光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 J& }/Xw)
一、真空腔室内部及各部件的清理 ?P[uf
1.腔室内部防护板 fk4 s19;?
周期：每月清理一次 ~U`o ew
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 D8N}*4S
2.离子源清洗 ZzLmsTtzIu
周期：50~100小时 1a 3rA
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ,wE]:|`qJ
B.各个零件进行喷砂，其中： ^RytBwzKM
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 Z`nHpmNM
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 R%o:'-~
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 <jF]SN
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 kA?a}
3.真空计清理 |n=m{JX \m
周期：六个月清理一次 IW3ZHmrpA
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 OiNzN.}d
4.冷泵再生 X u`c_
周期：一个月 Zpg/T K
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二、各计量部件校准 'gk.J
1、真空计 ,ii*[{ X?
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 Sj;B1 &
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） w*<XPBi
A.光源性能检查 lxy_O0n
周期：50小时一次 F<q'ivj:w
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 i`/_^Fndyu
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 IY 6DZP
B.光学监控系统的稳定性 ;hGC.}X
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 PE3FuJGz
检查条件： 7l> |G,[c
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 qPZ'n=+
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 }]_/:KUt
③测定波长：550nm >_P7 k5Y^
C.波长精确度及再现性 4s nL((
周期：2年一次 zbK=yOIOd
合格标准 k\$)) <3
波长精确度 ±1.0 nm w2!G"oD
波长再现度 ±0.25 nm
