光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 9 {}1r2xW
一、真空腔室内部及各部件的清理 XZJ+h,f
1.腔室内部防护板 _$f9]bab
周期：每月清理一次 {Jx4xpvPo
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 *R3f{/DK
2.离子源清洗 Y"Ql!5=
周期：50~100小时 zG9Y!SY\-
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 7J|VD#DE$Y
B.各个零件进行喷砂，其中： 5ish\"
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Zh*u(rO
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 pN9A{v(
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 }!/$M\w
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Bj}^\Pc;}
3.真空计清理 }_;!hdY q
周期：六个月清理一次 1Q4}'0U4
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 ZAUQJS 91E
4.冷泵再生 dd%h67J2<
周期：一个月 N:tY":Hi
ks97k8B
二、各计量部件校准 ~r$jza~o(
1、真空计 rEv*)W
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 :l&V]}:7*
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 9Xl5@%uz?z
A.光源性能检查 _~tEw.fM5
周期：50小时一次 C,NxE5?h
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 w'fT=v)
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 uN^=<B?B
B.光学监控系统的稳定性 Q~Hh\L t
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 CQr<N w
检查条件： 199]W Hc
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 (_*5oj -
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 f7 ~9|w&
③测定波长：550nm mp?78_I)
C.波长精确度及再现性 pY~,(s|Qb
周期：2年一次 w T Gb d
合格标准 +s x 8t
波长精确度 ±1.0 nm n?ctLbg
波长再现度 ±0.25 nm
