[分享]光学镀膜机维护计划 [复制链接]

光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 xJrRJwL  
一、真空腔室内部及各部件的清理 O]RP?'vO  
1.腔室内部防护板 BO<I/J~b  
周期：每月清理一次 F,Ec
qM'f  
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ta_!  
2.离子源清洗 Zp]{e6J  
周期：50~100小时 "WR)a`$UR  
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） i>i@r ;:|  
B.各个零件进行喷砂，其中： Alaq![7MDP  
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 fgYdKv8  
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 poj@G{  
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 4ihv|%@  
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 4Mi~eL%D (  
3.真空计清理 _3DRCNvh  
周期：六个月清理一次 &S9Sl  
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 2V7x  
4.冷泵再生 ),y{.n:wm  
周期：一个月 C4e3Itc9X  
!Vl>?U?AN  
二、各计量部件校准 H Yt&MK  
1、真空计 x0B|CO  
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 K4NB#
 
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） 4
.2qt  
A.光源性能检查 &NiDv   
周期：50小时一次 lR_ 4iyqb  
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 [3h~y7  
          2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。   F`goYwA%  
B.光学监控系统的稳定性 X>l  
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。   /M(Fu
V  
检查条件： V~M>K-AL  
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 52K_kB5  
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 CJ0j2e/  
③测定波长：550nm zk= 3L} C  
C.波长精确度及再现性 OnFx8r:q@%  
周期：2年一次 cLR02  
合格标准 m,',luQ  
波长精确度 ±1.0 nm r
Cqcl  
波长再现度 ±0.25 nm

谢谢分享！学习！

谢谢分享！学习！

学习学习。。

谢谢楼主 &z;F'>"  
分享

这个东西拿出来分享，楼主好人啊 1
L.H"  

整理了一下，由衷的感谢楼主啊

谢谢楼主！！

谢谢分享

谢谢楼主的慷慨呀