光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 7 x(z
一、真空腔室内部及各部件的清理 g+KuK`\N%
1.腔室内部防护板 Pbakw81!~
周期：每月清理一次 )Tf,G[z&ge
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 _ %PEv{H0.
2.离子源清洗 [nB4s+NX
周期：50~100小时 0Ny M|
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） GbBz;ZV%z,
B.各个零件进行喷砂，其中： q_h/zPuH'
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 BPypjS0?8
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 \7 *"M y*
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 e/<'HM T
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 j\uPOn8k
3.真空计清理 2zb V9Bhq
周期：六个月清理一次 `4t*H>:y
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 Y;>D"C..
4.冷泵再生 DG
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周期：一个月 :qK^71gz
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二、各计量部件校准 e]3b0` E
1、真空计 RJ$x{$r[
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 !<4 =@
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） H>|*D~RdT
A.光源性能检查 l1" *
周期：50小时一次 b|u0a 6
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 `SG 8w_
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 $6*6%T5}
B.光学监控系统的稳定性 f^@ D uI
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 b(" M8}o
检查条件： RH0J# 6C/
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 (aS Y.#;
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 #CNK [y
③测定波长：550nm U
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C.波长精确度及再现性 >VB*Xt\C&
周期：2年一次 UO_tJN#X
合格标准 n~?n+\.&a
波长精确度 ±1.0 nm ~)]R
波长再现度 ±0.25 nm
