光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 chcbd
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一、真空腔室内部及各部件的清理 o1-m1 <ft
1.腔室内部防护板 fV &KM*W*@
周期：每月清理一次 oiF}?:7Q7
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 xHUsFm s
2.离子源清洗 gQ o]
周期：50~100小时 O!m vJD
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） t9,\Hdo
B.各个零件进行喷砂，其中： Ee)T1 ~;W
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 #^`4DhQ/
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C超声清洗，丙酮、酒精各一次 o9| nJ;
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 J ][T"K
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟
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3.真空计清理 q
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周期：六个月清理一次 G<At_YS
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 Uddr~2%(
4.冷泵再生 Q}1 R5@7
周期：一个月 -(~.6WnhS
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二、各计量部件校准 FK:;e
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1、真空计 cGtO
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清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 O- ew%@_
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） WB?jRYp
A.光源性能检查 NE"@Bk
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周期：50小时一次 9 8j>1 "8
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 x^HGVWw_
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 tR}MrM
B.光学监控系统的稳定性 8J=? 5
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 "8c@sHk(w
检查条件： &qMPq->
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 )jU)_To
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 u5O+1sZ"6
③测定波长：550nm a; rdQ>
C.波长精确度及再现性 W,4QzcQR
周期：2年一次 yL%K4$z
合格标准 QP@%(]f G
波长精确度 ±1.0 nm jq-p;-i
波长再现度 ±0.25 nm
