光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 ,S:g 5n >M
一、真空腔室内部及各部件的清理 fph*|T&R
1.腔室内部防护板 |6"zIHvtc
周期：每月清理一次 0#G&8*FMN
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 q,^^c1f
2.离子源清洗 3Q ~ng2Wv%
周期：50~100小时 4B-v\3Ff
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书）
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B.各个零件进行喷砂，其中： /AjGj*O
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ,X+mXtg.
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 wB? ;3lTS
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 JdfjOlEb
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ] 5YG*sD4
3.真空计清理 KFLIO>hE
周期：六个月清理一次 [j eZZB
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 )e4nKh],
4.冷泵再生 or]8;eQ?
周期：一个月 r_-iOxt~5
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二、各计量部件校准 ?X]7jH<iw;
1、真空计 U:#9!J?41
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 1
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2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Sl
A.光源性能检查 )`,3/i9C$
周期：50小时一次 @Ej{sC!0T
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 9H" u\t|?
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Fj7cI +
B.光学监控系统的稳定性 SH<Nt[8C
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 elJLTG
检查条件： &f|LjpMCf
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 L@ql)Lc);
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ORA +>
③测定波长：550nm S$=])^ dur
C.波长精确度及再现性 +'N?`l6<
周期：2年一次 <n vz*s
合格标准 ql2>C.k3L
波长精确度 ±1.0 nm {Tm31f(oD
波长再现度 ±0.25 nm
