光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 >J ,y1jzJ
一、真空腔室内部及各部件的清理 Yv ZcG3@c3
1.腔室内部防护板 ^oYu db^%
周期：每月清理一次 p81Vt
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 <yw(7
2.离子源清洗 MeMSF8zS Q
周期：50~100小时 E
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A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） U,e'vS{
B.各个零件进行喷砂，其中： (m% A>e
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ~P;KO40K
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 &w7Ev21
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 6X`i*T$.
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 r>Rm=eKJ
3.真空计清理 :y% CP8
周期：六个月清理一次 " s3eO
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 mNDz|Ln
4.冷泵再生 6xq/
周期：一个月 R m^ $Dn
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二、各计量部件校准 H)VzPe# {
1、真空计 'wm :Xa
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 &up M,Jsr*
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） s.qo/o\b
A.光源性能检查 6! .nj3$*
周期：50小时一次 yuA+YZ
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 1
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2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 wR]jJ b F
B.光学监控系统的稳定性 YRRs bm{
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 TpIx!R9
检查条件： r)xkpa5
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 O}w"@gO@.
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 mMSQW 6~j
③测定波长：550nm 9?J
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C.波长精确度及再现性 tkj QSz
周期：2年一次 E 8LA+dKN:
合格标准 *3Qw mom
波长精确度 ±1.0 nm R.'-jvO
波长再现度 ±0.25 nm
