光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 YR^Ee8 _H
一、真空腔室内部及各部件的清理 w>H%[\Qs
1.腔室内部防护板 d/ 'A\"o+
周期：每月清理一次 0 .6X{kO
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 3{N p 9y.
2.离子源清洗 6xDl=*&%
周期：50~100小时 sRo<4U0M;l
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） ,d9%Ce.$2
B.各个零件进行喷砂，其中： =]5DYRhX]
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 SK2J`*
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 ~p X(w!^
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 }J'5EAp
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 u8{@PlS
3.真空计清理 } kh/mq
周期：六个月清理一次 Egjk^:@
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 [9YlLL@
4.冷泵再生 Q
KcF1?
周期：一个月 3isXgp8
VOo wA^
二、各计量部件校准 XNkQk0i;g&
1、真空计 =
C$ @DNEc
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6
Rsa\V6N>
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Nj3^"} V
A.光源性能检查 `a/PI c"
周期：50小时一次 7YQK@lS
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 Xn
ZX *Y]"
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 \@
W sF$
B.光学监控系统的稳定性 ?hry=I(7r
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 Je4.9?Ch
检查条件： Im' :sJ31
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 f!uA$uL c
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 + ,{Wcb
③测定波长：550nm %1 VNP(E
C.波长精确度及再现性 CL<KBmW7
周期：2年一次 >2/wzsW
合格标准 Nak'g/uP>
波长精确度 ±1.0 nm ?- .Ep0/
波长再现度 ±0.25 nm
