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    [讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

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    离线phoenixzqy
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2012-02-14
    在原有光刻物镜专利的基础上，对物镜进行了简化和修改，留出了添加反射镜的空间，实现了光路的折叠。
     
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 1楼 发表于: 2012-02-14
    帮一学生做的光路模拟。
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 2楼 发表于: 2012-03-27
    双远心光路！
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    离线hoxomo
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    只看该作者 3楼 发表于: 2012-08-31
    4:1的？
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 4楼 发表于: 2012-08-31
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:4:1的？(2012-08-31 17:47)嬀/color] 'FM_5`&  
    h4E[\<?  
    差不多。从图上能看出来的。
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 5楼 发表于: 2012-09-27
    欢迎交流 合作
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    离线hoxomo
    助理工程师
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    只看该作者 6楼 发表于: 2012-09-28
    NA 多少？ .R _-$/ZP  
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    离线phoenixzqy
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    只看该作者 7楼 发表于: 2012-09-28
    回 hoxomo 的帖子
    hoxomo:NA 多少？ `|e3OCU  
    (2012-09-28 15:57)嬀/color] wqAj=1M\  
    1Wb_>`;  
    专利未修改之前，NA不到0.1； ;` ! j~  
    p* tAwl  
    图中这个系统的设计要求是0.03~0.04.。
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    离线ilyhairpin
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    只看该作者 8楼 发表于: 2012-09-30
    貌似很复杂
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    离线ilyhairpin
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    只看该作者 9楼 发表于: 2012-09-30
    貌似很复杂哎
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