光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 oBr/CW
一、真空腔室内部及各部件的清理 1@C0c%
1.腔室内部防护板 u=feR0|8
周期：每月清理一次 a3
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先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 "P=OpFV
2.离子源清洗 _*1/4^
周期：50~100小时 Uu{I4ls6B
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 'D8WNZ8Q
B.各个零件进行喷砂，其中： Y25S:XHk9
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 IpmblC4
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 Qj? +R F6(
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 _ni Xl&C
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 |jV >
3.真空计清理 a|`Pg 1j#
周期：六个月清理一次 3(':4Tas
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 &IM;Yl
4.冷泵再生 nnX,_5s
周期：一个月 v2:A 4Pd:+
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二、各计量部件校准 [k.|iCD
1、真空计 9hEIf,\
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 xSZgQF~
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） v!T %xUb0
A.光源性能检查 2e zQX2q
周期：50小时一次 <\GP\G
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 7y:%^sl
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 *SQ hXTn
B.光学监控系统的稳定性 '5.n2 8W>
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 "qUUH4mR`
检查条件： |GtTz&
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 t \E#8
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 tw U^ewO&
③测定波长：550nm -`gqA%#+
C.波长精确度及再现性 D ::),,
周期：2年一次 Juj"cjob
合格标准 `;4P?!WG
波长精确度 ±1.0 nm abkl)X>k
波长再现度 ±0.25 nm
