光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 thW<
一、真空腔室内部及各部件的清理 )=^w3y
1.腔室内部防护板 jbmTmh1q
周期：每月清理一次 A6"Hk0Hf
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 $_X|, v9
2.离子源清洗 ]}PV"|#K{c
周期：50~100小时 1HR~ G9
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） *xs!5|n+
B.各个零件进行喷砂，其中： v:|( 8Y
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 +R.N%_
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 Tg
?x3?kw
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 uTvv (f
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 J5yidymrpW
3.真空计清理 "!UVs +)]
周期：六个月清理一次 0l \y.
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 3,eIB(
4.冷泵再生 [L~@uAMw:
周期：一个月 0$P/jt
#kmh:P
二、各计量部件校准 lU2c _4
1、真空计 d- E4~)Qy
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 L;6.r3bL
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） ;LwqTlJ*[L
A.光源性能检查 D'[Uc6
周期：50小时一次 XcfKx@l
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 SUtf[6
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 `\Unpp\I
B.光学监控系统的稳定性 W WG /k17
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 T-" I9kM
检查条件： f4('gl9
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 8im@4A +n`
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 r/:%}( 7;
③测定波长：550nm [=TCEU{"~
C.波长精确度及再现性 0E/: |k
周期：2年一次 XvGA|Ekf<
合格标准 V5rp.~
波长精确度 ±1.0 nm Ff4*IOZ}(
波长再现度 ±0.25 nm
