[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] T{.pM4Hd  

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欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ C=L>zOZ  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ 5oW!YJg  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ G#q@v(_b  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ i4Q@K,$  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  KEo,m  

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像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf y{B=-\O]  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 7?!d^$B  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf */5d>04  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 4B8oO  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] f <Zxz9  

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W,aN)1)  
感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  ^'MT0j  

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学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了