等离子体清洗设备的应用
~0[(-4MA +4 3~4_Oj HCCq9u s 应用领域： #;5Q d' 1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片
X|&H2y|*7 • 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片
?:&2iW7z • 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质
_s<s14+od • 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石
"?kDR1=7A • 清洗半导体元件、印刷线路板
KYwUkuw) • 清洗生物芯片、微流控芯片
i8p$wf"aW • 清洗沉积凝胶的基片
: pNS$g[ C]fX=~?bGQ 2、牙科领域：对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理，增强其浸润性和相容性
VFMn"bYOB 1wH6 hN, 3、医用领域：修复学上移植物的表面预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性，医疗器械的消 毒和杀菌
1k^$:' KUq7O a ! 4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力
Onh R` eo@8?>}{X 5、去除金属材料表面的氧化物
/n6ZN4 $|7=$~y 6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增强其表面粘附性、浸润性、相容性
zbr^ul r m 9\"B3sr 7、高分子材料表面修饰
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. z}B 8&*> 一、金属表面去油及清洁
Jt #HbAY gs7_Q 金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：
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`7)^ C rSBN~ 1.1灰化表面有机层
Kv9FqrDj －表面会受到化学轰击
& }0QnO_mj －在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
uMpuS1 －污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
%O f w"W －紫外辐射破坏污染物
OCJt5#e~A 因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。
c5uC?b]. wjZ Q.T! 1.2氧化物去除
ylb)SXBf 金属氧化物会与处理气体发生化学反应
RZKx!X4=q 这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
u!HX`~q+A >8x)\'w 1.3焊接
p|NY.N 通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
.o5K X* C9! FnvH 1.4键合
I{ki))F 好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。
{0n p U;*t5l 二、等离子刻蚀
=tY %` e ]~VuY:abH 在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。
_~{J."q 等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。
){z #Y#]dP )db:jPkwd 三、刻蚀和灰化
Q`6hJgyL $G 6kS@A PTFE刻蚀
k@s<*C PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。
>mp Nn 等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
gm n b r}sO},i PTFE混合物的刻蚀
63_#*6Pv28 PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
%Y0BPTt$ =cb!2%? } 处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
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,?~ 四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁
@o*~\E<T N 3O!8A_ 塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。
It/hXND ` • 不需要用溶剂进行预处理
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32 • 所有的塑料都能应用
'p\&Mc_Gu • 具有环保意义
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KJyk+Y • 占用很小工作空间
KKb7dZbt< • 成本低廉
PFx.uqp 等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等
B2*>7 kc_s 64 'QTF{D auX(d -m ujN~l_ 4 五、等离子涂镀
D| <_96_m YlT&.G 聚合
t9*e" QH 在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况
%.wR@9? • 防水涂镀—环己物
i%F2^R@!q/ • 亲水涂镀---乙烯醋酸
Z__fwv.X[ • 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体
|uz\XK W1 Fhx` 2A =Y 欢迎大家来电咨询交流,索取详细资料。 TuPD5-wB&
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