光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 Oc~<`C~
一、真空腔室内部及各部件的清理 %N\45nYU:
1.腔室内部防护板 ~A/v P-
周期：每月清理一次 oeVI 6-_S
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 1.2qh"#
2.离子源清洗 DbI)tDi 5D
周期：50~100小时 R74RJi&
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ) fuAdG
B.各个零件进行喷砂，其中： j`u2\ ;
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 s z7<u|
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 z/o&r`no
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 !y1qd
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 o|KmKC n>
3.真空计清理 HlxgJw~<
周期：六个月清理一次 @ uL4'@Ej
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 !9S!zRy@
4.冷泵再生 _y [B/C,q
周期：一个月 /z1-4:^`A[
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二、各计量部件校准 Zh:@A Fz:R
1、真空计 0d ,& )
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 7?Twh s.O
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ;|vn;s/
A.光源性能检查 pr \OjpvD
周期：50小时一次 .A6Jj4`-
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 avMre_@V
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 8(@(G_skp
B.光学监控系统的稳定性 XJ1<!tl
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Ap(>mUs!i
检查条件： d r=h;[Q'
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ibuoq X`
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 %c &< {D}r
③测定波长：550nm & ~N@M!`Dn
C.波长精确度及再现性 $gcC}tX
周期：2年一次 3AC/;WB9
合格标准 8Dc'"3+6
波长精确度 ±1.0 nm "&TN}SBW
波长再现度 ±0.25 nm
