切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1765阅读
    • 0回复

    [书籍]微光学和纳米光学制造技术 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线cyqdesign
     
    发帖
    23623
    光币
    61744
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-09-29
    关键词: 光学纳米制造
    《国际信息工程先进技术译丛:微光学纳米光学制造技术》详细介绍了微光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺,重点强调了关键性的专业技巧,提供了最新的技术信息,内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维(3D)光子晶体的制造——钨成型法。 WQ4:='(  
    《国际信息工程先进技术译丛:微光学和纳米光学制造技术》参编作者都是微纳米光学制造技术领域的专家,代表了当今微光学加工的领先水平。可供光电子领域从事光学仪器设计、光学设计和光机结构设计(尤其是从事光学成像理论、微纳米光学研究)的工程师使用,也可以作为大专院校相关专业本科生、研究生和教师的参考书。 ^.jIus5  
    y|V/xm+Fp  
    g<oSTA w  
    定价:¥ 66.00 {/12.y=)~  
    优惠价格:¥ 49.50 可以享受免费送货,货到付款。 sJtz{'  
    msg&~" Z  
    l){l*~5zl2  
    7(na?Z$  
    本帖为实体书购买信息推荐,暂无电子文档! FX)g\=ov  
    OtJYr1:y_  
    目录 +#O?a`f  
    译者序 cX"[#Em#  
    前言 HB`u@9le  
    第1章面浮雕衍射光学元件 F>&Q5Kl R  
    1.1制造方法 C/%umazP9  
    1.2周期和波长 6 grJoim|  
    1.3光栅形状 A:[La#h|p  
    1.4深度优化 a_'W1ek-@  
    1.5错位失对准 [~?LOH  
    1.6边缘圆形化 Jis{k$4  
    1.7几何形状偏离引起形状双折射光栅相位响应的变化 Rj9ME,u  
    1.8表面纹理结构 =UA-&x@  
    1.9熔凝石英表面的纹理结构 {'G@-+K  
    1.10太阳电池的表面纹理结构 /78gXHv  
    1.11 8阶熔凝石英DOE样片的制造方法 VcIsAK".4[  
    1.12成形金属基准层的制造工艺 T=: &W3  
    1.13转印成形和第一层掩模板的刻蚀 x_{ua0BLDf  
    1.14转印成形和第二层掩模板的刻蚀 MzYTEe&-L  
    1.15转印成形和第三层掩模板的刻蚀 N!m-gymmF  
    致谢 IJO`"da  
    参考文献 bG67TWY)  
    第2章微光学等离子体刻蚀加工技术 L+bO X  
    2.1概述和回顾 t`+x5*g W  
    2.2基本的刻蚀处理技术 %yJL-6U  
    2.3玻璃类材料的刻蚀工艺 9+h9]T:9  
    2.4硅材料微光学结构的刻蚀 Ps Qq ^/  
    2.5具有灰度微光学结构的Ⅲ-V族材料的刻蚀工艺 3Gf^IV-  
    2.6 GaN、SiC和Al2O3刻蚀微光学元件 VkhZt7]K}B  
    2.7Ⅱ-Ⅵ族材料ZnSe和宽光谱ZnS的刻蚀工艺 ukv _bw  
    2.7.1 ZnSe和ZnS光学元件的应用 No<2+E!  
    2.8红外刻蚀材料——红外玻璃IG6 +[`N|x<  
    2.8.1 IG6玻璃刻蚀工艺 01 6l$K4  
    2.9非反应光学材料刻蚀微光学元件的工艺 , %mTKOs  
    2.9.1高斯光束均质器和MLA的灰度加工技术 lYT}Nc4"="  
    致谢 vlIet$ k  
    参考文献 qfvd( w  
    第3章使用相位光栅掩模板的模拟光刻术 akgXI^K  
    3.1概述 r vVU5zA4H  
    3.2相位掩模技术 6 +^V  
    3.3光学元件的设计和制造 A2 qus$  
    3.3.1光致抗蚀剂的性质 *fW&-ic  
    3.3.2相位掩模的设计 e"hm|'  
    3.3.3微光学光致抗蚀剂处理工艺 jJ?MT#v  
