光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 I9>1WT<Yy
一、真空腔室内部及各部件的清理 ZB ~D_S
1.腔室内部防护板 pOH_ CXw
周期：每月清理一次 2^qY, d L
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 N@j|I* y|
2.离子源清洗 NsJUruN
周期：50~100小时 )*s.AFu]7x
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） n$b/@hp$z
B.各个零件进行喷砂，其中： 1YM04*H
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 /ebYk-c
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 vZXyc *
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 ^$x^JM ]/
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 _/MKU!\l
3.真空计清理 z@iY(;Qo
周期：六个月清理一次 >Y{.)QS
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 T+2?u.{I
4.冷泵再生 *5|\if\
周期：一个月 rcQ?E=V2O
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二、各计量部件校准 OkFq>;{a
1、真空计 bLNQ%=FjO
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 2V F|T 'h
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） y'E)iI*
A.光源性能检查 "$Rl9(}
周期：50小时一次 QZ{:#iuig
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 L2K4nTA
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 Txw,B2e)>
B.光学监控系统的稳定性 *M KVm)Iv
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ,L_p"A
检查条件： P7@q v g
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 m0\(a_0V
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 9`c :sop
③测定波长：550nm m'429E]\S
C.波长精确度及再现性 zHu:Ec7
周期：2年一次
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合格标准 LX w&d]P
波长精确度 ±1.0 nm R$w=+%F
波长再现度 ±0.25 nm
