光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 i?|b:lcV
一、真空腔室内部及各部件的清理 8o[+>W
1.腔室内部防护板 JwcC9
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周期：每月清理一次 !&5B&w{u~!
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 4 |xQQ v
2.离子源清洗 "In$|A\?E
周期：50~100小时 vz`r
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A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） !=(M P:
B.各个零件进行喷砂，其中： >on' y+
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 a'B 5m]%
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 I_On0@%T5b
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间
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E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 HOlMj!.
3.真空计清理 77~l~EX
周期：六个月清理一次 TPWqiA?3Cp
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 *" ,"u ;&
4.冷泵再生 :hUt7/3c
周期：一个月 lBfG#\rdW~
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二、各计量部件校准 l5,}yTUta
1、真空计 a~O](/+p;
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 &-4SA j
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） +y|H#(wBP
A.光源性能检查 A.(xa+z?
周期：50小时一次 8u bb~ B;
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 mKhlYV n
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 b'Tk Ya^
B.光学监控系统的稳定性 v#Y9O6g]T
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 +B-;.]L
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检查条件： ]6TX ) 1
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 n%}Vd
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②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 i`HXBq!|w
③测定波长：550nm \[;Qq n0
C.波长精确度及再现性 Q>[GD(8k
周期：2年一次 ,?Nc\Q<:
合格标准 O5 ?3 nYHa
波长精确度 ±1.0 nm Wf!<Qot|R#
波长再现度 ±0.25 nm
