光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 gm}C\q9
一、真空腔室内部及各部件的清理 Ol_/uy1r[
1.腔室内部防护板 jUZ[`f;
周期：每月清理一次 +}\29 @{W
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 8|Q4-VK<!
2.离子源清洗 l [x%I
周期：50~100小时 >pa\n9=Q^
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） y8}"DfU.
B.各个零件进行喷砂，其中： l#|J
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栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 V 3%Krn1'
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 ;7)OSGR
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 &F9OZMK=
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 )*+u\x_Hx
3.真空计清理 =cknE=
周期：六个月清理一次 AwA1&mh
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 l`oT:
4.冷泵再生 0yKwH\S
周期：一个月 J1& A,Gb
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二、各计量部件校准 !+%Az*ik
1、真空计 &boj$ k!g[
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 -.^= Z!=M
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） SG1&a:c+ .
A.光源性能检查 "@aq@mY@
周期：50小时一次 b ^+Fs
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 `f2W;@V0
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 t4C<#nfo
B.光学监控系统的稳定性 B?!9W@
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 eR(\s_`
检查条件： p`p g5R
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 4|I7:~
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 C8! 8u?k
③测定波长：550nm AfuXu@UZ_/
C.波长精确度及再现性 5+J 64_
周期：2年一次 0@JilGk1u
合格标准 jM{(8aUG
波长精确度 ±1.0 nm rw asH,+
波长再现度 ±0.25 nm
