[讨论]折叠式光刻物镜 [复制链接]

看看了

bruce45:看看了(2013-02-04 12:12)嬀/color] ~hZr1hT6L  

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欢迎讨论！

请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ .GSK!
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您的设计指标中 对像质是如何要求的？ >"q?P^f/  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？

darkwzj:请问 您主要从哪些方面来评价像质的呢？ 2@!B;6*8q  
您的设计指标中 对像质是如何要求的？ #0:rBKm,  
另外NA不到0.1是指物方的么？还是像方？ (2013-04-17 20:43)  I_Omv{&u  

}OqP`B  
像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf   或者可以看一下psf -Rwx`=6tV  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 XFv^jSF  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了

phoenixzqy:像质的评价标准就那么几个。点列图 mtf 或者可以看一下psf -56gg^Pnr  
这个系统时要做到衍射极限的，看点列图没太大意义。看mtf和衍射极限就行了。 ;u=%Vn"2a  
na我也记不清楚是哪方的了。很早之前做的了(2013-04-17 20:48)嬀/color] @p@b6iLpO  

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感谢回答~

darkwzj:感谢回答~ (2013-04-17 21:29)  3#Iq5vT  

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客气 常交流

学习学习~

瞎搞的，帮一个学生做的。

学习下，谢谢        

好帖子，学习了