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    等离子体清洗设备在光学领域的应用! [复制链接]

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    离线lvse9
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2006-08-22
    等离子体清洗设备的应用
    nylIP */  
    5m;wMW<  
    K>~cY%3^i  
    应用领域: ue2nfp  
    1、清洗光学器件、电子元件、激光器件、镀膜基片、芯片 }U1{&4Ph  
      • 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片 4o8HEq!  
      • 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质 -m-WUox4"  
      • 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石 S6:gow(wU  
      • 清洗半导体元件、印刷线路板 tm#y `1-  
      • 清洗生物芯片、微流控芯片 qMj e,Y  
      • 清洗沉积凝胶的基片 5?Ao9Q]@  
    yKy)fn!  
    2、牙科领域:对硅酮压模材料和钛制牙移植物的预处理,增强其浸润性和相容性 {oC69n:  
    P+l^Ep8P  
    3、医用领域:修复学上移植物的表面预处理,增强其浸润性、粘附性和相容性,医疗器械的消 毒和杀菌 G#M]\)f%  
    ~x\ Q\Cxp  
    4、改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力 &3/H P)*<]  
    s8O+&^(U  
    5、去除金属材料表面的氧化物 g9Qxf%}  
    O!yn `< l  
    6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化,增强其表面粘附性、浸润性、相容性 p ;01a  
    oW9rl]+  
    7、高分子材料表面修饰 ZdzGJ[$  
    tHo/uW_~I  
    cjpl_}'L:  
    一、金属表面去油及清洁 YZJP7nN  
    )y Y;%  
    金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果: eW<hC (  
    OH~qJ <  
    1.1灰化表面有机层 =l_"M  
    -表面会受到化学轰击 M:M<bz Vu  
    -在真空和瞬时高温状态下,污染物部分蒸发 ~hX'FV  
    -污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出 9e6{(  
    -紫外辐射破坏污染物 QrA+W\=_`y  
    因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度,所以污染层不能太厚。指纹也适用。 0pz X!f1~  
    7dW&|U  
    1.2氧化物去除 Y5 pNKL  
    金属氧化物会与处理气体发生化学反应 <C xet~x  
    这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟,第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。 hidweg*7  
    j3F=P  
    1.3焊接 o%7yhCY  
    通常,印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除,否则会带来腐蚀等问题。 4h(Hy&1C  
    $*ZHk0 7x  
    1.4键合 9)X<}*(qo  
    好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱,这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的,也需要进行等离子清洁。 #$QY[rf=6  
    .;s4T?j@w  
    二、等离子刻蚀 S?<Qa;  
    #d(r^U#I  
    在等离子刻蚀过程中,通过处理气体的作用,被刻蚀物会变成气相(例如在使用氟气对硅刻蚀时)。处理气体和基体物质被真空泵抽出,表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来(例如半导体行业用铬做覆盖材料)。 6Z=H>w  
    等离子方法也用于刻蚀塑料表面,通过氧气可以灰化填充混合物,同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。 ybkN^OEJ  
    tam/FzVw  
    三、刻蚀和灰化 BW[K/l~"$:  
    ~:Nyv+g,$  
    PTFE刻蚀 aT[7L9Cw  
    PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知,使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力,但是这种方法不容易掌握,同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境,还能达到更好效果。     !ZdUW]  
    等离子结构可以使表面最大化,同时在表面形成一个活性层,这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。 d_hcv|%  
          i{0_}"B  
    PTFE混合物的刻蚀 $T0[  
    PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行,以免填充物被过度暴露,从而削弱粘合力。 o~ed0>D-LS  
          9NAlgET  
    处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 -t?G8,,  
    6;DPGx  
    四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁 >kT~X ,o  
    [5-5tipvWp  
    塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的,因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时,玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面,不会产生有毒烟气,中空和带缝隙的样品也可以处理。 gw^+[}U#  
    • 不需要用溶剂进行预处理 @YELqUb*  
    • 所有的塑料都能应用 MN4}y5  
    • 具有环保意义 Y#,MFEd  
    • 占用很小工作空间 ualtIHXK)  
    • 成本低廉 O'(vs"eN  
    等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证,处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理(大于15分钟),材料表面不但被活化还会被刻蚀,刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等 1g+<`1=KT  
    4{pa`o3  
    9OBPFF  
    -D(!B56_  
    五、等离子涂镀 /j As`"U  
    5[k35 c{  
    聚合 ?9cy5z[  
    在涂镀中两种气体同时进入反应舱,气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成,应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄,通常为几个微米,此时表面的亲和力非常好。 常用的有3种情况 C/=ZNl9"fn  
    • 防水涂镀—环己物 511q\w M  
    • 亲水涂镀---乙烯醋酸 `1gsrHi4N  
    • 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体 U$}]zaB  
    y-mmc}B>N  
    7_,X9^z  
    欢迎大家来电咨询交流,索取详细资料。 OJaU,vQ#  
    PVA公司北京办事处 "-sz7}Mb  
    010-65814049转8005 ;a"Ukh  
    chendashan@gerchin.com
     
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    离线lvse9
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    只看该作者 1楼 发表于: 2006-08-30
    自己顶一下
    离线lvse9
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    只看该作者 2楼 发表于: 2006-11-06
    电话是010-65814078转205,上面电话改了
    离线yzq2002ok
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-01-19
    谢谢,值得学习一下!
    离线zuiyuan
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-03-13
    呵呵,值得学习一下啊
    离线gaofei555
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    只看该作者 5楼 发表于: 2024-09-13
    非常好