光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 <9-tA\`8N
一、真空腔室内部及各部件的清理 tn qW!F~
1.腔室内部防护板 ERL(>)
周期：每月清理一次 y[q W>
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 meR%);\
2.离子源清洗 s .^9;%@$J
周期：50~100小时 ':[+UUC@
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） v0X5`V V
B.各个零件进行喷砂，其中： vb: '%^v
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ,!kyrk6
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 6BW- AZc
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 )_+"
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 Y~=5umNSX
3.真空计清理 y>2v 9;Qp
周期：六个月清理一次 [lS'GszA
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 M(Jf&h4b
4.冷泵再生 PZLW yp
周期：一个月 AEPgQ9#E
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二、各计量部件校准 }y|% wym
1、真空计 )t&|oQ3sVG
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 cWFv YF
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ;oh88,*'
A.光源性能检查 QI= SR
周期：50小时一次 ,-] JCcH
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 -# <,i '
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 sf\;|`}
B.光学监控系统的稳定性 ~l6e&J
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 }E>2U/wpXY
检查条件： Vz 5:73
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 54uTu2
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 H/)=
③测定波长：550nm ,)]ZD H
C.波长精确度及再现性 EXa6"D
周期：2年一次 8>pFpS
合格标准 [FiXsYb.8
波长精确度 ±1.0 nm KN}[N+ V>
波长再现度 ±0.25 nm
