光学镀膜机的维护包括腔室内部及各部件的清理、各计量部件的定期校准两部分。 z[0L?~$
一、真空腔室内部及各部件的清理 bd_U%0)pi1
1.腔室内部防护板 a ^iefwsNc
周期：每月清理一次 xVuGean Cv
先对防护板进行更换，将污染的防护板送去喷砂处理、然后用去离子水清洗以去除表面灰尘、N2吹干，放入储物柜以备下次更换。 jeN_
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2.离子源清洗 %((F} 9_6
周期：50~100小时 !\JG]2 \
A.离子源拆装（可参照光学镀膜机说明书） S-gL]r3G8
B.各个零件进行喷砂，其中： l@q.4hT
栅网、石英杯喷砂压力应小于0.15MPa，砂子为粒度#100的Al粒子，操作距离30cm以上 ~PH AC@pU
C超声清洗，丙酮、酒精各一次 @za?<G>!'e
D.N2吹干，压力在0.05-0.1MPa之间 Dgj`_ yd
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分钟 {[hV ['Awv
3.真空计清理 -x_b^)x~b7
周期：六个月清理一次 # lM!s
拆除真空计各部件后用酒精擦拭即可 L'J$jB5cP
4.冷泵再生 t# &^ -;
周期：一个月 %.pX!jL
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二、各计量部件校准 wHWd~K_q
1、真空计 2fO ~%!.G
清理后第一次使用先稳定20min，然后调整白点电压至8.6 L= Dd`
2、光学监控系统（具体检测方法参见光学镀膜机说明书） Q pz01x
A.光源性能检查 Rde#=>@V
周期：50小时一次 /jC0[%~jV
合格标准： 1） 光的能量分布在全光谱的范围内没有很大差别。光量的最大値/最小値≦200。 ` R!0uRu
2）在前置放大器的设定值为1M、HOM2-D 的敏感度设定为500ｍV、1V 条件下，高峰时光谱的输出光量信号为0.1V 以上。 kR%CSLOVy
B.光学监控系统的稳定性 {}D8Y_=9\
合格标准：用时间计测法记录30分钟光量信号稳定性。这时，光量信号的相对变化量在0.5％以内。 ~Yl bS-
检查条件： ~k S~ v
①腔室内温度稳定：Dome加热器关闭超过10小时以上。 Sl:Qq!
②监控玻璃温度稳定：监控玻璃加热器关闭超过10小时以上。 3VCyq7 B^
③测定波长：550nm }pu2/44=W
C.波长精确度及再现性 )U>q><
周期：2年一次 J *.Nf)i
合格标准 1e'-rm
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波长精确度 ±1.0 nm 16ke CG\
波长再现度 ±0.25 nm
