光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 {( wHPzq
一、真空腔室内部及各部件的清理 W"'iIh)z
`
1.腔室内部防护板 ^[X YFQ TL
周期：每月清理一次 hn= [1<#^(
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 \":m!K;Z
2.离子源清洗 f[~L?B;_L
周期：50~100小时 ,7NZu0
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ;Q[mL(1:
B.各个零件进行喷砂，其中： 5HO9 +i
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 \l C
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 %r6y
;vAf
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 g(J&m< I
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 @reeO =
3.真空计清理 Dzs[GAQ]
周期：六个月清理一次 yi%-7[*]=
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 >ByXB!Wi+
4.冷泵再生 uVDa^+=
周期：一个月 @ u%_1
.dQQoyR+O
二、各计量部件校准 i35 =Y~P-
1、真空计 `Ru3L#@
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 FE! lok
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） zs*L~_K
A.光源性能检查 yH*6@P4:0=
周期：50小时一次 q]N:Tpm9
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 @kU@N?5e
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 ,NVsn
B.光学监控系统的稳定性 GJp85B!PlO
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 %\r!7@Q
检查条件： G\R o}5TO
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 H;fxxu`cS
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 ql?=(b;D
③测定波长：550nm pL%r,Y_^\x
C.波长精确度及再现性 eT8}
周期：2年一次 '@CR\5 @
合格标准 iVT GF<
波长精确度 ±1.0 nm Z(_ZAB%+D
波长再现度 ±0.25 nm