    3.4轴对称元件的设计和制造 nVw]0Yl  
    3.5结论 wKe^5|Rr  
    参考文献 UP 1Y3  
    第4章光学器件的电子束纳米光刻制造技术 &D[dDUdHs  
    4.1概述 a+szA};  
    4.2电子束光刻术 yEtI5Qk  
    4.2.1电子束光刻术发展史 m7z/@b[  
    4.2.2电子束光刻系统 ,W5pe#n  
    4.2.3电子束光刻技术 t*zve,?}  
    4.3特殊材料光学器件的纳米制造技术 cQzd0X  
    4.3.1回顾 |OF<=GGO+  
    4.3.2硅 aoz+g,1 //  
    4.3.3砷化镓 ;gy_Qf2U  
    4.3.4熔凝石英 6Bmv1n[X^h  
    4.4光学器件加工实例 HI#}M|4n  
    4.4.1熔凝石英自电光效应器件 "w= p@/C  
    4.4.2熔凝石英微偏振器 NS-u,5Jt  
    4.4.3砷化镓双折射波片 ~xGWL%og  
    4.5结论 EK_NN<So#  
    致谢 G%;XJsFGp  
    参考文献 @jN!j*Y H  
    第5章纳米压印光刻技术和器件应用 KCq qwGM  
    5.1概述 5*[zIKdt2  
    5.2压印图形化和压印光刻术的发展史 l Vo](#W  
    5.3纳米压印光刻术的相关概念 huWUd)Po%  
    5.3.1纳米压印组件和工艺 +VDwDJ)lG  
    5.3.2纳米压印设备 d"Y9go"Z  
    5.4商业化器件的应用 -WE pBt7*  
    5.4.1通信用近红外偏振器 m/=,O_  
    5.4.2投影显示用可见光偏振器 (k6=o';y  
    5.4.3光学读取装置的光学波片(CD\DVD) 4o9#B:N]J  
    5.4.4高亮度发光二极管 35) ]R`f  
    5.4.5微光学(微透镜阵列)和衍射光学元件 Hlp!6\gukp  
    5.4.6多层集成光学元件 eT[ ,k[#q  
    5.4.7分子电子学存储器 s!nFc{  
    5.4.8光学和磁数据存储 :m_0WT  
    5.5结论 ]2QZ47  
    致谢 PkF B.  
    参考文献 63UAN0K%  
    第6章平面光子晶体的设计和制造 >wej1#\3  
    6.1概述 ?(*KQ#d  
    6.2光子晶体学基础知识 hZY+dHa]  
    6.2.1晶体学术语 ?'P8H^K6u  
    6.2.2晶格类型 )AXTi4MNp  
    6.2.3计算方法 /8q7pwV  
    6.3原型平面光子晶体 7n,nODbJ  
    6.3.1电子束光刻工艺 -9}]J\  
    6.3.2普通硅刻蚀技术 ^>h 9<  
    6.3.3时间复用刻蚀 GuQ3$B3j  
    6.3.4先进的硅微成形刻蚀工艺 eqD%Qdx  
    6.4基于色散特性的平面光子晶体 P-K\)65{Y  
    6.4.1平面光子晶体结构中的色散波导 FgE6j;   
    6.4.2负折射 ,8;;#XR3  
    6.5未来应用前景  ,@R~y  
    参考文献 ?=_l=dR  
    第7章三维(3D)光子晶体的制造——钨成型法 <\8dh(>  
    7.1对称性、拓扑性和PBG vpv PRwJ  
    7.2金属光子晶体 & oZI. Qeo  
    7.3金属结构的可加工性  h#^IT  
    7.4三维光子晶体的制造 +I/7eIG?|  
    7.5胶体模板法 Y gQ_P4B;  
    7.6微光刻工艺 !vr">@}K  
    7.7利用“模压”技术制造光子晶体 RSG4A>%!mI  
    7.8膜层应力 Mto3Ryic!  
    7.9对准 mJc'oG-  
    7.10表面粗糙度 o(]kI?`  
    7.11侧壁轮廓 r9%4q4D?>9  
    7.12释放刻蚀 _T6WA&;8  
    7.13测量方法、测试工具和失效模式 W~.1f1)  
    7.14结论 BEg%u)"([  
    致谢 W |G(x8  
    参考文献
     
    低投入,高展示!—— 光行天下2020年广告位开始预订!
    联系方式 → QQ:9652202  微信号:cyqdesign
    分享到
    快速回复
    限100 字节
    1.发帖,回帖请文明用语;2.切勿灌水,切忌多版面重复发贴;3.打击非法内容,病毒,虚假广告.
     
    上一个 下一个