光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 dJ?XPo"Cm=
一、真空腔室内部及各部件的清理 L,; D@Xi
1.腔室内部防护板 bqQq=SO
周期：每月清理一次 yz2Ci0Dwy
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 !gnj]k&/c
2.离子源清洗 <5=JE*s$NS
周期：50~100小时 e|4&b@
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） O iDhJ
B.各个零件进行喷砂，其中： 1N2,mo?2
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 4d:{HLX,
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 #.[AK_S5&
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 76.{ 0 c
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 D#S\!>m
3.真空计清理 ,
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周期：六个月清理一次 Ap{}^
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可
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4.冷泵再生 & _5tqh
周期：一个月 4 g.
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二、各计量部件校准 y0~Ia :y
1、真空计 #"fJa:IYG7
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 {G*A.$-d
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） (Toq^+`c
A.光源性能检查 *)]"27^
周期：50小时一次 )6~1 ^tD
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ; v
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 j]0^y}5f+s
B.光学监控系统的稳定性 >!6i3E^
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 W0jZOP5_.$
检查条件： fri0Xx F
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 4 (l?uU$
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 u9=SpgB#
③测定波长：550nm l<(Y_PE:
C.波长精确度及再现性 {2`=qt2
周期：2年一次 <\zCpkZ'B
合格标准 97!>%d [0
波长精确度 ±1.0 nm B5X sGLV
波长再现度 ±0.25 nm
