光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 5P=3.Mk
一、真空腔室内部及各部件的清理 !h\.w9o[
1.腔室内部防护板 xz!b@5DR'%
周期：每月清理一次 ^ d2#J
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 7.V'T=@x3)
2.离子源清洗 8%C7!l q
周期：50~100小时 @PH`Wn#S
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ]Rah,4?9f
B.各个零件进行喷砂，其中： J+hiz3N
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 5q<cZ)v#&
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 +f h@m
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D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 `" BFvF#
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 T!-*; yu
3.真空计清理 X/< zxM
周期：六个月清理一次 b$7p`Ay
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 c~1+5&
4.冷泵再生 )Z4ilpU,
周期：一个月 ^qB
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二、各计量部件校准 &6 ymGo
1、真空计 2HA-q),6
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 HpbSf1VvAf
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） W4MU^``
A.光源性能检查 h2k"iO }
周期：50小时一次 80(Olf@PE
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 Ax"]+pb
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ^"lVTDsU
B.光学监控系统的稳定性 dnEIR5%+.
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 S10"yhn(-t
检查条件： YK xk O
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 sd5% S zx
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 A W{"9f4
③测定波长：550nm G5Mo IC
C.波长精确度及再现性 =()Vrk|uK
周期：2年一次 }4Q~ <2
合格标准 |DUWB;
波长精确度 ±1.0 nm c{"=p8 F_
波长再现度 ±0.25 nm
