光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 U>Is mF>m
一、真空腔室内部及各部件的清理 ]V f p,"op
1.腔室内部防护板 ,! SbH
周期：每月清理一次 6n:X
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先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 Z=hn }QY.(
2.离子源清洗 !d0$cF ):
周期：50~100小时 2SC'Z>A
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ]Y
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B.各个零件进行喷砂，其中： [:,|g;=Y}
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 K[SzE{5=P
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 d+M ogku2
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 &WCVdZK:
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 / /G&= i$
3.真空计清理 ^`-Hg= d
周期：六个月清理一次 _2k<MiqCD[
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 6o#J
4.冷泵再生 qoan<z7
周期：一个月 IL Nghtm-
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二、各计量部件校准 Wb FCj0
1、真空计 v&sp;%I6 =
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 4&]NC2I
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） YC{7;=P f
A.光源性能检查 C _W ]3
周期：50小时一次 j%vxCs>
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ,g P;XRe1
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 aF=;v*
B.光学监控系统的稳定性 WUDXx %
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 5W{|? l{
检查条件： 1 ^Q!EV
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 TR?jT
U
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 M c
③测定波长：550nm G*v,-O
C.波长精确度及再现性 4!glgEE*
周期：2年一次 Y\H4.$V
合格标准 EU5(s* A
波长精确度 ±1.0 nm =0@ o(#gM
波长再现度 ±0.25 nm
