光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 rO]7 g
一、真空腔室内部及各部件的清理 O2|[g8(_F
1.腔室内部防护板 |wASeZMO2
周期：每月清理一次 \Kph?l9Ww
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 `I(#.*
2.离子源清洗 sd;J(<Ofh
周期：50~100小时 {shf\pm!o
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） MS~c
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B.各个零件进行喷砂，其中： 8}/v[8 p
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Wq_#46P-
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 0h~Iua5
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 " gB.
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 N =J$+
3.真空计清理 ]Mu
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周期：六个月清理一次 v:*t5M
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拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 $d1+ d;Mn
4.冷泵再生 HZB U?{
周期：一个月 ! 6kLL
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二、各计量部件校准 t:tT Zh
1、真空计 t?NB#/#%x
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 ~]HeoQK
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 0MK|spc
A.光源性能检查 $dAQ'\f7
周期：50小时一次 C:qb-10|A
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 i{8T 8
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 s; 'XX}Y
B.光学监控系统的稳定性 #%CbZw@hJ9
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ^dB~#A1
检查条件： G[4TT#
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 {C>.fg% t
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 t+'|&b][Qi
③测定波长：550nm TrxZS_
C.波长精确度及再现性 K!/"&RjW.
周期：2年一次 AV0m31b
合格标准 h^F^|WT$
波长精确度 ±1.0 nm Ekx 3GM_]
波长再现度 ±0.25 nm
