud 6?jSe<4x 一、金属表面去油及清洁
H Ff9^ ,Z]4`9c 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：
Q -S5( " ehYGw2 1.1灰化表面有机层
h`p9H2}0 －表面会受到化学轰击
c"@,|wCUi －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
q0]Z` <w －污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
vJ!<7 l& －紫外辐射破坏污染物
X6c ['Zrc 因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。
y <21~ g= \wo'XF3: 1.2氧化物去除
EPwM+#|e- 金属氧化物会与处理气体发生化学反应
`BZX\LPHm 这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
|zSoA=7? FZhjI 8+,~ 1.3焊接
0_-NE4SM/ 通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
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I 3P2L phW 1.4键合
HvVS<Ke 好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。
})@LvY K cn !Y7LVr 二、等离子刻蚀
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I p^QB^HEV 在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。
)OcG$H NK 等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。
` ]:&h' e!~x-P5M` 三、刻蚀和灰化
rN^P// ~,.}@XlgT. PTFE刻蚀
r6eApKZ>f6 PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。
}7jg>3ng( 等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
%7bZnK`C t{)J#8:g PTFE混合物的刻蚀
BPz lt PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
?rgk )D q/f W 处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
YV0K &d {$mj9?n=v 四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁
j8ebVq *b0f)y3RV 塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。
d4zqLD $A • 不需要用溶剂进行预处理
wm r8[n&c • 所有的塑料都能应用
_~E&?zR2>" • 具有环保意义
C6C7*ks • 占用很小工作空间
O.8{ c; • 成本低廉
7EAkY`Op 等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等
"Aq-H g lE?F Wt 4^O'K;$leD "xV9$m> 五、等离子涂镀
& t\KKsUtd M _z-~G 聚合
)cy_d! 在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况
D 4\T`j: • 防水涂镀—环己物
a~F` {(Q2 • 亲水涂镀---乙烯醋酸
A;A>Q`JJF • 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体
!mX 2 lU<n Wf !Z6GID})p 欢迎大家来电咨询交流,索取详细资料。 jci'q=Vpu
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