光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 '/H x0]V
一、真空腔室内部及各部件的清理 Ir_K8 3VM
1.腔室内部防护板 "'~'xaU!=a
周期：每月清理一次 CZS{^6Ye
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 6 dt]$
2.离子源清洗 w q% 4'(
周期：50~100小时 fj[B,ua
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） 2n2{Oy>L
B.各个零件进行喷砂，其中： Sdy\s5
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 NgaX&m`
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 _iO,GT=J-
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 k
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E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 [ft#zxCJ
3.真空计清理 x24
周期：六个月清理一次 l23_K7
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 6HW<E~G'6
4.冷泵再生 c6:"5};_
周期：一个月 7q<I7Wt
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二、各计量部件校准 OQ;DqV
1、真空计 ]2T =%(*
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 wyzj[PDS
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） G,FYj'<!7,
A.光源性能检查 hw:zak#j ,
周期：50小时一次 ;\ DXRKR
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 BSY2\AL p
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 RX P 0
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B.光学监控系统的稳定性 A% 9TS/-p
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ,[7 1,zs
检查条件： %=xR$<D
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 g>_l U
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②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 c^S^"M|
③测定波长：550nm +R@5e+auQ.
C.波长精确度及再现性 HeZ! "^w
周期：2年一次 ,3Y~ #{,i
合格标准 Jtnuo]{R
波长精确度 ±1.0 nm \Lv
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波长再现度 ±0.25 nm
