光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 O,.!2wVrN
一、真空腔室内部及各部件的清理
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1.腔室内部防护板 @WKzX 41'
周期：每月清理一次 LA[g(i 7
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Cbs5dn(Y
2.离子源清洗 J4Y Bq p
周期：50~100小时 ( 7DXRcr<
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） "+uN mUUnm
B.各个零件进行喷砂，其中： ;;)`c/$
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 -ti{6:H8
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 -!({B H-M_
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 1J? dK|% b
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 L Z~"VV^
3.真空计清理 &J !aw
周期：六个月清理一次 | / }\6L]
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 c={Ft* N
4.冷泵再生 !JBae2Z
周期：一个月 LC0d/ hM
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二、各计量部件校准 RB?V7 uX
1、真空计 %5\3Aw
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Yif *"oO
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） \VSATL:]
A.光源性能检查 ~l~Tk6E M
周期：50小时一次 [\ Qr. 2
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ai*b:Q
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 tU/k-W3X
B.光学监控系统的稳定性 $t-n'Qh^2
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 (3dPL p:K
检查条件： ueG|*[
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 ~}DQT>7$
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 *U l*%!?D
③测定波长：550nm S|B$c E
C.波长精确度及再现性 bY~@}gC**@
周期：2年一次 ,DnYtIERo
合格标准 4@ ;-%H&7
波长精确度 ±1.0 nm P;]F=m+ *V
波长再现度 ±0.25 nm
