光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 ,7<5dIdZ
一、真空腔室内部及各部件的清理 3>c<E1
1.腔室内部防护板 c:4 i&|n
周期：每月清理一次 : 3*(kb1)&
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 ^ WidA-
2.离子源清洗 ~
/]u72?rP
周期：50~100小时 F"~uu9u
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） Bv@NE2
B.各个零件进行喷砂，其中： iVwI}%k
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 I6zKvP8pb
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 -NH c~ =m
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 m)g:@^$
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 ]qvrpI!E!
3.真空计清理 I 6X_DPY
周期：六个月清理一次 evz{@;.R
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 / 9^:*,
4.冷泵再生 &Z#g/Hc
周期：一个月 YyjnyG
M qFuZg
二、各计量部件校准 ]u G9WT6l
1、真空计 _e7 Y R+
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 E.zY(# S
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Fzt{^%\`
A.光源性能检查 SI^!e1@M[
周期：50小时一次 dXg.[ |S*
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 1 cvoI
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 0 z. oPV@
B.光学监控系统的稳定性 JPR o<jt=
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 <My4 )3
检查条件： <y7nGXzLK
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 )E;B'^RVR
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 L9W'TvTwo
③测定波长：550nm M&wf4)*%0+
C.波长精确度及再现性 Gx,<|v
周期：2年一次 e5W 8YNA
合格标准 Pp #
波长精确度 ±1.0 nm Py_yIwQqg
波长再现度 ±0.25 nm
