光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 L{&>,ww
一、真空腔室内部及各部件的清理 ~x7 CI
1.腔室内部防护板 $DXO7;#
周期：每月清理一次 2vTO>* t
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 k%3)J"|/
2.离子源清洗 6f2?)jOW^N
周期：50~100小时 Qs '_\|/-
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） B(WmJ6e
B.各个零件进行喷砂，其中： yAAV,?:o[
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 4E2#krE%
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 o}DR p4;Ka
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 mPU}]1*p
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 n }b{u@$
3.真空计清理 Nw9@ E R
周期：六个月清理一次 eR4ib-nS
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 p>,D F9 W`
4.冷泵再生
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周期：一个月 #|K{txC
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二、各计量部件校准 ~/X8Hy!-
1、真空计 +oh |r'~
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 [n2zd iiBd
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） &\I<j\F2/
A.光源性能检查 #K0/ >W
周期：50小时一次 <THw l/a
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 +m]-)
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 o{>4PZ}=g
B.光学监控系统的稳定性 #1%ahPhR+
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 wK0x\V6dJ
检查条件： (a0(ZOKH
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 4qQE9f xdY
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ~;jgl_5?b
③测定波长：550nm Auc&dp W
C.波长精确度及再现性 V@]SKbK}wN
周期：2年一次 )u+O~Y95&i
合格标准 "f8,9@
波长精确度 ±1.0 nm Rz&`L8B z
波长再现度 ±0.25 nm
